JSM-7200F는 플래그십 모델인 JSM-7800FPRIME에 탑재된 전자광학장치인 "In-Lens SchottkyPlus" 기술을 적용하고 TTLS를 내장하여 고가속 전압과 저가속 전압 모두에서 기존 모델보다 월등히 높은 공간 분해능을 가집니다. (렌즈를 통한 시스템). 위에서 언급한 기능으로 인해 300nA의 최대 프로브 전류도 보장됩니다. 따라서 JSM-7200F는 고해상도 관찰, 높은 처리량 분석, 사용 편의성 및 확장성을 갖춘 차세대 다목적 FE-SEM입니다.
특징
JSM-7200F의 주요 특징은 "In-Lens SchottkyPlus" 기술 기반의 전자광학, GB(Gentle Beam mode), TTLS(Through-The-Lens System)로 낮은 가속 전압에서도 고해상도 관찰이 가능하고 광량 조절이 가능하다. 저에너지 신호를 상부 검출기에서 감지하고 자기 렌즈와 정전기 렌즈를 결합한 하이브리드 대물 렌즈.
인렌즈 쇼트키 전자총
In-Lens Schottky 전자총(JEOL 특허)은 전자총과 저수차 콘덴서 렌즈의 형상을 최적화하여 개발되었습니다. 이 독자적인 기술에 의해 전자총에서 방출되는 전자를 기존의 것보다 효율적으로 활용할 수 있어 대전류에서도 전자 탐침의 작은 직경이 가능합니다. 따라서 JSM-7200F는 높은 처리량의 분석(EDS, WDS, EBSD 등)이 가능합니다.
TTLS(렌즈를 통한 시스템)
TTLS(through-the-lens system)는 낮은 가속 전압에서 고해상도 관찰이 가능하고 GB(Gentle Beam mode)를 이용하여 시편에서 발생하는 다양한 신호를 선택할 수 있는 시스템입니다.
GB(Gentle Beam mode)로 시료에 바이어스 전압을 가하면 입사전자는 감속되고 시료에서 방출되는 전자는 가속되어 낮은 신호대잡음비에서도 더 좋은 신호대잡음비의 고해상도 영상을 얻을 수 있다. 가속 전압/랜딩 전압.
TTLS에 장착된 에너지 필터의 필터링 전압을 통해 상부 감지기에서 감지되는 XNUMX차 전자의 양을 제어할 수 있습니다. 따라서 높은 각도의 후방 산란 전자에 의해서만 생성된 시편의 상면 이미지는 상부 전자 검출기(UED)로 낮은 가속 전압에서 관찰할 수 있습니다.
UED로 감지되지 않고 필터링 전압에 의해 밀려나는 저에너지 전자도 옵션인 상단 USD(Secondary Electron Detector)로 감지할 수 있습니다. 따라서 JSM-7200F는 XNUMX차 전자 이미지와 후방 산란 전자 이미지를 동시에 감지할 수 있습니다.
하이브리드 대물렌즈(자기렌즈와 정전렌즈의 결합)
JSM-7200F는 "하이브리드 렌즈"라는 새로운 디자인의 대물 렌즈를 채택했습니다.
하이브리드 렌즈는 수차를 줄이기 위해 자기렌즈와 정전기렌즈를 결합한 형태로 기존 아웃렌즈에 비해 높은 공간해상도를 얻을 수 있다. JSM-7200F는 기존 아웃렌즈의 사용성도 그대로 유지하고 있어 자성 시료를 관찰하고 분석하는데 문제가 없다.
어플리케이션
하이브리드 렌즈와 GB(Gentle Beam 모드)를 사용하여 촬영한 데이터
저수차 하이브리드 렌즈와 ＧB(Gentle Beam 모드)를 통해 매우 낮은 가속 전압에서 절연체를 고해상도로 관찰할 수 있습니다.
× 40,000
× 150,000
착륙 전압: 0.5kV
표본: 메조다공성 실리카(중국 상하이 자오퉁 대학교 Shunai Che 교수 제공)
에너지 필터가 있는 상부 전자 검출기(UED)에서 가져온 데이터
이 이미지는 낮은 가속 전압에서 UED에 의해 촬영됩니다. 이들은 구성 정보가 풍부한 고각 후방 산란 전자 이미지이지만 0.8kV에서 촬영한 이미지는 5kV에서 촬영한 이미지에 비해 훨씬 미세한 상부 표면 구조를 보여줍니다. XNUMX차 전자를 차단하기 위해서는 상부 전자 검출기(UED)뿐만 아니라 상부 표면의 후방 산란 전자 이미지를 얻기 위한 에너지 필터도 필요하다.
