이미징과 분석 간의 원활한 전환. 표준 레시피로 설정 절차를 간소화하여 다양한 사용자의 요구를 충족하는 범용 열화상 SEM입니다. 표준 5축 모터 스테이지를 사용하면 관심 영역을 쉽게 찾을 수 있습니다.
특징
작업 탐색
작업 내비게이션 화면에는 다양한 내비게이션 기능이 표시됩니다.
검체 교환 절차를 플로우 형식으로 제시하여 처음 사용하는 사용자도 쉽게 절차를 완료할 수 있습니다.
스테이지 그래픽은 대상 사이트 검색을 단순화합니다.
스테이지 내비게이션 시스템(옵션)을 사용하면 광학 현미경을 조작하는 느낌으로 관심 영역을 찾을 수 있습니다.
비디오 애니메이션은 유지 보수 절차 설명을 보완합니다.
표준 레시피
JEOL의 전문 지식과 경험을 통합한 표준 레시피가 사전 설치됨
새로운 SEM 사용자도 각 샘플에 적합한 조건을 설정할 수 있습니다.
대형 무대
5축 모터 구동 스테이지가 있는 대형 시편 챔버가 표준 구성에 포함되어 있습니다.
8인치 직경 x 80mm 높이의 샘플을 처리할 수 있습니다.
EDS 통합
SEM 창에서 분석을 시작할 수 있습니다.
EDS도 JEOL 제품이므로 한 대의 PC에서 제어 가능
제품 사양
| 해상도HV 모드 | 3.0nm(30kV), 8nm(3kV), 15nm(1kV) |
|---|---|
| LV 모드 *1 | 4.0nm(30kV) |
| 배율 | × 5 ~ × 300,000(128mm × 96mm 이미지 크기 기준) |
| 사전 설정 배율 | 5단계, 사용자 선택 가능 |
| 표준 레시피 | 내장 |
| 맞춤형 레시피 | 작동 조건(광학, 이미지 모드, LV 압력*1) 표본 단계 |
| 이미지 모드 | XNUMX차 전자 이미지, REF 이미지, 구성*1, 지형*1, 그림자*1 |
| 가속 전압 | 0.3 kV의에 30 kV의 |
| 필라멘트 | 공장 사전 중심 필라멘트 |
| 전자총 | 완전 자동화, 수동 오버라이드 |
| 콘덴서 렌즈 | 줌 콘덴서 렌즈 |
| 대물 렌즈 | 슈퍼 원뿔 대물 렌즈 |
| 대물 렌즈 조리개 | 3단계, XY 미세 조정 가능 |
| 스티그마터 메모리 | 내장 |
| 전기적 이미지 이동 | ±50μm(WD = 10mm) |
| 자동 기능 | 초점, 밝기, 대비, 낙인 |
| 표본 단계 | Eucentric 대형 표본 스테이지
전동 축 X: 125mm, Y: 100mm, Z: 5mm ~ 80mm, 기울기: −10° ~ 90°, 회전: 360° |
| 참조 이미지(네비게이터) | 4 이미지 |
| 표본 교환 | 무대를 그린다 |
| 최대 표본 | 직경 200mm |
| PC | IBM PC/AT 호환 |
| OS | 윈도우 7 |
| 모니터 | 19인치 LCD, 1 또는 2*2 |
| 액자 가게 | 640×480, 1,280×960, 2,560×1,920, 5,120×3,340 |
| 듀얼 라이브 이미지 | 내장 |
| 전체 크기 이미지 표시 | 내장 |
| 의사 색상 | 내장 |
| 다중 이미지 표시 | 이미지 2개, 이미지 4개 |
| 디지털 줌 | 내장 |
| 이중 배율 | 내장 |
| 네트워크 | Ethernet |
| 측량 | 내장 |
| 이미지 형식 | BMP, TIFF, JPEG |
| 자동 이미지 아카이빙 | 내장 |
| 펌핑 시스템 | 완전 자동화, DP: 1, RP: 1 또는 2*1 |
| 진공 모드 전환*1 | 메뉴를 통해 1분 이내 |
| LV 압력*1 | 10~270Pa |
| JED-2300 EDS*2 | 내장 |
주요 옵션
후방 산란 전자 검출기*1
저진공 XNUMX차 전자 검출기
에너지 분산형 X선 분석기(EDS)
파장 분산형 X선 분석기(WDS)
EBSD
무대 내비게이션 시스템
에어록 챔버
챔버 범위
조작 키보드
랩6 전자총
보고서 작성 소프트웨어(SMile View™)*2
조작 콘솔(폭 750mm, 폭 900mm)
JSM-6610LA 및 JSM-6610LV의 표준
JSM-6610LA 및 JSM-6610A의 표준
어플리케이션
신청 JSM-6610series
갤러리 (Gallery)
