기능
JSM-7700F는 시장에서 유일한 수차(Cs 및 Cc) 보정 SEM입니다. JSM-7700F는 또한 0.6kV에서 5nm의 전례 없는 분해능을 제공하며 나노미터 규모의 장치 개발을 위한 SEM 기술의 유용한 분해능을 극적으로 확장합니다. 반도체 소자의 단면 분석에 중요한 저 kV 작동에 최적화되어 있습니다. SEM 작업자는 JSM-7700F를 사용하여 산화물 및 질화물 증착을 명확하게 이미지화하고 계측을 통해 복잡한 장치 특성을 조사할 수 있습니다. SEM은 JEOL의 특허 받은 "렌즈 내" 후방 산란 전자 검출기 기술과 나노미터 수준에서 정확하고 안정적인 스테이지 이동을 위한 피에조 제어, 다중 샘플, 고니오미터 스테이지를 특징으로 합니다."
