JSM-7610F는 semi-in-lens 대물렌즈가 있는 초고해상도 Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope입니다. 고전력 광학은 높은 처리량과 고성능 분석을 제공할 수 있습니다. 높은 공간 분해능 분석에도 적합합니다. 또한 Gentle Beam 모드는 시료로의 입사 전자 침투를 줄여 수백 개의 랜딩 에너지를 사용하여 최상부 표면을 관찰할 수 있습니다.
특징
세미 인 렌즈 대물렌즈에 의한 고해상도 이미징 및 고성능 분석
JSM-7610F는 두 가지 입증된 기술, 즉 낮은 가속 전압으로 고해상도 이미징을 제공할 수 있는 세미 인 렌즈 대물 렌즈가 있는 전자 컬럼과 안정적인 큰 프로브 전류를 제공할 수 있는 인 렌즈 쇼트키 FEG를 결합하여 초고해상도를 제공합니다. 모든 애플리케이션에 대한 광범위한 프로브 전류(수 pA에서 200nA 이상).
In-lens Schottky FEG는 Schottky FEG와 XNUMX차 condenser lens의 조합으로 에미터에서 효율적으로 전자를 모으도록 설계되었습니다.
Gentle Beam 모드(GB)에 의한 낮은 가속 전압에서 최상부 표면 이미징
Gentle Beam(GB) 모드는 시료에 음의 전압을 인가하고 입사 전자가 시료를 조사하기 직전에 감속하므로 극도로 낮은 가속 전압에서 분해능이 향상됩니다.
따라서 7610F는 세라믹, 반도체 등의 비전도성 시료와 기존 관찰이 어려웠던 수백 eV의 최상단면을 관찰할 수 있다.
High Power Optics에 의한 높은 처리량 및 고성능 분석
High Power Optics는 관찰과 분석 모두를 위한 정밀한 전자 프로브를 생산합니다.
조리개 각도 제어 렌즈는 더 큰 프로브 전류에서도 작은 프로브 직경을 유지합니다.
두 기술을 모두 사용하는 7610F는 EDS, WDS, CL 등의 다양한 분석에 적합합니다.
적용 사례
세미 인 렌즈 대물렌즈에 의한 고해상도 이미징
샘플: Pt 촉매 가속 전압 15kV
샘플: 탄소 나노튜브 가속 전압 30kV
세미 인 렌즈 대물렌즈에 의한 고공간 분해능 분석
LED 단면(100nm 미만 다층의 EDS 분석)
Gentle Beam 모드(GB)에 의한 초저 착륙 에너지에서 최상부 표면 이미징
샘플: 필터 랜딩 에너지 500 eV
샘플: 메조다공성 실리카 착륙 에너지 800 eV
제품 사양
| SEI 해상도 | 1.0nm(15kV) , 1.3nm(1kV) , 분석 중 3.0nm(15kV, 프로브 전류 5nA) | ||
|---|---|---|---|
| 확대 | 25 ~ 1,000,000 | ||
| 가속 전압 | 0.1kV~30kV | ||
| 프로브 전류 | 몇 pA ~ 200nA | ||
| 조리개 각도 조절 렌즈 | 내장 | ||
| 검출기 | 상부 검출기, 하부 검출기 | ||
| 에너지 필터 | 새로운 r-필터 | ||
| 젠틀빔 | 내장 | ||
| 표본 단계 | Eucentric, 5축 모터 제어 | ||
| 타입 | 유형 IA 2 | 유형 II(선택 사항) | 유형 III(선택 사항) |
| XY | 70mm × 50mm | 110mm × 80mm | 140mm × 80mm |
| 기울이다 | -5° ~ +70° | -5° ~ +70° | -5° ~ +70° |
| 회전 | 360 ° 무한 | 360 ° 무한 | 360 ° 무한 |
| WD | 1.0mm에 40mm | 1.0mm에 40mm | 1.0mm에 40mm |
| 피난 시스템 | XNUMX개의 SIP, TMP, RP | ||
주요 옵션
개폐식 후방 산란 전자 검출기(RBEI)
저각 후방 산란 전자 검출기(LABE)
주사 투과 전자 검출기(STEM)
무대내비게이션(SNS)
이온 세정 장치
에너지 분산형 X선 분광계(EDS)
파장 분산형 X선 분광계(WDS)
음극 발광 검출기(CL)
시편 홀더 다양한 시편 홀더 선택 가능
어플리케이션
애플리케이션 JSM-7610F
갤러리 (Gallery)
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JSM-7610F
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