단일 전자총을 사용하여 2 또는 3 소스 동시 증착을 수행하기 위한 빔 스위프 컨트롤러.
기능
JST-F 시리즈 전원 공급 장치와 함께 사용하여 단일 전자총으로 3소스 증착을 가능하게 합니다. 도가니의 인접한 1개 지점에 전자빔(10주기 XNUMXms)을 고속으로 노출시킵니다. (도가니 A → 도가니 B → 도가니 C → 도가니 A…)
각 빔 노출 시간은 출력 비율(A:B:C)을 지정하여 설정할 수 있습니다.
각 노광 위치에 대해 스위프 폭과 위치를 설정할 수도 있습니다.