6개 또는 12개의 수정을 통합한 수정 발진기 막 두께 컨트롤러용 센서
기능
박막 가공시 막두께와 막발생율을 측정하는데 사용합니다.
수정이 실패하면 다음 수정으로 전환하여 센서를 그대로 사용할 수 있습니다.
검출기 조리개가 고정된 위치에 있기 때문에 각 수정 이동에 대해 Tooling Factor를 변경할 필요가 없습니다.
센서 헤드에는 2가지 유형이 있습니다. 평평하고 45°. 장착 위치에 따라 선택적으로 사용할 수 있습니다.
장기간의 고용량 진공 증착 또는 스퍼터링 공정에 적합합니다.
