JSM-F100은 높은 평가를 받고 있는 당사의 In-lens Schottky Plus 전계 방출 전자총과 "Neo Engine"(전자 광학 제어 시스템)뿐만 아니라 새로운 GUI "SEM Center"와 혁신적인 "LIVE-AI(Live Image Visual Enhancer – 인공 지능) 필터". 이것은 높은 공간 해상도 이미징과 높은 조작성의 최적 조합을 가능하게 합니다. 또한 JSM-F100에는 JEOL 에너지 분산형 X선 분광계(EDS)가 포함되어 있어 "SEM Center"에 완전히 통합되어 이미지에서 원소 분석 결과까지 원활하게 수집할 수 있습니다. 고성능과 조작성의 진화와 통합을 추구하는 사용자에게 영감을 받은 JSM-F100은 이전 JSM-50 시리즈보다 7000% 이상 높은 탁월한 작업 효율성을 달성하여 높은 처리량 기능을 획기적으로 향상시켰습니다.
특징
EDS 통합을 위한 "SEM Center"의 새로운 기능
새로 개발된 운영 GUI "SEM Center"는 SEM 이미징과 EDS 분석을 완전히 통합합니다. 이 강력한 기능은 FE-SEM으로 얻은 차세대 조작성과 고해상도 이미지를 제공합니다.
새로운 "Zeromag" 기능
광학에서 SEM 이미징으로의 원활한 전환을 위해 통합된 "Zeromag"를 사용하면 대상 표본 영역을 쉽게 찾을 수 있습니다.
새로운 LIVE-AI 필터 *옵션
AI(인공 지능) 기능을 활용하여 LIVE-AI 필터를 통합하여 보다 높은 품질의 라이브 이미지를 제공합니다. 이미지 통합 처리와 달리 이 새로운 필터는 잔상 없이 매끄럽게 움직이는 라이브 이미지를 표시할 수 있습니다. 이 독특한 기능은 관찰 영역을 빠르게 검색하고 초점을 맞추고 낙인을 조정하는 데 매우 효과적입니다.
일반 모드와 LIVE-AI 필터 비교
인렌즈 쇼트키 플러스 전계 방출 전자총(FEG)
전자총과 저수차 집광렌즈의 강화된 집적화로 더 높은 밝기를 제공합니다. 낮은 가속 전압에서 충분한 프로브 전류를 사용할 수 있어 고해상도 이미징에서 고속 원소 매핑에 이르기까지 다양한 기능을 지원합니다.
하이브리드 렌즈(HL)
정전기 및 전자기장 렌즈의 조합인 HL(Hybrid Lens)은 자성 재료에서 절연체에 이르기까지 다양한 시편의 고해상도 이미징 및 분석을 지원합니다.
NeoEngine(신형 전자 광학 엔진)
최첨단 전자광학제어시스템인 네오엔진은 자동기능의 정밀도를 대폭 향상시켰을 뿐만 아니라 조작성을 대폭 향상시켰습니다.
AFS·ACB
자동 초점 조정 전
자동 초점 조정 후
표본: 탄소 위의 Sn 나노 입자
가속 전압: 15 kV, WD: 2 mm, 관찰 모드: BD, 검출기: UED, 배율: x200,000
ACL(조리개 각도 조절 렌즈)
JSM-F100에는 조리개 각도 제어 렌즈(ACL)가 통합되어 있습니다. ACL은 항상 가장 작은 프로브를 유지하기 위해 입사 전자의 확산을 억제합니다. 이것은 프로브 전류의 큰 변화에 대한 조리개 각도의 최적 제어에 의해 달성되며 고해상도 이미징 및 X선 분석을 포함한 부드러운 SEM 작업을 가능하게 합니다. 렌즈 내 쇼트키 전자총과 함께 ACL은 이 다목적 SEM을 지원하는 데 가장 중요합니다.
