닫기

지역 사이트 선택

닫기

크로스 섹션 폴리셔™

단면 연마기

IB-19530CP 단면 연마기

단면 연마기(이하 "CP")는 시험편의 깨끗한 단면을 준비하는 장치입니다. 주사 전자 현미경 (SEM), 전자 프로브 마이크로 분석기(EPMA)오거 마이크로 프로브.

넓은 Ar+ 이온빔과 차폐판을 사용하는 새로운 공법을 채용하여 기존 공법보다 적은 시간과 기술로 아티팩트와 왜곡이 없는 단면을 제작할 수 있게 되었습니다.

CP는 금속, 세라믹, 플라스틱 등 다양한 재료의 단면을 가공할 수 있으며 다양한 분야에서 활용되고 있습니다.

처리 원리

단면 연마기(CP)의 주요 구성 요소는 그림 1-1과 같이 Ar 이온 소스, 차폐판 및 시편입니다.

Ar 이온 소스는 Ar 가스를 이온화하고 Ar+ 이온을 생성하며 전압이 가해지면 특정 에너지 강도로 가속되는 Ar+ 이온을 방출합니다. 방출된 Ar+ 이온(이온은 최대 8kV까지 가속될 수 있음)이 시편을 관통하여 시편을 구성하는 원자에 에너지를 주고 결과적으로 이러한 원자의 위치를 ​​이동합니다. 이러한 현상을 노크온(knock-on)이라고 하며, 반복적으로 발생하는 노크온을 캐스케이드 충돌(cascade 충돌)이라고 합니다. 이러한 일련의 과정에서 시편을 구성하는 원자가 이탈하는 현상을 스퍼터링이라고 합니다. 이 스퍼터링 현상의 결과로 시편이 밀링됩니다.

차폐판은 쉽게 스퍼터링되지 않는 재질로 되어 있습니다. 표본 바로 위에 배치됩니다. 차폐판의 가장자리는 단면관찰을 원하는 지점에 위치시키고 시편에 Ar+ 이온을 조사한다. 차폐판으로 덮이지 않은 부분이 스퍼터링되어 차폐판 가장자리의 단면이 노출됩니다(그림 1-2). 시편에 경질물질과 연질물질이 혼재되어 있으면 Ar+ 이온빔의 처리속도에 차이가 발생하여 결과적으로 Ar+ 이온의 입사방향과 평행한 줄무늬 거칠기가 나타나게 된다. 생성. 이러한 거칠기를 줄이기 위해 시편과 차폐판을 스윙하도록 설계된 기구가 있다(JEOL 특허: No. 4557130).

그림 1-1 CP의 개략도

그림 1-1 CP의 개략도

그림 1-2 처리 중 개략도

그림 1-2 처리 중 개략도

CP 처리의 작동 원리 동영상 보기

최신 브라우저를 사용해 주세요.

적용 예 , 처리 특징

CP(Cross Section Polisher)는 넓은 이온빔을 사용하여 넓은 영역(500μm 이상)에서 거칠기가 거의 없는 표면을 생성할 수 있습니다.

아래는 EPMA에서 촬영한 전자부품 이미지입니다. 후방 산란 전자 이미지(그림 2-1)와 원소 매핑 이미지(그림 2-2)에서 1mm2의 넓은 영역에서 거칠기가 거의 없는 좋은 품질의 표면을 얻을 수 있음을 알 수 있습니다.

그림 2-1 (전자부품 기준: 휴대폰 샘플) CP에 따른 전자부품 단면도

그림 2-1 (전자부품 기준: 휴대폰 샘플) CP에 따른 전자부품 단면도

그림 2-2 원소 매핑 이미지 결과

그림 2-2 원소 매핑 이미지 결과

적용 예 , 시편 회전 홀더를 이용한 가공 방법

단면 연마기(CP)는 회전하는 샘플 홀더를 사용하여 보다 효과적인 가공을 수행할 수 있습니다.

시편 회전 홀더를 사용하여 CP(Cross Section Polisher) 처리의 효율성을 높일 수 있습니다. 그림 3-1은 이 방법의 원리를 보여준다. 통상의 가공법(차폐판을 이용하는 방법)에서는 식각율이 다른 여러 물질로 이루어진 다공성 시편이나 복합재료를 절단할 때 줄무늬 거칠기가 두드러지는 경우가 있다. Ar+ 이온빔을 시편에 360° 범위 이상 조사할 수 있는 시편 회전 홀더를 사용하면 이러한 시편에서도 줄무늬가 없는 단면을 얻을 수 있습니다.

그림 3-1 회전 홀더

그림 3-1 회전 홀더

그림 3-2는 표준 차폐판을 이용하여 제작한 단면(좌)과 동일한 표본(자동연필심)의 표본회전홀더를 이용하여 제작한 단면(우)의 차이를 나타낸 것이다. 둘을 비교할 때 후자의 결과가 더 좋고 줄무늬가 없다는 것이 분명합니다.

그림 3-2 자동 연필심

그림 3-2 자동 연필심

Contacts

JEOL은 고객이 안심하고 제품을 사용할 수 있도록 다양한 지원 서비스를 제공합니다.
Please feel free to contact us.