새로운 Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope JSM-IT800 −지능화 기술(IT) 플랫폼 탑재 FE-SEM 출시−
출시일: 2020/05/25
JEOL Ltd.(사장 겸 COO Izumi Oi)는 800년 2020월에 출시될 새로운 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경 JSM-ITXNUMX의 출시를 발표했습니다.
제품 개발 배경
주사 전자 현미경(SEM)은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학 및 생물학과 같은 광범위한 분야에서 사용됩니다. SEM 응용 프로그램이 연구 개발뿐만 아니라 제조 현장의 품질 관리 및 제품 검사까지 확장됨에 따라 SEM 사용자는 원활한 분석 작업을 통한 간단한 구성 정보 확인뿐만 아니라 빠른 고품질 데이터 수집이 필요합니다.
이러한 요구 사항을 충족하기 위해 IT(Intelligence Technology) 플랫폼을 갖춘 JSM-IT800은 고해상도 이미징을 위한 인렌즈 쇼트키 플러스 전계 방출 전자총과 빠른 요소 매핑 및 혁신적인 전자 광학 제어 시스템 "Neo Engine"을 통합합니다. , JEOL 에너지 분산형 X선 분광계(EDS)의 완전한 통합을 위한 매끄러운 GUI "SEM 센터". 또한 JSM-IT800은 두 가지 유형의 대물 렌즈 구성을 허용하여 다양한 사용자 요구 사항을 충족하는 다양한 버전을 제공합니다.
JSM-IT800의 두 가지 버전에는 범용 SEM용 Hybrid Lens(HL) 버전과 향상된 고해상도 관찰 및 다양한 분석을 위한 SHL(Super Hybrid Lens) 버전이 있습니다. 또한 SHL 버전의 JSM-IT800에는 표본의 미세 구조 연구를 위해 더 높은 신호 대 잡음비 이미지를 획득하기 위해 새로운 상부 하이브리드 검출기(UHD)가 함께 제공됩니다.
JSM-IT800은 또한 새로운 Scintillator Backscattered Electron Detector(SBED)와 다목적 Backscattered Electron Detector(VBED)를 장착할 수 있습니다. SBED는 높은 응답성으로 이미지를 획득할 수 있으며 낮은 가속 전압에서도 선명한 재료 대비를 생성합니다. VBED는 3D, 지형 및 재료 대비 이미지를 얻을 수 있습니다.
주요 특징
- 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총
전자총과 저수차 집광렌즈의 강화된 집적화로 더 높은 밝기를 제공합니다. 낮은 가속 전압(100kV에서 5nA)에서 충분한 프로브 전류를 사용할 수 있습니다. 고유한 In-lens Schottky Plus 시스템은 렌즈 조건을 변경할 필요 없이 고해상도 이미징에서 빠른 원소 매핑, 전자 후방 산란 회절(EBSD) 분석 및 소프트 X선 방출 분광법(SXES)에 이르기까지 다양한 응용 분야를 지원합니다. . - 네오엔진(신전자광학엔진)
네오엔진은 다년간의 JEOL 핵심기술이 집약된 최첨단 전자광학계입니다. 사용자는 다른 관찰이나 분석 조건을 변경하더라도 안정적인 관찰을 수행할 수 있습니다. 자동 기능에 대한 높은 조작성이 크게 향상되었습니다. - SEM 센터 / EDS 통합
GUI "SEM 센터"는 SEM 이미징 및 EDS 분석과 완벽하게 통합되어 원활하고 직관적인 작업을 제공합니다. JSM-IT800은 초보 사용자를 위한 학습 경로를 지원하고 제공하는 SMILENAVI와 더 높은 품질의 라이브 이미지를 얻기 위한 LIVE-AI 필터(Live Image Visual Enhancer – AI)와 같은 옵션 소프트웨어 추가 기능을 통합하여 향상될 수 있습니다. . - 하이브리드 렌즈(HL) 버전 및 슈퍼 하이브리드 렌즈(SHL) 버전
정전기 및 전자기장 렌즈의 조합을 기반으로 두 가지 유형의 대물 렌즈 버전을 사용할 수 있습니다. 다양한 구성을 통해 JSM-IT800의 동일한 기능을 유지하면서 자성 재료에서 절연체에 이르기까지 광범위한 샘플의 높은 공간 해상도 이미징 및 분석을 달성하여 사용자의 다양한 요구를 충족할 수 있습니다. - 어퍼 하이브리드 검출기(UHD)
SHL 버전의 대물렌즈에 내장된 UHD는 시료에서 발생하는 전자의 검출 효율을 크게 향상시킨다. 이로 인해 신호 대 잡음비가 더 높은 이미지를 얻을 수 있습니다. - 새로운 후방 산란 전자 검출기
Scintillator Backscattered Electron Detector(SBED, 옵션)는 응답성이 높고 낮은 가속 전압에서 재료 대비 이미지를 획득하는 데 적합합니다. 세그먼트형 검출기 요소 설계가 포함된 다목적 후방 산란 전자 검출기(VBED, 옵션)를 통해 사용자는 개별 세그먼트를 구성하거나 사전 프로그래밍된 검출기 설정을 사용하여 이미지를 획득하여 XNUMX차원, 지형 또는 구성 정보를 제공할 수 있습니다.
주요 사양
| JSM-IT800 SHL 버전 | JSM-IT800 HL 버전 | |
|---|---|---|
| 분해능(1kV) | 0.7 nm의 | 1.3 nm의 |
| 분해능(15kV) | 0.5 nm의 | - |
| 분해능(20kV) | - | 0.9 nm의 |
| 가속 전압 | 0.01~30kV | |
| 표준 검출기 | XNUMX차 전자 검출기(SED) | |
| 어퍼 하이브리드 검출기(UHD) | 상부 전자 검출기(UED) | |
| 전자총 | 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총 | |
| 프로브 전류 | 몇 pA ~ 500nA(30kV) | 몇 pA ~ 300nA(30kV) |
| 몇 pA ~ 100nA(5kV) | ||
| 대물 렌즈 | 슈퍼 하이브리드 렌즈(SHL) | 하이브리드 렌즈(HL) |
| 표본 단계 | 완전한 eucentric goniometer 단계 | |
| 표본 이동 | X: 70mm Y: 50mm Z: 1 ~ 41mm | |
| 기울기: –5 ~ 70° 회전: 360° | ||
| EDS 검출기 | 에너지 분해능: 133eV 이상 | |
| 감지 가능한 요소: B에서 U | ||
| 감지 영역: 60mm2 | ||
연간 단위 판매 목표
1) JSM-IT800 SHL 버전: 90개/년2) JSM-IT800 HL 버전: 50개/년
