JIB-4000PLUS는 고성능 이온 광학 컬럼을 특징으로 하는 집중 이온 빔 밀링 및 이미징 시스템(단일 빔 FIB 시스템)입니다. 가속된 Ga(갈륨) 이온 빔은 시편 표면의 SIM 이미지 관찰, 밀링 및 탄소 또는 텅스텐과 같은 물질의 증착을 가능하게 하기 위해 시편에 초점을 맞춥니다. 이 시스템은 또한 TEM 이미징을 위한 박막 시편과 시편 내부를 관찰하기 위한 단면 시편을 준비할 수 있습니다.
또한 JIB-4000PLUS에는 3D 관찰 기능과 자동 TEM 시편 준비 기능이 장착될 수 있습니다. 따라서 시스템은 표본 준비에 대한 다양한 요구 사항을 충족합니다.
특징
고출력 FIB 컬럼
JIB-4000PLUS는 최대 이온 빔 전류가 60nA인 고전력 FIB 컬럼을 통합합니다. 또한 시스템은 시료 준비 시간을 단축하고 시료 준비 영역을 넓히기 위해 빔 전류를 최대 90nA(옵션)까지 증가시킬 수 있습니다. JIB-4000PLUS를 사용하면 직경이 100μm를 초과하는 단면을 단시간에 준비할 수 있습니다.
그림 1 솔더 범프(직경 100μm)의 단면 시편 준비 및 관찰.
사용자 친화적인 FIB
JIB-4000PLUS는 High-Power FIB 컬럼의 뛰어난 조작성을 제공합니다. 시스템의 디자인 컨셉은 사용자 친화적이며, 외관은 물론 GUI는 초보 사용자도 쉽게 시스템을 조작할 수 있도록 설계되었습니다. 업계 최소 클래스인 시스템의 소형화는 설치 장소에 대한 더 넓은 범위의 선택을 위한 작은 설치 공간을 달성합니다.
트윈 스테이지
JIB-4000PLUS의 표준 구성에는 벌크 시편 모터 스테이지가 포함됩니다. TEM 칩 온 홀더를 직접 삽입할 수 있는 사이드 엔트리 고니오미터 스테이지를 추가하는 것도 가능합니다. 사이드 엔트리 고니오미터 스테이지는 JEOL TEM에 사용된 것과 동일하여 FIB 밀링과 TEM 관찰 사이의 교대를 용이하게 합니다.
3차원 관찰 기능
JIB-4000PLUS에는 3D 관찰을 위한 직렬 단면 이미징 기능이 있습니다.
JIB-4000PLUS는 단일 빔 FIB 시스템이지만 SIM 이미지를 사용하여 3D 관찰이 가능합니다. 옵션인 3D 재구성 소프트웨어를 사용하면 획득한 여러 단면 이미지의 3D 재구성이 가능하여 다양한 각도에서 3D 이미지를 표시할 수 있습니다.
Fig.2 CCD 이미지 센서의 3D 재구성 이미지
자동 TEM 시편 준비 기능
JIB-4000PLUS는 자동 TEM 시편 준비 기능(옵션)인 "STEMPLING"을 사용할 수 있습니다.
이 기능으로 인해 검체 준비에 고도의 전문 기술이 필요하지 않아 누구나 쉽게 검체를 준비할 수 있습니다. 이 기능은 또한 여러 검체의 자동 준비를 가능하게 하므로, 많은 양의 검체를 준비하기 위해 밤새 무인 작동이 가능합니다.
Fig.3 자동 TEM 시편 준비 기능(STEMPLING)의 적용 예. 시편: Si 웨이퍼
풍부한 첨부 파일
JIB-4000PLUS는 회로 수정에 유용한 CAD 내비게이션 시스템과 특징적인 형상으로 시편을 밀링하는 데 효과적인 벡터 스캔 시스템을 포함하여 시스템 작동을 지원하는 다양한 부착물을 수용합니다. JIB-4000PLUS에 적절한 부착물을 추가함으로써 시스템은 표본 준비 이외의 애플리케이션을 지원할 수 있습니다.
제품 사양
FIB
| 이온 소스 | Ga 액체 금속 이온 소스 |
|---|---|
| 가속 전압 | 1~30kV(5단계) |
| 확대 | ×60(필드 검색용) ×200 ~ ×300,000 |
| 이미지 해상도 | 5nm(30kV에서) |
| 최대 빔 전류 | 60nA(30kV에서) 90nA(30kV에서)*옵션 |
| 이동식 조리개 | 12단(모터 구동) |
| 밀링에 의한 형상 가공 | 사각형, 선 및 점 |
표본 단계
| 표본 단계 | 벌크 시편 5축 고니오미터 스테이지 |
|---|---|
| 이동 범위 | 엑스: ±11mm Y: ±15mm Z: 0.5~-23mm T: -5 ~ +60° 오른쪽: 360° |
| 최대 표본 크기 | 직경 28mm (높이 13mm) 50 mm 직경 (높이 2mm) |
카탈로그 다운로드
JIB-4000PLUS 집속 이온빔 밀링 및 이미징 시스템
어플리케이션
애플리케이션 JIB-4000PLUS
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IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS 자동 TEM 시편 준비 시스템 STEMPLING
자동 TEM 시편 준비 시스템 STEMPLING은 FIB를 사용하여 자동 TEM 시편 준비를 위한 소프트웨어입니다. 이 시스템은 누구나 쉽게 조작할 수 있는 FIB를 이용한 검체 준비와 많은 수의 검체를 생성할 수 있는 기술에 대한 요구를 충족시키기 위해 개발되었습니다. STEMPLING 덕분에 검체 준비에 고도의 전문 기술이 필요하지 않아 누구나 쉽게 검체를 준비할 수 있습니다. 또한 시스템을 통해 여러 개의 검체를 자동으로 준비할 수 있으므로 야간 작업을 통해 많은 수의 검체를 생성하여 작업 효율성을 최적화할 수 있습니다.
STEMPLING은 Multi Beam System JIB-4700F 및 Focused Ion Beam Milling & Imaging System JIB-4000PLUS와 함께 사용할 수 있습니다.
