고해상도의 semi-in-lens SEM. High Power Optics 조사 시스템을 채택하여 고해상도, 고속, 고정밀 원소 분석을 제공합니다. Gentle Beam을 통합하면 수백 eV의 매우 낮은 에너지에서 표본의 상단 표면 이미징이 가능합니다.
특징
이 페이지에는 다음과 같은 오류가 있습니다. 열 1의 5579행 오류: xmlParseCharRef: 잘못된 xmlChar 값 8 다음은 첫 번째 오류까지의 페이지 렌더링입니다.Semi-in-lens는 고해상도 관찰 및 분석을 제공합니다.
낮은 가속 전압에서도 전자빔을 시준할 수 있는 semi-in-lens 방식의 대물렌즈와 XNUMX% 이상의 안정적인 전류를 제공하는 in-lens Schottky 전자원의 조합으로 고해상도 관찰 및 고해상도 공간해상도 분석이 가능합니다. 긴 수명.
Gentle Beam(GB)은 초저에너지 입사 전자로 상단 표면 이미징을 제공합니다.
일반 모드보다 해상도가 좋은 Gentle Beam(GB 모드)을 사용할 수 있습니다. GB 모드에서는 전자빔이 방출되는 동안 시료에 바이어스 전압이 인가되어 수백 eV의 입사 전자만으로 상부 표면 이미징이 가능하여 지금까지 관찰하기 어려웠던 시료의 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. .
High Power Optics는 고속, 고정밀 분석을 제공합니다.
광학계에 High Power Optics를 채용하여 고해상도 이미징은 물론, 원소 분석을 포함한 고속 고정밀 분석을 안정적으로 제공합니다.
적용 사례
응용1 반입체 대물렌즈에 의한 고해상도 관찰
제품 사양
| SEI 해상도 | 1.0nm(15kV), 1.5nm(1kV) | ||
|---|---|---|---|
| 확대 | 25 ~ 1,000,000 (이미지 크기 120mm 90mm 기준) |
||
| 가속 전압 | 0.1kV~30kV | ||
| 프로브 전류 | 1pA ~ 200nA | ||
| 조리개 각도 조절 렌즈 | 내장 | ||
| 검출기 | 상부 검출기, 하부 검출기 | ||
| 에너지 필터 | 새로운 r-필터 | ||
| 젠틀빔 | 내장 | ||
| 디지털 이미지 | 1,280 x 960픽셀, 2,560 x 1,920픽셀, 5,120 x 3,840픽셀 | ||
| 표본 에어록 챔버 | 원 액션 표본 교환 메커니즘 내장 | ||
| 표본 단계 | Eucentric, 5축 모터 제어 | ||
| 타입 | IA | II | III |
| XY | 70mm × 50mm | 110mm × 80mm | 140mm × 80mm |
| 기울이다 | -5° ~ ～+70° | -5° ~ +70° | -5° ~ +70° |
| 회전 | 360 ° | 360 ° | 360 ° |
| WD | 1.5mm에 25mm | 1.5mm에 25mm | 1.5mm에 25mm |
| 피난 시스템 | XNUMX개의 SIP, TMP, RP | ||
| 에코 디자인 | 정상동작시 : 1.2kVA 슬립모드 시 : 1kVA 대피 시스템 OFF 시 : 0.76kVA |
||
CO2 방사
| CO2/시 | CO2/ 년 | |
|---|---|---|
| 정상 작동 중 | 0.481kg | 4,214kg |
| 취침 모드 중 | 0.411kg | - |
| 피난 시스템 OFF 시 (이온 펌프 ON) |
0.286kg | - |
주요 옵션
추출 가능한 후방 산란 전자 검출기(RBEI)*1 저각 BE 검출기(LABE)*2
파장 분산 X선 분광기(WDS)
에너지 분산형 X선 분광기(EDS)
전자 후방 산란 회절(EBSD) 시스템
STEM(Scanning Transmission Electron) 검출기
CLD(음극 발광 검출기)
액체 질소 트랩(LNT)
EDS 분석용
고배율 관찰용
어플리케이션
애플리케이션 JSM-7600F
갤러리 (Gallery)
