특징
semi-in-lens와 Gentle Beam이 장착된 전계 방출 SEM으로 고해상도를 제공합니다. 물론 요소 분석을 포함하여 다양한 옵션을 설치할 수 있습니다.
다용도 및 고해상도를 위한 설계
JSM-7500F는 semi-in-lens type 대물렌즈를 포함하는 광학 시스템을 갖추고 있어 낮은 가속 전압에서도 전자빔을 시준할 수 있습니다. 진정한 범용 SEM 시스템과 마찬가지로 JSM-7500F는 대형 표본의 고해상도 이미징을 제공할 수 있습니다.
Gentle Beam(GB)은 초저에너지 입사 전자로 상단 표면 이미징을 제공합니다.
새로운 r-필터로 XNUMX차 전자 또는 후방 산란 전자를 선택적으로 감지
새로운 r-필터에는 4가지 모드가 있습니다. 표준 SB(XNUMX차 전자 검출) 모드, 표준 BE 모드(후방 산란 전자 검출), Sb 모드(XNUMX차 전자 우선), Bs 모드(후방 산란 전자 우선). Sb 모드는 원하는 비율의 후방 산란 전자와 함께 XNUMX차 전자를 감지하는 데 사용할 수 있습니다. Bs 모드는 원하는 비율의 XNUMX차 전자와 함께 후방 산란 전자를 감지하는 데 사용할 수 있습니다.
이 기능은 사용자 친화적인 메뉴에서 간단한 원터치 조작이 특징입니다.
제품 사양
| 분해능 | 1.0nm(15kV), 1.4nm(1kV) | ||
|---|---|---|---|
| 확대 | ×25 ~ ×1,000,000 | ||
| 가속 전압 | 0.1kV~30kV | ||
| 프로브 전류 | 1pA ~ 2nA | ||
| 조리개 각도 최적화 렌즈 | 내장 | ||
| 검출기 | 상부 검출기, 하부 검출기 | ||
| 에너지 필터 | 새로운 r-필터 | ||
| 젠틀빔 | 내장 | ||
| 디지털 이미지 | 1,280×960픽셀, 2,560×1,920픽셀, 5,120×3,840픽셀 |
||
| 시료교환실 | 원 액션 표본 교환 메커니즘 내장 | ||
| 표본 단계 | Eucentric, 5축 모터 제어 | ||
| 타입 | IA | II | III |
| XY | 70mm × 50mm | 110mm × 80mm | 140mm × 80mm |
| 기울이다 | －5 ~ +70° | －5 ~ +60° | －5 ~ +60° |
| 회전 | 360 ° | 360 ° | 360 ° |
| WD | 1.5mm에 25mm | 1.5mm에 25mm | 1.5mm에 25mm |
| 피난 시스템 | XNUMX개의 SIP, TMP, RP, 포어 라인 트랩 | ||
| 에코 디자인 | 정상동작시 : 1.2kVA 슬립 모드 시 : 1kVA 대피 시스템 OFF 시 : 0.76kVA |
||
CO2 방사
| CO2/시 | CO2/ 년 | |
|---|---|---|
| 정상 작동 중 | 0.481kg | 4,214kg |
| 취침 모드 중 | 0.411kg | - |
| 피난 시스템 OFF 시 (이온 펌프 ON) |
0.286kg | - |
주요 옵션
개폐식 후방 산란 전자 검출기
인렌즈 후방 산란 전자 검출기
에너지 분산형 X선 분광기(EDS)
전자 후방 산란 회절(EBSD)
전송 전자 검출기
액체 질소 트랩
어플리케이션
애플리케이션 JSM-7500F
갤러리 (Gallery)
