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JSM-7600F 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경

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JSM-7600F 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경

고해상도의 semi-in-lens SEM. High Power Optics 조사 시스템을 채택하여 고해상도, 고속, 고정밀 원소 분석을 제공합니다. Gentle Beam을 통합하면 수백 eV의 매우 낮은 에너지에서 표본의 상단 표면 이미징이 가능합니다.

특징

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Semi-in-lens는 고해상도 관찰 및 분석을 제공합니다.

낮은 가속 전압에서도 전자빔을 시준할 수 있는 semi-in-lens 방식의 대물렌즈와 XNUMX% 이상의 안정적인 전류를 제공하는 in-lens Schottky 전자원의 조합으로 고해상도 관찰 및 고해상도 공간해상도 분석이 가능합니다. 긴 수명.

Gentle Beam(GB)은 초저에너지 입사 전자로 상단 표면 이미징을 제공합니다.

일반 모드보다 해상도가 좋은 Gentle Beam(GB 모드)을 사용할 수 있습니다. GB 모드에서는 전자빔이 방출되는 동안 시료에 바이어스 전압이 인가되어 수백 eV의 입사 전자만으로 상부 표면 이미징이 가능하여 지금까지 관찰하기 어려웠던 시료의 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. .

High Power Optics는 고속, 고정밀 분석을 제공합니다.

광학계에 High Power Optics를 채용하여 고해상도 이미징은 물론, 원소 분석을 포함한 고속 고정밀 분석을 안정적으로 제공합니다.

적용 사례

응용1 반입체 대물렌즈에 의한 고해상도 관찰

제품 사양

SEI 해상도 1.0nm(15kV), 1.5nm(1kV)
확대 25 ~ 1,000,000
(이미지 크기 120mm 90mm 기준)
가속 전압 0.1kV~30kV
프로브 전류 1pA ~ 200nA
조리개 각도 조절 렌즈 내장
검출기 상부 검출기, 하부 검출기
에너지 필터 새로운 r-필터
젠틀빔 내장
디지털 이미지 1,280 x 960픽셀, 2,560 x 1,920픽셀, 5,120 x 3,840픽셀
표본 에어록 챔버 원 액션 표본 교환 메커니즘 내장
표본 단계 Eucentric, 5축 모터 제어
타입 IA II III
XY 70mm × 50mm 110mm × 80mm 140mm × 80mm
기울이다 -5° ~ ~+70° -5° ~ +70° -5° ~ +70°
회전 360 ° 360 ° 360 °
WD 1.5mm에 25mm 1.5mm에 25mm 1.5mm에 25mm
피난 시스템 XNUMX개의 SIP, TMP, RP
에코 디자인 정상동작시 : 1.2kVA
슬립모드 시 : 1kVA
대피 시스템 OFF 시 : 0.76kVA

CO2 방사

CO2/시 CO2/ 년
정상 작동 중 0.481kg 4,214kg
취침 모드 중 0.411kg -
피난 시스템 OFF 시
(이온 펌프 ON)
0.286kg -

주요 옵션

추출 가능한 후방 산란 전자 검출기(RBEI)*1 저각 BE 검출기(LABE)*2
파장 분산 X선 분광기(WDS)
에너지 분산형 X선 분광기(EDS)
전자 후방 산란 회절(EBSD) 시스템
STEM(Scanning Transmission Electron) 검출기
CLD(음극 발광 검출기)
액체 질소 트랩(LNT)

  • EDS 분석용

  • 고배율 관찰용

어플리케이션

애플리케이션 JSM-7600F

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