JED-2300 Analysis Station Plus는 시료에서 발생하는 특성 X선을 검출하여 원소 분석을 수행하는 EDS 시스템으로 전자 분야에서 다년간의 JEOL 경험을 바탕으로 "Seamless from Observation to Analysis" 설계 개념을 바탕으로 개발되었습니다. 광학 및 EDS.
이 EDS 시스템은 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스로 포괄적인 데이터 관리(현미경 이미지 및 X선 데이터)를 위해 SEM, FIB-SEM 및 TEM과 완전히 통합됩니다.
모터 구동 스테이지가 장착된 FIB-SEM 시스템의 경우 다른 배율 또는 다른 스테이지 위치의 현미경 이미지 및 요소 맵의 위치와 같은 시각화된 작업으로 넓은 영역에 대한 데이터 관리가 용이합니다.
특징
혁신적인 디자인
작업 아이콘
아이콘은 데이터 수집의 각 단계를 통해 사용자를 안내하는 왼쪽에서 오른쪽으로 정렬됩니다. 또한 시각적 이해를 위해 각 아이콘의 기능을 표시합니다.
인덱스 이미지 디스플레이
작업자는 인덱스 이미지 디스플레이에서 획득한 데이터에 빠르게 액세스할 수 있습니다.
분석 데이터 목록
이미지 및 분석 결과는 빠른 액세스를 위해 동일한 폴더에 자동으로 저장됩니다. 작업자가 인덱스 이미지 디스플레이에서 임의의 영역을 선택하면 해당 영역에 대한 데이터가 분석 데이터 목록에 표시되므로 데이터 관리가 간소화됩니다.
비주얼 피크 ID
정성분석 결과에서 구성요소가 제대로 식별되었는지 확인할 수 있는 기능입니다. 스펙트럼은 정성 분석에서 식별된 요소의 X선 강도를 기반으로 계산하여 재구성됩니다.
Bi X-ray 선의 피크 모양은 획득한 스펙트럼(분홍색)과 계산된 스펙트럼(파란색)에서 다른 것으로 나타났습니다.
Bi 피크 위치의 재검사는 Pb의 존재를 나타냅니다. 분석 결과에 Pb를 첨가했을 때 두 피크 모양이 일치했습니다. 이 결과, 시편에 Pb가 포함되어 있음을 확인하였다.
재생 분석 기능
기존의 원소 매핑은 충분한 X-ray 카운트가 있을 때까지 획득하고 스펙트럼에 대한 모든 프레임의 누적 카운트가 각 픽셀에 저장되는 스펙트럼을 저장합니다. JED-2300 Analysis Station Plus에서 사용할 수 있는 재생 분석 기능은 원소 맵을 획득한 후 이 데이터를 애니메이션과 같이 재생할 수 있습니다. 따라서 이 기능은 광범위한 분석을 수행하는 데 도움이 될 수 있습니다. 예를 들어, 가열 등의 In-situ 해석을 하는 동안 맵 획득 시 시편의 변형이나 시편의 요소 변화의 유무를 확인할 수 있습니다.
스마일 스테이션™ 2
원소 맵은 자동으로 획득되어 사용자가 몽타주된 이미지 또는 여러 현미경 이미지에서 필요한 영역만 선택할 수 있으므로 복잡한 영역을 효율적으로 분석할 수 있습니다.
입자 분석 소프트웨어 2
입자 분석 기능
검출된 특징물(특정 입자 등)의 형태 정보를 현미경 이미지(후방 산란 전자 조성 이미지 등)의 강도 차이에 따라 수집할 수 있습니다. 이러한 특징 개체는 자동 EDS 분석 대상이 될 수 있습니다. 이미지의 강도 차이, 크기 및 모양 등 분석 조건을 설정하여 다양한 특징 객체를 분석합니다. Smile Station™ 2와 함께 사용하면 넓은 영역에서 자동 입자 분석이 가능합니다. 이 기능은 또한 광물 입자의 내포물, 특정 모양의 특징 물체 구별, 필터에 수집된 입자를 포함하도록 응용 프로그램을 확장합니다.
통계 처리
각 입자에 대해 EDS 분석 결과 및 입자 형상 정보(입자 직경, 면적 등)가 기록됩니다. 통계 처리를 위한 정보에서 그래프나 테이블을 생성할 수 있습니다.
자동 분석의 예(석면)
석면은 높은 종횡비 모양을 나타냅니다. 입자 분석 소프트웨어 2는 EDS 분석을 위해 석면(섬유)에 대한 종횡비를 선택할 수 있으므로 적절한 크기와 모양의 입자만 구별하여 측정합니다. EDS 분석 결과에서 분석된 침상 입자가 석면인지 여부를 판단하고 석면의 종류를 분류할 수 있습니다. 분석 완료 후 각 입자의 분석 결과를 재확인할 수도 있습니다.
분류된 석면
입자 분석 소프트웨어로 추출한 석면
크라이 소 타일
아모사이트
크로 시드 라이트
건식 실리콘 드리프트 감지기
기존의 Si(Li) 유형 EDS 검출기와 달리 Dry Silicon Drift Detector는 액체 질소가 필요하지 않습니다. 유지 관리가 더 쉽고 SDD는 더 높은 X선 카운트 처리량을 허용합니다. 대면적 Dry Silicon Drift Detectors를 사용하면 작은 프로브 전류로도 원소 분석이 가능합니다.
