특징
새로운 고성능 SEM 및 마이크로 밀링 FIB인 MultiBeam은 세계에서 가장 인기 있는 LaB6 전자 컬럼을 실시간 밀링 및 모니터링 기능과 결합합니다. JIB-4500 MultiBeam은 다양한 애플리케이션을 위한 동시 보기, 분석 및 마이크로 밀링 기능을 통해 높은 처리량과 향상된 생산성을 제공합니다.
다재
코팅 또는 변경 없이 비전도성 시편 이미징을 위한 저진공 작동
에칭 및 증착을 위한 가스 주입 시스템
최대 76mmΦ 샘플을 위한 대형 스테이지
모든 분석 요구 사항을 충족하는 다중 포트 설계
생산성
3D 이미지 모니터링, 슬라이싱, 제작 및 재구성을 위한 직렬 슬라이싱 및 샘플링(S3)
높은 처리량을 위한 최대 밀링 전류
빠른 샘플 로딩을 위한 표준 에어록 시스템
안정
장기간 밀링/모니터링을 위한 안정적인 영상 제공
넓은 영역의 높은 처리량 밀링(최대 밀링 전류 30nA)
5축 유센트릭 고니오미터 스테이지
