새로운 주사형 전자현미경 JSM-IT510 시리즈 InTouchScope(TM) 출시 - 모든 시료 유형에 대한 데이터 획득 용이 -
출시일: 2021/11/08
JEOL Ltd.(사장 겸 COO Izumi Oi)는 510년 2021월 새로운 주사 전자 현미경(SEM) JSM-ITXNUMX 시리즈의 개발 및 출시를 발표했습니다.
제품 개발 배경
주사 전자 현미경은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학 및 생물학과 같은 광범위한 분야에서 사용됩니다. 또한 SEM의 활용은 기초연구 뿐만 아니라 제조현장의 품질관리까지 확대되고 있습니다. 이에 따라 EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) 스펙트럼과 같은 SEM 이미지와 분석 결과 모두에 대한 더 빠르고 쉬운 데이터 수집에 대한 요구가 증가하고 있습니다.
이러한 요구를 충족하고 처리량을 늘리기 위해 인기 있는 InTouchScope™의 조작성을 더욱 발전시킨 JSM-IT510 시리즈를 개발했습니다. 새로운 Simple SEM 기능을 사용하면 이제 일상적인 작업(반복 작업)을 기기에 "맡길" 수 있습니다.
주요 특징
- 새로운 "단순 SEM" 기능
Simple SEM 기능은 사용자가 SEM 이미지에 대한 획득 조건과 시야를 선택하기만 하면 SEM 이미지가 자동으로 획득됩니다. 일상적인 작업을 보다 효율적으로 수행할 수 있습니다. - 새로운 "저진공 하이브리드 XNUMX차 전자 검출기(LHSED)"
이 새로운 검출기는 낮은 진공 상태에서도 높은 S/N 및 향상된 지형 정보를 가진 이미지를 제공하는 전자 및 광자 신호를 모두 수집합니다. - 주사전자현미경(SEM)과 에너지 분산형 X선 분광계(EDS) 시스템의 통합
SEM과 EDS의 통합이 더욱 발전했으며 Live Map 기능을 통해 관찰 시야의 요소 맵을 실시간으로 표시할 수 있습니다. - 새로운 "라이브 3D" 기능
요철 및 깊이 정보를 얻기 위해 SEM 관찰을 수행하는 동안 현장에서 3D 이미지를 구성할 수 있습니다. - 라이브 분석 기능
임베디드 EDS 시스템은 효율적인 원소 분석을 위해 이미지 관찰 중에 실시간 EDS 스펙트럼을 보여줍니다. - 새로운 스테이지 내비게이션 시스템 LS 기능
새로운 Stage Navigation System LS는 기존 모델(200mm x 200mm)보다 XNUMX배 더 넓은 영역의 광학 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 기능을 통해 사용자는 관찰 샘플의 광학 이미지를 획득하고 광학 이미지를 클릭하기만 하면 원하는 관찰 필드로 이동할 수 있습니다. - 제로맥
Zeromag 기능을 사용하면 샘플 탐색이 그 어느 때보다 쉬워집니다. 광학 이미지 또는 홀더 그래픽을 사용하여 이미징을 위한 영역을 찾거나 여러 필드에 걸쳐 분석 위치를 지정할 수 있습니다. - 특성 X선 발생 깊이 표시
이는 시편의 분석 깊이(참조)에 대한 신속한 이해를 지원합니다. - 이미지 및 분석 데이터 통합 관리가 가능한 SMILE VIEW™ Lab
수집된 SEM 이미지에서 원소 분석 결과까지 모든 데이터에 대한 보고서 생성을 단시간에 용이하게 합니다.
주요 사양
해상도 HV 모드 | 3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV) |
해상도 LV 모드 | 4.0nm(30kV, 후방 산란 전자 이미지 포함) |
직접 확대 | ×5 ~ ×300,000 (디스플레이 크기 128mm×96mm로 정의) |
표시된 배율 | ×14 ~ ×839,724 (디스플레이 크기 358mm×269mm로 정의) |
전자총 | 텅스텐(W) 필라멘트 |
가속 전압 | 0.3 kV의에 30 kV의 |
프로브 전류 | 1pA ~ 1μA |
LV 압력 조정 | 10~650Pa |
자동 기능 | 필라멘트 조정, 건 정렬, 초점/스티그메이터/밝기/대비 |
최대 표본 크기 | 직경 200mm, 높이 90mm |
표본 단계 | 대형 편심형 X: 125mm Y: 100mm Z: 80mm 기울기: -10 ~ 90° 회전: 360° |
표준 레시피 | 내장(EDS 조건 포함) |
이미지 모드 | XNUMX차전자영상, REF영상, 합성영상, 지형영상, 입체현미경영상 |
EDS 기능 | 스펙트럼 분석, 정성 및 정량 분석, 선 분석(수평선, 특정 방향선), 원소 매핑, 프로브 추적 |
참고: 기기의 사양 및 사진은 JSM-IT510(LA)의 사양 및 사진입니다.
판매 대상
200개/년