- IoT CROSS SECTION POLISHER™의 탄생 -
CROSS SECTION POLISHER™ (CP)는 전자현미경 검사를 위해 시편의 단면을 준비하는 장치입니다.
이온빔으로 단면을 제작하기 때문에 연마 등 경험이 필요한 다른 방법에 비해 개체차 없이 짧은 시간 안에 좋은 품질의 단면을 얻을 수 있습니다.
새로운 GUI와 사물 인터넷(IoT)을 통합하여 IB-19540CP/IB-19550CCP로 밀링 프로세스의 작동 및 모니터링이 더욱 사용자 친화적이 되었습니다. 고처리량 이온 소스와 고처리량 냉각 시스템으로 빠르고 원활한 단면 준비가 가능합니다.
기능
새로운 GUI와 사물인터넷(IoT) ～사용자 친화적이고 원격 제어가 가능～
새로운 GUI를 통합하여 작업 단계를 쉽게 이해할 수 있게 되었습니다.
제어판의 흐름도를 따르면 쉽게 설정할 수 있습니다.
특정 응용 분야나 시편 유형에 맞춰 프로세스 조건을 저장하고 불러올 수 있는 사전 설정 기능을 사용할 수 있습니다.
웹 브라우저를 통해 원격으로 접속하고 제어할 수 있도록 LAN에 연결합니다.
여러 CP에 걸친 밀링 프로세스를 모니터링하고 조정합니다.
고처리량 이온 소스
고성능 이온 소스가 표준으로 장착되어 있습니다.
이온소스 전극 최적화로 이온전류밀도가 향상되었습니다.
그리고 가속 전압을 증가시킵니다. 표준 밀링 속도는 이제 1,200 μm/h입니다.
시편 : 실리콘 웨이퍼
이온 에너지 : 10 keV, 밀링 시간 : 1 시간
고성능 냉각 시스템 ～자동 냉각 및 자동 실내 온도 복귀～
정상 온도로 돌아가기 위한 냉각이 자동으로 수행될 수 있습니다.
또한, CP 측에서 액체질소 탱크 주변을 진공 청소하여 냉각 유지 시간 및 시편 냉각 온도를 유지할 수 있습니다.
-8°C에서 120시간 동안 연속 분쇄가 가능합니다.
냉각 온도를 제어하고, 냉각 도체의 반복적인 연결/수축을 통해 액체 질소 소모를 줄입니다.
액체질소가 있는 경우에도 표본 교환이 가능합니다.
제품 사양
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IB-19540CP/IB-19550CCP 횡단면 연마기™
