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새로운 주사형 전자현미경 JSM-IT510 시리즈 InTouchScope(TM) 출시 - 모든 시료 유형에 대한 데이터 획득 용이 -

출시일: 2021/11/08

JEOL Ltd.(사장 겸 COO Izumi Oi)는 510년 2021월 새로운 주사 전자 현미경(SEM) JSM-ITXNUMX 시리즈의 개발 및 출시를 발표했습니다.

제품 개발 배경

주사 전자 현미경은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학 및 생물학과 같은 광범위한 분야에서 사용됩니다. 또한 SEM의 활용은 기초연구 뿐만 아니라 제조현장의 품질관리까지 확대되고 있습니다. 이에 따라 EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) 스펙트럼과 같은 SEM 이미지와 분석 결과 모두에 대한 더 빠르고 쉬운 데이터 수집에 대한 요구가 증가하고 있습니다.
이러한 요구를 충족하고 처리량을 늘리기 위해 인기 있는 InTouchScope™의 조작성을 더욱 발전시킨 JSM-IT510 시리즈를 개발했습니다. 새로운 Simple SEM 기능을 사용하면 이제 일상적인 작업(반복 작업)을 기기에 "맡길" 수 있습니다.

주요 특징

  • 새로운 "단순 SEM" 기능
    Simple SEM 기능은 사용자가 SEM 이미지에 대한 획득 조건과 시야를 선택하기만 하면 SEM 이미지가 자동으로 획득됩니다. 일상적인 작업을 보다 효율적으로 수행할 수 있습니다.
  • 새로운 "저진공 하이브리드 XNUMX차 전자 검출기(LHSED)"
    이 새로운 검출기는 낮은 진공 상태에서도 높은 S/N 및 향상된 지형 정보를 가진 이미지를 제공하는 전자 및 광자 신호를 모두 수집합니다.
  • 주사전자현미경(SEM)과 에너지 분산형 X선 분광계(EDS) 시스템의 통합
    SEM과 EDS의 통합이 더욱 발전했으며 Live Map 기능을 통해 관찰 시야의 요소 맵을 실시간으로 표시할 수 있습니다.
  • 새로운 "라이브 3D" 기능
    요철 및 깊이 정보를 얻기 위해 SEM 관찰을 수행하는 동안 현장에서 3D 이미지를 구성할 수 있습니다.
  • 라이브 분석 기능
    임베디드 EDS 시스템은 효율적인 원소 분석을 위해 이미지 관찰 중에 실시간 EDS 스펙트럼을 보여줍니다.
  • 새로운 스테이지 내비게이션 시스템 LS 기능
    새로운 Stage Navigation System LS는 기존 모델(200mm x 200mm)보다 XNUMX배 더 넓은 영역의 광학 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 기능을 통해 사용자는 관찰 샘플의 광학 이미지를 획득하고 광학 이미지를 클릭하기만 하면 원하는 관찰 필드로 이동할 수 있습니다.
  • 제로맥
    Zeromag 기능을 사용하면 샘플 탐색이 그 어느 때보다 쉬워집니다. 광학 이미지 또는 홀더 그래픽을 사용하여 이미징을 위한 영역을 찾거나 여러 필드에 걸쳐 분석 위치를 지정할 수 있습니다.
  • 특성 X선 발생 깊이 표시
    이는 시편의 분석 깊이(참조)에 대한 신속한 이해를 지원합니다.
  • 이미지 및 분석 데이터 통합 ​​관리가 가능한 SMILE VIEW™ Lab
    수집된 SEM 이미지에서 원소 분석 결과까지 모든 데이터에 대한 보고서 생성을 단시간에 용이하게 합니다.

주요 사양

해상도 HV 모드 3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV)
해상도 LV 모드 4.0nm(30kV, 후방 산란 전자 이미지 포함)
직접 확대 ×5 ~ ×300,000
(디스플레이 크기 128mm×96mm로 정의)
표시된 배율 ×14 ~ ×839,724
(디스플레이 크기 358mm×269mm로 정의)
전자총 텅스텐(W) 필라멘트
가속 전압 0.3 kV의에 30 kV의
프로브 전류 1pA ~ 1μA
LV 압력 조정 10~650Pa
자동 기능 필라멘트 조정, 건 정렬, 초점/스티그메이터/밝기/대비
최대 표본 크기 직경 200mm, 높이 90mm
표본 단계 대형 편심형
X: 125mm Y: 100mm Z: 80mm 기울기: -10 ~ 90° 회전: 360°
표준 레시피 내장(EDS 조건 포함)
이미지 모드 XNUMX차전자영상, REF영상, 합성영상, 지형영상, 입체현미경영상
EDS 기능 스펙트럼 분석, 정성 및 정량 분석, 선 분석(수평선, 특정 방향선), 원소 매핑, 프로브 추적
JSM-IT510(라)

참고: 기기의 사양 및 사진은 JSM-IT510(LA)의 사양 및 사진입니다.

판매 대상

200개/년

(링크)

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