내장된 표준 레시피로 다양한 사용자의 요구를 충족하는 범용 열 유형 SEM입니다. Cryo와 같이 사용 가능한 다양한 옵션은 적용 범위를 더욱 확장합니다.
특징
작업 탐색
작업 내비게이션 화면에는 다양한 내비게이션 기능이 표시됩니다.
검체 교환 절차를 플로우 형식으로 제시하여 처음 사용하는 사용자도 쉽게 절차를 완료할 수 있습니다.
모터구동 스테이지 옵션 장착 시 스테이지 그래픽으로 목표지점 찾기 용이 스테이지 내비게이션 시스템(옵션) 이용 시 광학현미경을 조작하는 듯한 느낌으로 관심영역의 위치 파악이 가능합니다.
비디오 애니메이션은 유지 보수 절차 설명을 보완합니다.
표준 레시피
JEOL의 전문 지식과 경험을 통합한 표준 레시피가 사전 설치됨
새로운 SEM 사용자도 각 샘플에 적합한 조건을 설정할 수 있습니다.
다양한 옵션
크라이오 시스템, 쿨스테이지 등 다양한 옵션 장착 가능
EDS도 JEOL 제품이므로 한 대의 PC에서 제어 가능
EDS 통합
SEM 창에서 분석을 시작할 수 있습니다.
EDS도 JEOL 제품이므로 한 대의 PC에서 제어 가능
제품 사양
| 해상도HV 모드 | 3.0nm(30kV), 8nm(3kV), 15nm(1kV) |
|---|---|
| LV 모드 *1 | 4.0nm(30kV) |
| 확대 | × 5 ~ × 300,000(128mm × 96mm 이미지 크기 기준) |
| 사전 설정 배율 | 5단계, 사용자 선택 가능 |
| 표준 레시피 | 내장 |
| 맞춤형 레시피 | 작동 조건(광학, 이미지 모드, LV 압력*1) 표본 단계 |
| 이미지 모드 | XNUMX차 전자 이미지, REF 이미지, 구성*1, 지형*1, 그림자*1 |
| 가속 전압 | 0.5 kV의에 30 kV의 |
| 필라멘트 | 공장 사전 중심 필라멘트 |
| 전자총 | 완전 자동화, 수동 오버라이드 |
| 콘덴서 렌즈 | 줌 콘덴서 렌즈 |
| 대물 렌즈 | 슈퍼 원뿔 대물 렌즈 |
| 대물 렌즈 조리개 | 3단계, XY 미세 조정 가능 |
| 스티그마터 메모리 | 내장 |
| 전기적 이미지 이동 | ±50μm(WD = 10mm) |
| 자동 기능 | 초점, 밝기, 대비, 낙인 |
| 표본 단계 | Eucentric 대형 표본 스테이지
X: 80mm, Y: 40mm, Z: 5mm ~ 48mm, 기울기: −10° ~ 90°, 회전: 360° |
| 참조 이미지(네비게이터*3) | 4 이미지 |
| 표본 교환 | 무대를 그린다 |
| 최대 표본 | 직경 150mm |
| PC | IBM PC/AT 호환 |
| OS | 윈도우 7 |
| 모니터 | 19인치 LCD, 1 또는 2*2 |
| 액자 가게 | 640×480, 1,280×960, 2,560×1,920, 5,120×3,340 |
| 듀얼 라이브 이미지 | 내장 |
| 전체 크기 이미지 표시 | 내장 |
| 의사 색상 | 내장 |
| 다중 이미지 표시 | 이미지 2개, 이미지 4개 |
| 디지털 줌 | 내장 |
| 이중 배율 | 내장 |
| 네트워크 | Ethernet |
| 측량 | 내장 |
| 이미지 형식 | BMP, TIFF, JPEG |
| 자동 이미지 아카이빙 | 내장 |
| 펌핑 시스템 | 완전 자동화, DP: 1, RP: 1 또는 2*1 |
| 진공 모드 전환*1 | 메뉴를 통해 1분 이내 |
| LV 압력*1 | 10~270Pa |
| JED-2300 EDS*2 | 내장 |
주요 옵션
후방 산란 전자 검출기*1
저진공 XNUMX차 전자 검출기
에너지 분산형 X선 분석기(EDS)
파장 분산형 X선 분석기(WDS)
EBSD
무대 내비게이션 시스템
에어록 챔버
챔버 범위
조작 키보드
랩6 전자총
보고서 작성 소프트웨어(SMile View™)*2
조작 콘솔(폭 750mm, 폭 900mm)
모터 제어 스테이지(2축, 3축, 5축)
JSM-6510LA 및 JSM-6510LV의 표준
JSM-6510LA 및 JSM-6510A의 표준
전동 시편 스테이지가 제공되는 경우에 사용할 수 있습니다.
어플리케이션
신청 JSM-6510series
갤러리 (Gallery)
