편향형 전자 빔 소스와 함께 사용하기 위한 고전압 전원 공급 장치
특징
JST-F 시리즈는 뛰어난 안정성을 제공하여 많은 사용자가 선택했습니다.
관련 제품 링크
제품 사양
| 모델 | JST3F | JST-10F | JST-16F | |
|---|---|---|---|---|
| 산출 | 최대 출력 | 6.4kW | 10kW | 16kW |
| 가속 전압 | -4kV ~ -8kV | -4kV ~ -10kV | ||
| 방출 전류 | 0에서 0.8A | 0에서 1A | 0에서 1.6A | |
| 필라멘트 전류 | 최대 40A | |||
| 가속 전압 리플 비율 | 5% 이하(최대 출력) | |||
| 편향 코일 출력 | 0에서 2A | |||
| 스위핑 코일 출력 | 최대 주파수 500 Hz(※), 최대 출력 8 Ap-p, ± 2 A DC | |||
| 연동 | 외부: 3점, 내부 5점 | |||
| 외부 신호 | INPUT : 16종, OUTPUT : 9종 | |||
| 전원 입력(50/60Hz) | 3상 200V±10%, 10kVA | 3상 200V±10%, 15kVA | 3상 200V±10%, 25kVA | |
| 외부 치수 | 전원 공급 장치 본체 | 570mm (W) × 760mm (D) × 1,545mm (H) | ||
| 조작 패널 | 481mm (W) × 300mm (D) × 150mm (H) | |||
| 질량 | 약 360kg | 약 390kg | 약 450kg | |
| 접지 | 접지 저항 10Ω 이하 | |||
사용되는 주파수는 전자 빔 소스에 따라 달라집니다.
첨부 파일
ST-AS10F/ST-AS10G 아크 억제기
전자빔 증발 동안 아크를 억제합니다. 아크 발생 시 노이즈를 억제하고 증착 중단을 방지합니다. ST-AS10F에는 2단계 아크 억제 회로가 있고 ST-AS10G에는 1단계 아크 억제 회로가 있습니다.
| 모델 | ST-AS10F | ST-AS10G |
|---|---|---|
| 적용 가속 전압/전류 | -4kV 〜 -10kV 1.6A 이하 | |
| 운영 압력 | 6 × 10-2 파 以下 | |
| 전자빔의 중단 시간 | 0.5ms 이하* | 0.1ms 이하 |
| 복구 중 전압 오버슈트 가속화 | 20%/3ms 이하 | |
| 아크 중 정류파의 전류 증가 | 1A, 100μS 이하 | |
2단까지 운전중 인터럽트 시간
ST-203 동시 다중 전자 빔 소스 장치
이것은 2개의 전자 빔 소스가 1개의 전원 공급 장치와 동시에 사용될 때 사용됩니다. 2개의 작동 패널이 있으며, 각각은 2개의 전자 빔 소스 중 하나의 전용 작동을 위해 할당됩니다.
다양한 종류의 전자빔 소스를 사용할 수 있으나 조합에 따라 가속 전압 범위 등에 제한이 있을 수 있습니다.
ST-EXTSIG 외부 신호 제어
조작 패널에 내장. 표준 9종의 외부 제어 신호 외에 투광 전류 확인 신호 등 다양한 신호의 외부 출력 가능
케이블 구성
| 타입 | 성함 | 모델 | 길이 |
|---|---|---|---|
| W1 W2 W8 |
E1/E2/접지 | BS-64410L06W128 | 6m |
| ST-10MW128 | 10m | ||
| ST-15MW128 | 15m | ||
| W3 W4 |
코일/HV(2코일) | BS-64420L06W34 | 6.5m / 5.5m |
| ST-10MW34 | 10m | ||
| ST15MW34 | 15m | ||
| W5 | 배출량 반환 | BS-64430L06W5 | 5.5m |
| ST-10MW5 | 10m | ||
| ST-15MW5 | 15m | ||
| W6 W7 |
인터록/EB 소스 ON | BS-64440L06W67 | 6m |
| ST-10MW67 | 10m | ||
| BS-64540L15W67 | 15m | ||
| W9 | 원격수행 | BS-64450L06W9 | 6m |
| ST-10MW9 | 10m | ||
| ST-15MW9 | 15m |