건식 실리콘 드리프트 감지기
건식 실리콘 드리프트 감지기 목록
| 주사 전자 현미경 | 감지 영역 | 에너지 해상도 | 감지 가능한 요소 |
|---|---|---|---|
| JCM-6000 시리즈 | 25 mm2 | 133eV 이하 | B~U |
| JSM-IT100 시리즈 | 25 mm2 | 130eV 이하 | 비~유 |
| JSM-IT500 시리즈 FE-SEM |
25 mm2, 30mm2 60 mm2, 100mm2 |
129eV 이하 133eV 이하 |
비~유 B~U |
JSM-IT100 시리즈의 경우, 이 웹 페이지에 제시된 기능은 JED-2300 Analysis Station Plus가 JSM-IT100 또는 JSM-IT100LV에 설치된 경우에만 적용됩니다. JSM-IT100A 및 JSM-IT100LA에는 다른 분석 소프트웨어가 사용됩니다.
제품 사양
| SEM | JCM-6000 연속 |
※주의 사항 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 제어 PC | OS:Microsoft®Windows®７ 32bit/64bit、 Windows®10 64비트 |
● | ● | 6 | ||||
| 지원하는 언어 | 일본어/영어 | ● | ● | |||||
| 탐지기 | SDD 유형 | 감지기 목록에서 선택 | 만 25 mm2 탐지기 |
|||||
| Ⅰ: 표준 모드 Ⅱ: 지도 모드 Ⅲ: 몽타주 모드 IV: 입자 분석 모드 Ⅴ: 대면적 입자 분석 모드 |
ⅰ | Ⅱ | ⅲ | ⅳ | Ⅴ | |||
| 스펙트럼 분석 | 정성/정량 분석(ZAF 보정, TEM용 박막 근사) | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 시각적 피크 ID(VID) | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 화학종 분류, QBase(Qualitative Analysis Database) | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 계수율 및 데드타임 실시간 표시 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 보고서 생성 | 단일 클릭 보고서 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 스마일뷰™ | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Microsoft® Word, Microsoft® PowerPoint®로 내보내기 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 분석 스테이션 | 데이터 관리 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| EDS 모니터에서 분석 시작(획득된 이미지에 설정된 분석 위치) | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 해석 위치의 그래픽 표시, Navigation, Pinpoint Navi | ● | ● | ● | ● | 2 | |||
| SEM 통합 | 현미경 상태의 자동 모니터링 (배율, 가속전압, Stage 좌표) |
● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| SEM WD 모니터링 | ● | ● | ● | ● | 1 | |||
| SEM 모니터에 지정된 분석 위치 (SEM GUI에서 직접 분석 설정) |
● | ● | ● | ● | 1 | |||
| 도움말 기능 | 분석 지원 | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 라인 분석 | 라인 분석, 정량 라인 분석 | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 대면적 라인 프로파일 | ● | ● | ● | ● | ||||
| 원소 지도 | 원소 맵(3색 맵, 프로브 추적) | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| 높이 정의 이미지(전자 현미경 이미지 및 요소 지도용 4096 × 3072 픽셀) | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 미세 영역 요소에 대한 픽업 기능 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 팝업 스펙트럼 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 정량적 지도 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 잔차 지도 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 재생 분석 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 산포도 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 스마일 스테이션™ 2 | 자동 순차 분석 | ● | ● | 2 | ||||
| 자동 몽타주(SEM 이미지, 원소 맵) | ● | ● | 2 | |||||
| 여러 지역의 원소 맵 자동 획득 | ● | ● | 2 | |||||
| 입자 분석 소프트웨어 2 | 입자 분석(자동/수동) 및 EDS 분석 | ● | ● | |||||
| 통계처리(분석결과, 입경, 면적 등) | ● | ● | ||||||
| 여러 영역에 대한 순차 입자 및 EDS 분석 | ● | 3 | ||||||
| 입자 탐지기 | ● | 3 | ||||||
| 직접 검토 | ● | 3 | ||||||
| GSR 분석 | 자동 총탄 잔사(GSR) 분석 | ● | 3, 4 | |||||
| RHI-RHO-Z 정량 분석 | 가벼운 원소와 무거운 원소가 포함된 시료의 정량 분석 정확도 향상 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 프로브 전류 보상 |
프로브 전류 모니터링, 프로브 전류 변동 보상 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 5 | |
| 사용자 기준 획득 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 5 | ||
| 스윙 마우스 | XNUMX대의 PC(SEM & EDS)를 위한 한 세트의 마우스 및 키보드 제어 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| 오프라인 분석 | 오프라인 데이터 분석을 위한 라이선스 소프트웨어 | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 내장 소프트웨어 | 표준 소프트웨어 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 디지털 매핑 소프트웨어 | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 스마일 스테이션™ 2 | ● | ● | ||||||
| 입자 분석 소프트웨어 2 | ● | ● |
● 내장 ○ 옵션
JSM-IT300HR LA에만 적용됩니다.
모터 구동 스테이지가 있는 SEM에 적용 가능. JSM-6000Plus에는 적용되지 않습니다.
모터구동단이 XYZ 3축 이상인 SEM에 적용.
보정을 수행하려면 옵션 GSR 장치가 필요합니다.
옵션 프로브 전류 보상 장치가 필요합니다. 프로브 전류의 자동 모니터링은 EDS가 현미경 PC에 연결된 경우에만 가능합니다. PCD 및 AEI를 포함하는 FE-SEM에는 이 장치가 필요하지 않습니다.
JSM-IT300HR LA 및 JCM-6000 시리즈의 경우 EDS 소프트웨어는 현미경 기본 장치용 PC에 설치됩니다. 따라서 이 경우에는 EDS 전용 PC가 필요하지 않습니다.
사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.
Microsoft, Windows 및 PowerPoint는 미국 및 기타 국가에서 Microsoft Corporation의 등록 상표입니다.
