Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope JSM-IT800(i)/(is) 버전 출시 −지능형 기술(IT) 플랫폼이 포함된 FE-SEM−
출시일: 2021/08/31
JEOL(사장 겸 COO: Izumi Oi)은 Schottky Field Emission Electron Microscope JSM-IT800(2020월 출시)의 반도체 소자 관찰에 최적인 semi-in-lens 버전(i)/(is)을 개발했다고 발표했습니다. 2021), XNUMX년 XNUMX월부터 판매를 시작했습니다.
개발 배경
주사 전자 현미경(SEM)은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학 및 생물학과 같은 광범위한 분야에서 사용됩니다. SEM 응용 프로그램이 연구 개발뿐만 아니라 제조 현장의 품질 관리 및 제품 검사까지 확장됨에 따라 SEM 사용자는 원활한 분석 작업을 통한 간단한 구성 정보 확인뿐만 아니라 빠른 고품질 데이터 수집이 필요합니다.
이러한 요구 사항을 충족하기 위해 JSM-IT800은 고해상도 이미징을 위한 인렌즈 Schottky Plus 전계 방출 전자총과 혁신적인 전자 광학 제어 시스템인 "Neo Engine", 원활한 GUI 시스템인 "SEM 센터"를 통합하여 공통 플랫폼으로 완전히 내장된 JEOL EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)를 사용한 빠른 원소 매핑. 또한 JSM-IT800은 SEM의 대물 렌즈를 모듈로 교체할 수 있어 다양한 사용자 요구 사항을 충족하는 다양한 버전을 제공합니다.
JSM-IT800은 대물렌즈가 다른 다섯 가지 버전으로 제공됩니다. 범용 FE-SEM인 하이브리드 렌즈 버전(HL); 고해상도 관찰 및 분석이 가능한 슈퍼 하이브리드 렌즈 버전(SHL/SHL, 기능이 다른 두 가지 버전) 반도체 소자 관찰에 적합한 새로 개발된 semi-in-lens 버전(i/is, 기능이 다른 두 가지 버전).
JSM-IT800에는 새로운 Scintillator Backscattered Electron Detector(SBED)를 장착할 수도 있습니다. SBED는 높은 응답성으로 라이브 이미지를 쉽게 관찰할 수 있으며 낮은 가속 전압에서도 선명한 재료 대비를 생성합니다.
주요 특징
- 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총
전자총과 저수차 집광렌즈의 강화된 집적화로 더 높은 밝기를 제공합니다. 낮은 가속 전압(100kV에서 5nA)에서 충분한 프로브 전류를 사용할 수 있습니다. 고유한 In-lens Schottky Plus 시스템은 고해상도 이미징에서 빠른 원소 매핑 및 전자 후방 산란 회절(EBSD) 분석에 이르기까지 다양한 응용 분야를 허용합니다. - 네오엔진(신전자광학엔진)
Neo Engine은 다년간의 JEOL 핵심기술이 집약된 최첨단 전자광학계입니다. 사용자는 다른 관찰이나 분석 조건을 변경하더라도 안정적인 관찰을 수행할 수 있습니다. 자동 기능에 대한 높은 조작성이 크게 향상되었습니다. - SEM 센터 / EDS 통합
GUI "SEM 센터"는 SEM 이미징 및 EDS 분석과 완벽하게 통합되어 원활하고 직관적인 작업을 제공합니다. JSM-IT800은 초보 사용자를 위한 학습 경로를 지원하고 제공하는 SMILENAVI와 더 높은 품질의 라이브 이미지를 얻기 위한 LIVE-AI 필터(Live Image Visual Enhancer – AI)와 같은 옵션 소프트웨어 추가 기능을 통합하여 향상될 수 있습니다. . - Semi-in-lens 버전(i/is)
semi-in-lens는 대물렌즈 아래에 형성된 강한 자기장 렌즈에 전자빔을 집광시켜 초고해상도를 구현한다. 또한, 시스템은 시료에서 방출되는 저에너지 XNUMX차 전자를 효율적으로 수집하고 상단의 렌즈 내 검출기(UID)로 전자를 감지합니다. 따라서 반도체 소자의 고장 분석에 필요한 기울어진 시편과 단면 시편의 고해상도 관찰 및 분석이 가능합니다. 또한 전압 대비 관찰에 매우 유용합니다. - 상부 전자 검출기(UED)
상부 전자 검출기는 대물 렌즈 위에 장착될 수 있습니다. 이 시스템의 장점은 후방 산란 전자 이미지 획득 및 시편 바이어스와 결합하여 XNUMX차 전자 이미지 획득이 가능하다는 것입니다. 시료에서 방출된 전자는 대물렌즈 내부의 UID 필터에 의해 선택됩니다. UED와 UIT를 사용하면 한 번의 스캔으로 여러 정보를 얻을 수 있습니다. - 새로운 후방 산란 전자 검출기
섬광체 후방 산란 전자 검출기(SBED, 옵션)는 응답성이 높고 낮은 가속 전압에서 물질 대비 이미지를 획득하는 데 적합합니다.
주요 사양
| JSM-IT800i 버전 | JSM-IT800is 버전 | |
|---|---|---|
| 분해능(1kV) | 0.7 nm의 | 1.0 nm의 |
| 분해능(15kV) | 0.5 nm의 | 0.6 nm의 |
| 가속 전압 | 0.01-30 kV | |
| 표준 검출기 | XNUMX차 전자 검출기(SED) 상부 인렌즈 검출기(UID) 상부 전자 검출기(UED) |
XNUMX차 전자 검출기(SED) 상부 인렌즈 검출기(UID) |
| 전자총 | 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총 | |
| 프로브 전류 | 몇 pA ~ 500nA(30kV) | 몇 pA ~ 300nA(30kV) |
| 몇 pA ~ 100nA(5kV) | ||
| 대물 렌즈 | 세미 인 렌즈 | |
| 표본 단계 | 완전한 eucentric goniometer 단계 | |
| 무대이동 | Type1(표준) X; 70mm Y; 50mm Z; 1 ~ 41mm Type2(옵션) X; 100mm Y; 100mm Z; 1 ~ 50mm Type3(옵션) X; 140mm Y; 80mm Z; 1 ~ 41mm 경사; -5 ~ 70° 회전; 360° |
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| EDS 검출기 | 에너지 분해능: 133eV 이상 감지 가능한 요소 Be to U 감지 영역: 60mm2 |
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판매 대상
JSM-IT800i 버전: 5대/년JSM-IT800is 버전: 40개/년
