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새로운 쇼트키 전계 방출 주사형 전자현미경 JSM-F100 출시 — 고해상도와 조작성을 결합한 FE-SEM의 차세대 분석 인텔리전스 —

출시일: 2019/08/04

JEOL Ltd.(사장 겸 COO Izumi Oi)는 100년 2019월에 출시될 새로운 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경 JSM-FXNUMX의 출시를 발표했습니다.

제품 개발 배경

주사 전자 현미경(SEM)은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학 및 생물학과 같은 광범위한 분야에서 사용됩니다. SEM 응용 프로그램이 연구 개발뿐만 아니라 제조 현장의 품질 관리 및 제품 검사까지 확장됨에 따라 SEM 사용자는 원활한 분석 작업을 통한 간단한 구성 정보 확인뿐만 아니라 빠른 고품질 데이터 수집이 필요합니다.

이러한 요구 사항을 충족하기 위해 JSM-F100은 높은 평가를 받고 있는 인렌즈 쇼트키 플러스 전계 방출 전자총과 "Neo Engine"(전자 광학 제어 시스템)뿐만 아니라 새로운 GUI "SEM 센터" 및 혁신적인 "LIVE"를 통합합니다. -AI(Live Image Visual Enhancer-Artificial Intelligence) 필터". 이를 통해 높은 공간 해상도 이미징과 높은 조작성을 최적으로 조합할 수 있습니다. 또한 JSM-F100에는 이미지에서 원소 분석 결과까지 원활하게 수집할 수 있도록 "SEM 센터"에 완전히 통합된 JEOL 에너지 분산형 X선 분광계(EDS)가 함께 제공됩니다. 고성능과 조작성의 진화와 통합을 추구하는 사용자들에게 영감을 받은 JSM-F100은 이전 JSM-50 시리즈보다 7000% 이상의 탁월한 작업 효율성을 달성하여 높은 처리량을 비약적으로 향상시켰습니다.

주요 특징

  • 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총
    전자총과 저수차 집광렌즈의 강화된 집적화로 더 높은 밝기를 제공합니다. 낮은 가속 전압에서 충분한 프로브 전류를 사용할 수 있어 고해상도 이미징에서 고속 원소 매핑에 이르기까지 다양한 기능을 지원합니다.
  • 하이브리드 렌즈(HL)
    정전기 렌즈와 자기장 렌즈가 결합된 하이브리드 렌즈(HL)는 자성체에서 절연체에 이르는 다양한 시료의 고해상도 이미징 및 분석을 지원합니다.
  • 네오엔진(신전자광학엔진)
    최첨단 전자광학제어시스템인 네오엔진은 자동기능의 정밀도를 대폭 향상시켰을 뿐만 아니라 조작성을 대폭 향상시켰습니다.
  • EDS 통합을 위한 "SEM Center"의 새로운 기능
    새로 개발된 작업 GUI "SEM Center"는 SEM 이미징과 EDS 분석을 완전히 통합합니다. 이 강력한 기능은 차세대 조작성과 FE-SEM으로 얻은 고해상도 이미지를 제공합니다.
  • 새로운 "Zeromag" 기능
    광학에서 SEM 이미징으로의 원활한 전환을 위해 통합된 "Zeromag"를 사용하면 대상 표본 영역을 쉽게 찾을 수 있습니다.
  • 새로운 LIVE-AI 필터*
    AI(인공 지능) 기능을 활용하여 LIVE-AI 필터를 통합하여 보다 높은 품질의 라이브 이미지를 제공합니다. 이미지 통합 처리와 달리 이 새로운 필터는 잔상 없이 매끄럽게 움직이는 라이브 이미지를 표시할 수 있습니다. 이 독특한 기능은 관찰 영역을 빠르게 검색하고 초점을 맞추고 낙인을 조정하는 데 매우 효과적입니다.

    *선택 과목

주요 사양

분해능(1kV) 1.3 nm의
분해능(20kV) 0.9 nm의
가속 전압 0.01~30kV
표준 검출기 상부 전자 검출기(UED), XNUMX차 전자 검출기(SED)
전자총 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총
프로브 전류 몇 pA ~ 300nA(30kV)
몇 pA ~ 100nA(5kV)
대물 렌즈 하이브리드 렌즈(HL)
표본 단계 완전한 eucentric goniometer 단계
표본 이동 X: 70mm, Y: 50mm, Z: 2 ~ 41mm
기울기: –5 ~ 70°, 회전: 360°
EDS 검출기 에너지 분해능: 133eV 이하
검출 가능 원소: B(붕소) ~ U(우라늄)
감지 영역: 60mm2
JSM-F100

연간 단위 판매 목표

60 단위/년

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