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JST-F 시리즈
전자빔 전원 공급 장치

JST-F 시리즈 전자빔 전원 공급 장치

편향형 전자 빔 소스와 함께 사용하기 위한 고전압 전원 공급 장치

특징

JST-F 시리즈는 뛰어난 안정성을 제공하여 많은 사용자가 선택했습니다.

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제품 사양

모델 JST3F JST-10F JST-16F
산출 최대 출력 6.4kW 10kW 16kW
가속 전압 -4kV ~ -8kV -4kV ~ -10kV
방출 전류 0에서 0.8A 0에서 1A 0에서 1.6A
필라멘트 전류 최대 40A
가속 전압 리플 비율 5% 이하(최대 출력)
편향 코일 출력 0에서 2A
스위핑 코일 출력 최대 주파수 500 Hz(※), 최대 출력 8 Ap-p, ± 2 A DC
연동 외부: 3점, 내부 5점
외부 신호 INPUT : 16종, OUTPUT : 9종
전원 입력(50/60Hz) 3상 200V±10%, 10kVA 3상 200V±10%, 15kVA 3상 200V±10%, 25kVA
외부 치수 전원 공급 장치 본체 570mm (W) × 760mm (D) × 1,545mm (H)
조작 패널 481mm (W) × 300mm (D) × 150mm (H)
질량 약 360kg 약 390kg 약 450kg
접지 접지 저항 10Ω 이하
  • 사용되는 주파수는 전자 빔 소스에 따라 달라집니다.

첨부 파일

ST-AS10F/ST-AS10G 아크 억제기

전자빔 증발 동안 아크를 억제합니다. 아크 발생 시 노이즈를 억제하고 증착 중단을 방지합니다. ST-AS10F에는 2단계 아크 억제 회로가 있고 ST-AS10G에는 1단계 아크 억제 회로가 있습니다.

모델 ST-AS10F ST-AS10G
적용 가속 전압/전류 -4kV 〜 -10kV 1.6A 이하
운영 압력 6 × 10-2 파 以下
전자빔의 중단 시간 0.5ms 이하* 0.1ms 이하
복구 중 전압 오버슈트 가속화 20%/3ms 이하
아크 중 정류파의 전류 증가 1A, 100μS 이하
  • 2단까지 운전중 인터럽트 시간

ST-203 동시 다중 전자 빔 소스 장치

이것은 2개의 전자 빔 소스가 1개의 전원 공급 장치와 동시에 사용될 때 사용됩니다. 2개의 작동 패널이 있으며, 각각은 2개의 전자 빔 소스 중 하나의 전용 작동을 위해 할당됩니다.
다양한 종류의 전자빔 소스를 사용할 수 있으나 조합에 따라 가속 전압 범위 등에 제한이 있을 수 있습니다.

ST-EXTSIG 외부 신호 제어

조작 패널에 내장. 표준 9종의 외부 제어 신호 외에 투광 전류 확인 신호 등 다양한 신호의 외부 출력 가능

케이블 구성

타입 성함 모델 길이
W1
W2
W8
E1/E2/접지 BS-64410L06W128 6m
ST-10MW128 10m
ST-15MW128 15m
W3
W4
코일/HV(2코일) BS-64420L06W34 6.5m / 5.5m
ST-10MW34 10m
ST15MW34 15m
W5 배출량 반환 BS-64430L06W5 5.5m
ST-10MW5 10m
ST-15MW5 15m
W6
W7
인터록/EB 소스 ON BS-64440L06W67 6m
ST-10MW67 10m
BS-64540L15W67 15m
W9 원격수행 BS-64450L06W9 6m
ST-10MW9 10m
ST-15MW9 15m

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