기능
열에 민감한 물질의 TEM 박막 샘플 준비 용이
액체 질소를 이용한 이온 조사시 열 손상 최소화
손상을 완전히 제거하기 위한 긴 극저온 유지 시간
액체 질소를 주입한 시료 교환
최대 샘플 크기: 2.8mm(L) x 1.0mm(W) x 0.1mm(T)
제품 사양
| IB-09060CIS | ||
| 이온 가속 전압 | 1 ~ 8kV | |
| 경사각 | 최대 6°(0.1°step) | |
| 이온빔 직경 | 500μm 이상(전폭 반치폭) | |
| 밀링 속도 | 5μm/min(가속 전압: 8kV, Si 환산값) | |
| 가스 | 아르곤 | |
| 최대 표본 크기 | 2.8mm(L)×1.0mm(W)×0.1mm(T) | |
| 試料冷却 | 시편 홀더 냉각 온도 | - 120 ℃ |
| 냉각 달성 시간 | 1h | |
| 냉각 유지 시간 | 8h | |
| 검체 반출 시간 | 30min | |
| 압력 측정 | 페닝 게이지 | |
| 메인 진공 펌프 | 터보 분자 펌프 | |
| CCD 카메라 | 내장 | |
| 치수 및 질량 | 기본 단위 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H), 70kg |
| 로터리 펌프 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H), 16kg | |
| 디스플레이 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H), 3.7kg | |
설치 요구 사항
| IB-09060CIS | |
| 출력 | 단상 AC 100~120V±10%, 50/60Hz, 0.5~0.6kVA |
| 접지 | 100Ω 이하 |
| 아르곤 가스 | 압력: 0.15±0.05MPa(1.0~2.0kg/cm2) 순도 : 99.9999% 이상 (아르곤가스, 가스통, 레귤레이터는 고객사에서 준비)
호스 조인트:JIS B0203, Rc1/4 |
| 실온 | 20에서 25 ℃ |
| 습기 | 60% 이하 |
사양은 사전 통지없이 변경 될 수 있습니다.
