광학 필름 및 전극 코팅을 포함하여 다양한 유형의 필름을 생성하는 데 사용되는 전자빔 증착용 전자빔 소스/전원 공급 장치.
특징
전자빔 증착법의 특징
증착물질에 전자빔을 직접 조사하여 가열하기 때문에 열효율이 상당히 좋다. 고융점 금속, 산화물, 화합물 및 승화 재료를 포함한 다양한 재료를 기화할 수 있습니다.
수냉식 도가니(*)에서 증착물질을 직접 가열하기 때문에 저항가열이나 유도가열 방식과 같이 보트나 도가니의 반응이 없다.
경우에 따라 난로 라이너가 사용됩니다.
고속 출력 제어가 가능하므로 정밀한 막두께 제어가 가능합니다.
스퍼터링 및 CVD 방법과 비교하여 필름 생성 속도가 주요 특징입니다. 이것은 1μm 이상의 두꺼운 코팅을 생성하는 데에도 유용합니다.
JEOL 전자빔 소스의 특징
[ 산화물 ]
증착 재료에 수직인 빔 입사각과 완벽한 원형에 가까운 높은 에너지 밀도 빔 스폿이 특징입니다. 고속 Sweeping 기능이 기본이므로 열전도율이 낮고 녹는점이 높은 승화재료 및 산화물 증착에 적합합니다. 우수한 용융 잔사를 얻을 수 있어 넓은 면적에 걸쳐 균일하고 재현 가능한 도막 두께 분포가 가능합니다.
[ 금속 ]
다양한 종류의 도가니를 선택할 수 있어 다중 유형, 대용량 및 고속 증착이 가능합니다. 필름 생성 중 온도 상승을 제한하기 위해 리프트 오프 프로세스와 호환되는 전자총도 있습니다.
[ 합금/다층 코팅 ]
합금 및 다층 코팅은 인접한 2개 또는 3개 포켓 도가니에 다른 재료를 배치하고 특수 스위프 컨트롤러를 사용하여 동시 2개 또는 3개 소스 증착을 수행하여 생성할 수 있습니다.
관련 제품 링크
BS-60211DEM/BS-60210DEM 전자빔 소스
제품 사양
| 모델 | 최대 산출 | 처짐 각도 |
필라멘트 | 빔 스윕 | 도가니 | 산화물 | 금속 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BS-60070DEBS | 6.4kW | 270 ° | Ｕ자형 (장수명) |
고속 스캐닝 |
없음※ 2 | ◎ | ○ |
| BS-60060DEBS | 6.4kW | 270 ° | 없음※ 2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60050EBS | 10kW | 270 ° | 없음※ 2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60040VDGN | 10kW | 270 ° | 없음※ 2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60030DGN | 10kW | 270 ° | 없음※ 2 | ◎ | ○ | ||
| EBG-102UB6S | 10kW | 180 ° | 나선 | 12cc×6개소 | ◎ | ○ | |
| EBG-102UB4S | 10kW | 180 ° | 12cc×4개소 | ◎ | ○ | ||
| JEBG-102UH0 | 10kW | 180 ° | 없음※ 2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60210DEM +BS-60140H4H |
10kW | 270 ° | 직선 코일 (장수명) |
중급 속도 스캐닝 |
40cc×4개소 | △ | ◎ |
| BS-60210DEM +BS-60150H6H |
10kW | 270 ° | 40cc×6개소 | △ | ◎ | ||
| EBG-203UB6S | 20kW※ 1 | 270 ° | 나선 | 고속 스캐닝 |
12cc×6개소※ 3 | ○ | ◎ |
| EBG-203UB4H | 20kW※ 1 | 270 ° | 12cc×2스팟 28cc (반구형)×2 스폿 |
○ | ◎ | ||
| JEBG-203UA0 | 20kW※ 1 | 270 ° | 없음※ 4 | ○ | ◎ | ||
| JEBG-303UA | 30kW※ 1 | 270 ° | 없음※ 5 | ○ | ◎ |
EB 전원의 최대 출력은 16kW이므로 실제로 사용할 수 있는 최대 출력은 16kW입니다.
특주품 ⇒12cc×4, 6점 등
도가니 웰 형상 변형 가능 ⇒ 28cc(φ45×20h)×6 스폿, 51cc(φ60×20h)×3 스폿 등
특주 가능 ⇒40cc(φ50×25h)×4, 6 스폿, 114cc(φ75×30h)×1 스폿 등
특주품 ⇒114cc(φ75×30h)×1 스폿, φ34×20h×3홀 1포켓(동시 증착용), φ70×30h×4 스폿 등
도가니 사양에 대해 문의하십시오.
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