감지기 시스템
JSM-F100은 100개의 디텍터를 수용할 수 있어 각 디텍터가 고유하게 형성하는 다양한 SEM 이미지를 동시에 관찰할 수 있습니다. 기존의 아웃렌즈 SEM과 마찬가지로 LED(하위 전자 검출기)와 옵션인 RBED(접이식 후방 산란 전자 검출기)를 사용할 수 있습니다. 또한 JSM-FXNUMX은 표준형 UED(상부 전자 검출기)와 옵션 USD(상부 XNUMX차 전자 검출기)의 인렌즈 검출기 XNUMX개를 구성한다. UED는 XNUMX차 전자와 높은 각도의 후방 산란 전자를 혼합하는 SEM 이미지를 형성합니다. USD는 SEM 이미지를 형성하기 위해 UED 바로 아래에 있는 에너지 필터에 의해 차단된 저에너지 XNUMX차 전자를 감지합니다.
■UED: 고각 후방 산란 전자
(구성 및 결정 정보)
■RBED: 후방 산란 전자
(구성, 결정 및 지형 정보)
■USD: XNUMX차 전자
(표면 형태 정보)
■SED: XNUMX차 및 후방 산란 전자
(지형 정보)
스마일뷰™ 랩
스밀레나비 *옵션
SMILENAVI는 기초 SEM 작업을 원활하게 할 수 있도록 초보자를 위해 설계된 보조 도구입니다. 작업자가 SMILENAVI 흐름도에 표시된 대로 적절한 버튼을 클릭하면 SEM GUI가 작업자 안내를 위해 클릭 작업에 연결됩니다. GUI는 작동 단계와 버튼 위치를 표시하므로 작업자는 SMILENAVI를 사용하지 않고도 SEM을 작동할 수 있습니다.
(링크)
보도 자료
새로운 쇼트키 전계 방출 주사형 전자현미경 JSM-F100 출시 ― 고해상도와 조작성을 결합한 FE-SEM의 한 차원 높은 분석 지능 ―
제품 사양
특징
| 분해능(1kV) | 1.3 nm의 |
|---|---|
| 분해능(20kV) | 0.9 nm의 |
| 확대 | 사진 배율 : X 10 ~ X 1,000,000 (128 mm X 96 mm)
표시 배율: X 27 ~ X 2,740,000(1,280 X 960픽셀) |
| 가속 전압 | 0.01~30kV |
| 프로브 전류 | 몇 pA ~ 300nA(30kV)
몇 pA ~ 100nA(5kV) |
| 표준 검출기 | 상부 전자 검출기(UED)
XNUMX차 전자 검출기(SED) |
| 전자총 | 렌즈 내 Schottky Plus 전계 방출 전자총 |
| 조리개 제어 렌즈(ACL) | 내장 |
| 대물 렌즈 | 하이브리드 렌즈(HL) |
| 표본 단계 | 완전한 eucentric goniometer 단계 |
| 표본 이동 | X: 70mm, Y: 50mm, Z: 2~41mm
기울기: -5 ~ 70°, 회전: 360° |
| 모터 제어 | 5축 모터 제어 |
| 시편 크기(Draw out) | 최대 직경: 170mm
최대 높이: 45mm(WD 5mm) |
| 큰 초점 심도(LDF) | 내장 |
| EDS 기능 | 스펙트럼 분석, 정성 및 정량 분석,
선분석(가로선,특정방향선), 원소 매핑, 프로브 추적 등 |
DrySDTM 검출기 60mm 세부 정보2 133 eV 이하 B에서 U
| 데이터 관리 기능 | 스마일뷰™ 랩 |
|---|---|
| 보고서 생성 기능 | 스마일뷰™ 랩 |
주요 옵션
저진공 기능
개폐식 후방 산란 전자 검출기(RBED)
상부 XNUMX차 전자 검출기(USD)
저진공 XNUMX차 전자 검출기(LVSED)
주사 투과 전자 검출기(STEM)
전자 후방 산란 회절 시스템(EBSD)
파장 분산 X선 분광기(WDS)
소프트 X선 방출 분광계(SXES)
음극 발광 검출기(CL)
표본 교환실
무대내비게이션(SNS)
챔버 카메라
가동 테이블
조작 패널
트랙볼
스밀레나비
라이브 AI 필터
스마일뷰™ 지도