가속전압 : 0.8kV(왼쪽), 5kV(오른쪽)
에너지 필터: -250V
표본: Au 플레이트의 표면
제품 사양
| JSM-7200F | 저진공 모드(LV)가 있는 JSM-7200F * 옵션 | |
| 분해능(1kV) | 1.6 nm의 | |
| 분해능(20kV) | 1.0nm | |
| 해상도(분석) | 3.0 nm의
(15kV, WD:10mm, 프로브 전류:5nA) |
|
| 확대 | x10 ~ x1,000,000 | |
| 가속 전압 | 0.01~30kV | |
| 프로브 전류 | 1pA ~ 300nA | |
| 검출기(표준) | UED, LED | |
| 검출기(옵션) | 미화, RBED | |
| 전자총 | 렌즈 내 쇼트키 전계 방출 전자총 | |
| 조리개 각도 조절 렌즈 | 내장 | |
| 대물 렌즈 | 원추형 렌즈 | |
| 표본 단계 | 완전 eucentric goniometer 단계 | |
| 무대이동 | X: 70mm, Y: 50mm, Z: 2~41mm,
기울기: -5 ~ 70°, 회전: 360° |
|
| 모터 제어 | 5축 모터 제어 | |
| 표본 교환실 | 최대 직경: 100mm
최대 높이 : 40mm (건조 질소로 배출) |
|
| 큰 초점 심도(LDF) | 내장 | |
| LV 모드 | - | 내장 |
| 좌심실 검출기 | - | LV-베드, LV-SED
(선택 사항) |
| 좌심실 해상도 | - | 1.8nm(30kV) |
| LV 모드의 압력 | - | 10Pa ~ 300Pa |
| 오리피스 제어 | - | 작업 GUI에서 |
| 도입된 가스 | 질소 | |
| 대피 시스템(SIP, TMP) | SIP x 2, TMP | |
| 대피 시스템(RP) | RP x 1 | RP x 2 |
주요 옵션
개폐식 후방 산란 전자 검출기(RBED)
상부 XNUMX차 전자 검출기(USD)
저진공 XNUMX차 전자 검출기(LV-SED)
에너지 분산형 X선 분광법(EDS)
전자 후방 산란 회절(EBSD)
파장 분산형 X선 분광법(WDS)
대형 시편 스테이지(SS100S)
시료교환실(Type1)
무대내비게이션(SNS)
챔버 카메라
가동 테이블
스마일뷰
연X선 방출 분광기(SXES)
어플리케이션
애플리케이션 JSM-7200F
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소프트 X선 방출 분광계(SXES)
SXES(Soft X-Ray Emission Spectrometer)는 새로 개발된 회절 격자와 고감도 X-ray CCD 카메라로 구성된 초고해상도 분광기입니다.
EDS와 같은 방식으로 병렬검출이 가능하며 WDS의 에너지 분해능을 능가하는 0.3 eV(Fermi-edge, Al-L 규격)의 초고에너지 분해능 분석이 가능하다.
miXcroscope™ 연결 광학 및 주사 전자 현미경 시스템
이제 광학 현미경과 주사형 전자 현미경 모두에 동일한 시편 홀더를 사용할 수 있습니다. 그 결과 전용 소프트웨어로 스테이지 정보를 관리함으로써 광학현미경으로 관찰한 위치를 기록하고 주사형 전자현미경으로 같은 영역을 더 확대하여 미세한 구조를 더 높은 배율로 관찰할 수 있습니다. 더 높은 해상도. 광학 현미경으로 찾은 관찰 대상은 대상을 다시 찾을 필요 없이 주사형 전자 현미경으로 원활하게 관찰할 수 있습니다. 이제 광학현미경 이미지와 주사형 전자현미경 이미지를 부드럽고 쉽게 비교 검증할 수 있게 되었습니다.
시리얼 블록 페이스 SEM JSM-7200F・7800F / Gatan 3View®2XP
3View®2XP(Gatan Inc.)는 고전류에서 장시간에 걸쳐 미세한 전자 탐침을 생성할 수 있는 Schottky 전계방출형 주사전자현미경에 내장되어 시편의 자동 단면 생성 및 이미지 획득이 가능합니다. 획득한 이미지의 3D 재구성을 통해 미세 구조를 XNUMX차원으로 자세히 분석할 수 있습니다.
