JSM-7900F는 JEOL의 새로운 플래그십 FE-SEM으로 초고해상도 이미징, 향상된 안정성 및 다목적 환경의 모든 수준의 작업자를 위한 탁월한 사용 편의성을 결합합니다.
특징
네오 엔진(뉴 일렉트론 광학 엔진)
렌즈 제어 시스템과 자동 기술을 통합하는 새로 개발된 기능인 "Neo Engine"(New Electron Optical Engine)이 표준 기능입니다. 전자 광학 조건이 변경되더라도 빔 정렬에는 무시할 수 있는 변화가 있으므로 모든 가속 전압 및 프로브 전류에서 빠르고 쉽게 이미지를 획득할 수 있습니다.
이 시스템은 고급 JEOL의 전자 광학 기술의 최고의 예입니다.
①자동화 기능 개선
시편: CP, Acc. Vol.: 5kV, 검출기: RBED, 배율: ×100,000
자동 기능은 몇 초 안에 자동 초점 조정을 제공합니다.
②배율 정확도 향상
시편: 계측용 시편(MRS5), Acc. 전압: 10kV, 배율: ×50,000
배율 정확도가 크게 향상되어 고정밀 크기 측정이 가능합니다.
③에너지 필터 모드의 사용성 개선
견본: 이름 카드, Acc. Vol.: 15kV, 검출기, UED, 배율: ×3,500
에너지 필터 범위가 변경되더라도 시야와 초점의 변화는 거의 없습니다.
GBSH-S (GENTLEBEAM™ 초고해상도 스테이지 바이어스 모드)
GBSH는 모든 가속 전압에서 공간 분해능을 향상시키는 방법입니다.
새로 개발된 GBSH-S는 샘플 스테이지에 대한 최대 5kV 바이어스 전압을 사용할 수 있습니다.
GENTLEBEAM™은 시료에 편향된 전압을 이용하여 조사된 전자빔과 가속된 전자신호를 감속시키는 기능입니다.
새로운 후방 산란 전자 검출기
새로 개발된 초고감도 후방 산란 전자 검출기는 선명한 콘트라스트 이미지를 제공합니다. 감지기 감도가 크게 향상되었으며 낮은 가속 전압에서 높은 구성 콘트라스트 이미지를 관찰할 수 있습니다.
샘플: Cu 단면, 입사 전자: 3kV, 배율: ×10,000, WD: 4.5 mm
새로운 플랫폼
새로운 외관 디자인은 컴팩트한 설치 공간을 구현합니다.
이는 기기 설치에 추가적인 유연성을 제공합니다.
새로운 샘플 교환 방법
새롭게 설계된 시료 교환 시스템(로드락 방식)을 적용하였습니다.
간단한 작동으로 사용 편의성이 향상되고 기기의 처리량과 내구성이 향상됩니다.
높은 처리량과 안정적인 시료 교환 시스템은 초보 사용자와 숙련된 사용자 모두에게 제공됩니다.
스밀레나비
SMILENAVI는 초보 사용자가 기기의 기본 작동을 빠르고 효율적으로 배울 수 있도록 설계된 작동 내비게이션 시스템입니다.
스마일나비에 표시된 버튼을 클릭하면 해당 버튼이 강조되어 다음 동작을 위한 버튼의 위치를 명확하게 보여줍니다.
①강조 표시된 버튼
SMILENAVI의 버튼 위에 마우스 포인터를 올리면 PC-SEM의 해당 버튼에 프레임이 표시됩니다.
SMILENAVI에서 버튼을 클릭하면 PC-SEM에서 해당 버튼을 제외하고 화면이 회색으로 표시됩니다.
②위치 표시
SMILENAVI에서 하드웨어 키의 버튼을 클릭하면 조작 패널의 그림과 하드웨어 키가 표시됩니다.
③Video
작동을 설명하는 비디오가 있습니다.
물려받은 고성능
인렌즈 쇼트키 플러스 전자총
In-Lens Schottky Plus Field Emission Electron Gun은 전자총과 저수차 보정 콘덴서 렌즈의 조합을 개선하여 보다 높은 휘도를 구현합니다.
이를 통해 사용자는 낮은 가속 전압에서도 몇 pA에서 수십 nA까지 프로브 전류를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 사용자에게 고해상도 관찰, 고속 요소 매핑 및 EBSD 분석을 제공합니다.
ACL(개구각 제어 렌즈)
ACL은 대물렌즈 위에 부착되어 모든 프로브 전류 범위에서 자동으로 전자빔 수렴각을 최적화합니다. 따라서 프로브 전류량이 변경되더라도 조사되는 전자빔의 수렴각도가 자동으로 조절되기 때문에 프로브 직경은 항상 최소화된다. 프로브 전류가 광범위하게 변화하더라도 고해상도 이미지와 미세 분석 데이터를 원활하게 수집할 수 있습니다.
슈퍼 하이브리드 렌즈
JEOL에서 개발한 정전/자기장 렌즈 중첩형 대물렌즈인 "슈퍼 하이브리드 렌즈"를 표준으로 하여 자기 및 비전도성 시료를 포함한 모든 유형의 시료에 대해 초고해상도 관찰 및 분석을 제공합니다.
감지기 시스템
최대 4개의 검출기 동시 신호 획득이 가능합니다.
LED(Lower Electron Detector) 및 UED(Upper Electron Detector)가 표준이며, Retractable Backscattered Electron Detector(RBED) 및 Upper Secondary Electron Detector(USD)가 옵션 품목으로 제공됩니다.
높은 공간 분해능 관측
GBSH(GENTLEBEAM™ 초고해상도 모드)는 매우 낮은 가속 전압에서 높은 공간 해상도 이미지를 제공합니다.
GENTLEBEAM™은 시료에 편향된 전압을 이용하여 조사된 전자빔을 감속시키고 방전된 전자신호를 가속시키는 기능입니다.
높은 공간 분해능 관찰
산화물 나노물질
금속 나노입자
저진공 기능
저진공 기능은 비전도성 시료를 전도성 코팅 없이 쉽게 높은 공간 분해능으로 관찰 및 분석할 수 있습니다.
고배율 관찰
유리
EDS 분석
음식
저진공 기능으로 절연 시편의 대전을 쉽게 억제합니다.
