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JSM-6610 시리즈 주사 전자 현미경

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JSM-6610 시리즈 주사 전자 현미경

이미징과 분석 간의 원활한 전환. 표준 레시피로 설정 절차를 간소화하여 다양한 사용자의 요구를 충족하는 범용 열화상 SEM입니다. 표준 5축 모터 스테이지를 사용하면 관심 영역을 쉽게 찾을 수 있습니다.

특징

작업 탐색

작업 내비게이션 화면에는 다양한 내비게이션 기능이 표시됩니다.
검체 교환 절차를 플로우 형식으로 제시하여 처음 사용하는 사용자도 쉽게 절차를 완료할 수 있습니다.
스테이지 그래픽은 대상 사이트 검색을 단순화합니다.
스테이지 내비게이션 시스템(옵션)을 사용하면 광학 현미경을 조작하는 느낌으로 관심 영역을 찾을 수 있습니다.
비디오 애니메이션은 유지 보수 절차 설명을 보완합니다.

표준 레시피

JEOL의 전문 지식과 경험을 통합한 표준 레시피가 사전 설치됨
새로운 SEM 사용자도 각 샘플에 적합한 조건을 설정할 수 있습니다.

대형 무대

5축 모터 구동 스테이지가 있는 대형 시편 챔버가 표준 구성에 포함되어 있습니다.
8인치 직경 x 80mm 높이의 샘플을 처리할 수 있습니다.

EDS 통합

SEM 창에서 분석을 시작할 수 있습니다.
EDS도 JEOL 제품이므로 한 대의 PC에서 제어 가능

제품 사양

해상도HV 모드 3.0nm(30kV), 8nm(3kV), 15nm(1kV)
LV 모드 *1 4.0nm(30kV)
배율 × 5 ~ × 300,000(128mm × 96mm 이미지 크기 기준)
사전 설정 배율 5단계, 사용자 선택 가능
표준 레시피 내장
맞춤형 레시피 작동 조건(광학, 이미지 모드, LV 압력*1) 표본 단계
이미지 모드 XNUMX차 전자 이미지, REF 이미지, 구성*1, 지형*1, 그림자*1
가속 전압 0.3 kV의에 30 kV의
필라멘트 공장 사전 중심 필라멘트
전자총 완전 자동화, 수동 오버라이드
콘덴서 렌즈 줌 콘덴서 렌즈
대물 렌즈 슈퍼 원뿔 대물 렌즈
대물 렌즈 조리개 3단계, XY 미세 조정 가능
스티그마터 메모리 내장
전기적 이미지 이동 ±50μm(WD = 10mm)
자동 기능 초점, 밝기, 대비, 낙인
표본 단계 Eucentric 대형 표본 스테이지
전동 축
X: 125mm, Y: 100mm, Z: 5mm ~ 80mm,
기울기: −10° ~ 90°, 회전: 360°
참조 이미지(네비게이터) 4 이미지
표본 교환 무대를 그린다
최대 표본 직경 200mm
PC IBM PC/AT 호환
OS 윈도우 7
모니터 19인치 LCD, 1 또는 2*2
액자 가게 640×480, 1,280×960, 2,560×1,920, 5,120×3,340
듀얼 라이브 이미지 내장
전체 크기 이미지 표시 내장
의사 색상 내장
다중 이미지 표시 이미지 2개, 이미지 4개
디지털 줌 내장
이중 배율 내장
네트워크 Ethernet
측량 내장
이미지 형식 BMP, TIFF, JPEG
자동 이미지 아카이빙 내장
펌핑 시스템 완전 자동화, DP: 1, RP: 1 또는 2*1
진공 모드 전환*1 메뉴를 통해 1분 이내
LV 압력*1 10~270Pa
JED-2300 EDS*2 내장

주요 옵션

후방 산란 전자 검출기*1
저진공 XNUMX차 전자 검출기 
에너지 분산형 X선 분석기(EDS)
파장 분산형 X선 분석기(WDS)
EBSD
무대 내비게이션 시스템
에어록 챔버
챔버 범위
조작 키보드
6 전자총
보고서 작성 소프트웨어(SMile View™)*2
조작 콘솔(폭 750mm, 폭 900mm)

  • JSM-6610LA 및 JSM-6610LV의 표준

  • JSM-6610LA 및 JSM-6610A의 표준

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