JIB-4601F는 열이온 SEM과 고성능 이온 컬럼을 통합한 MultiBeam 처리 시스템입니다. 이 기기는 표본 표면을 관찰하기 위한 SEM 시스템으로 사용할 수 있습니다. 또는 FIB를 사용하여 영역을 밀링하는 섹션 밀링을 수행한 다음 SEM을 사용하여 요소 분석 및 내부 부분을 관찰할 수 있습니다. FIB는 미세 밀링 및 TEM 박막 샘플 준비에 사용할 수 있습니다. 대형 챔버는 적용 가능한 범위를 확장합니다. 저진공 모드에서는 절연체 코팅 없이 SEM 관찰이 가능하여 거의 모든 분야에서 사용할 수 있습니다.
특징
열전자 방출 SEM과 고성능 FIB 컬럼의 조합을 이용한 종합 분석
JIB-4501은 최대 프로브 전류가 60nA인 고전력 FIB 컬럼을 통합하여 빠른 밀링을 가능하게 합니다. 더 넓은 영역의 단면 밀링을 수행할 수 있으며 현장의 SEM 관찰, EDS* 또는 EBSD* 분석도 수행할 수 있습니다. 동일한 진공 공간 내에서 일련의 작업을 수행할 수 있으므로 산화로 인한 시료의 표면 열화 없이 분석을 수행할 수 있습니다. 대형 스테이지는 최대 직경 75mm, 높이 30mm의 표본을 수용할 수 있습니다.
(*) 옵션 첨부
직렬 슬라이싱 및 샘플링 기능
JIB-4501 컬럼 배열은 FIB를 사용하여 밀링된 단면을 스테이지 기울임 각도를 변경하지 않고 SEM으로 관찰할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 FIB 섹션 밀링 및 SEM 이미지 획득 작업의 연속적인 자동화 시퀀스를 수행할 수 있습니다. 선택적 소프트웨어 응용 프로그램인 Stack-N-Viz를 사용하면 3차원 이미지를 재구성하여 표본의 내부 구조를 더 잘 이해할 수 있습니다.
다른 JEOL 제품과 호환 가능
JIB 시리즈는 JEM 시리즈 및 JSM 시리즈 장치와 호환되는 옵션을 사용합니다. JIB 시리즈를 사용하여 제작된 시편은 다른 JEOL 시스템 간에 효율적으로 전송되어 뛰어난 처리량으로 더욱 상세한 분석을 얻을 수 있습니다. 예를 들어 JEM 시리즈(예: JEM-ARM200F) TEM 홀더 팁과 JIB-4501 스테이지 사이에 셔틀 리테이너를 사용하면(그림 1) 메쉬에 장착된 TEM 샘플의 복잡한 처리가 필요하지 않습니다. 향상된 처리량을 허용하는 그리드.
제품 사양
FIB
| 이온 소스 | Ga 액체 금속 이온 소스 |
|---|---|
| 가속 전압 | 1 ~ 30kV(5kV 단계) |
| 확대 | x60(필드 검색용)
x200 ~ x300,000 |
| 이미지 해상도 | 5nm(30kV에서) |
| 빔 전류 | 최대 60nA(30kV에서) |
| 이동식 조리개 | 12단(모터 구동) |
| 밀링 중 이온 빔 모양 | 직사각형, 선 및 점 |
표본 단계
| 벌크 시편 5축 고니오미터 스테이지 | |
|---|---|
| 이동 범위 | X: ±11mm
Y: ±15mm Z: 0.5mm ~ -23mm T: -5° ~ +60° 오른쪽: 360° |
| 최대 표본 크기 |
직경 28mm (높이 13mm)
/ 직경 50mm(높이 2mm) |
선택적 첨부 파일
가스 분사 시스템 2 (IB-02100GIS2)
탄소 증착 카트리지(IB-52110CDC2)
텅스텐 증착 카트리지(IB-52120WDC2)
백금 증착 카트리지(IB-52130WDC2)
사이드 엔트리 고니오미터 스테이지(IB-01040SEG)
프로브 전류 검출기(IB-04010PCD)
오퍼레이션 패널(IB-05010OP)
스테이지 내비게이션 시스템(IB-01200SNS)
FIB 팁온 홀더(EM-02210)
FIB 벌크 시료 홀더(EM-02220)
FIB 벌크 시료 홀더 1(EM-02560FBSH1)
FIB 벌크 시료 홀더 2(EM-02570FBSH2)
FE-SEM 시편 홀더 어댑터(EM-02580FSHA)
셔틀 리테이너(EM-02280)
분위기 픽업 시스템 (EM-02230)
