JSM-F100 스페셜 | 제품

FEATURE

특징1 FE-SEM으로 얻은 고해상도 이미지.

인렌즈 쇼트키 플러스 전계 방출 전자총(FEG)

In-lens Schottky Plus FEG는 전자총과 저수차 집광렌즈의 일체화로 향상된 밝기를 구현하였습니다. 이 FEG를 사용하면 생성된 전자를 효율적으로 집중시킬 수 있어 낮은 가속 전압에서도 수 pA에서 수십 nA 수준의 프로브 전류를 가능하게 합니다. 고해상도 관찰이 쉽습니다. 빠른 원소 매핑에서 EBSD, SXES 분석으로의 작업을 위해 대물렌즈 조리개를 전환할 필요가 없습니다.

하이브리드 렌즈(HL)

JSM-F100은 JEOL의 정전기/전자기장 중첩 대물 렌즈인 하이브리드 렌즈(HL)와 함께 제공됩니다. 이 강력한 렌즈는 자기 및 절연 재료를 포함한 모든 표본을 높은 공간 분해능으로 관찰하고 분석할 수 있습니다.

통모드 HL모드 BD모드

※BD(빔 감속):: 시편 스테이지에 최대 -2kV의 바이어스 전압을 적용하면 시편 직전에 입사하는 전자빔을 감속할 수 있습니다. 이 기능은 낮은 가속 전압에서 공간 분해능과 신호 대 잡음비(S/N)를 향상시킵니다.

JSM-F100 FE-SEM으로 나노 구조를 관찰할 수 있습니다. 애플리케이션에 적합한 관찰 조건과 검출기를 선택하면 다양한 표본에서 특징적인 SEM 이미지를 얻을 수 있습니다.

표본: 탄소 상의 Pt 나노입자,
가속 전압: 20kV, WD: 2mm,
관측 모드: BD, 탐지기: UED
표본: 전기 램프 리드,
가속 전압: 10kV, WD: 6mm,
관찰 모드: LV, 검출기: LVBED
견본: 밀봉 테이프,
가속 전압: 0.5kV, WD: 2mm,
관측 모드: BD, 탐지기: UED
표본: 생쥐 사구체의 초박절편,
가속 전압: 5kV, WD: 4mm,
관찰 모드: BD, 검출기: RBED(대조 반전)

※ LV(저진공 기능) ＊옵션：: 저진공 기능으로 절연 재료의 전도성 코팅 없이 간단한 관찰 및 분석이 가능합니다.

특징2 매우 혁신적인 조작성

광학 이미징, SEM 이미징 및 EDS 분석이 통합되어
측정 처리량이 획기적으로 향상됩니다.

Zeromag 光学像からSEM像へsimresに移行 Live Analysis 視野探し中でも常にスペクトルをmonitaー可能

특징3 스마일뷰™ 랩
광학 및 SEM 이미지와 EDS 결과의 자동 연결

JSM-F100은 JEOL의 분석 기기에 사용되는 새로운 데이터 관리 시스템인 SMILE VIEW™ Lab과의 연결성을 제공합니다. 데이터 관리, 분석 및 보고서 생성에 유용합니다.

※ 개구각 제어 렌즈(ACL):: 대물렌즈 위에 위치한 조리개 각도 제어 렌즈(ACL)는 전체 전류 범위(1pA ~ 300nA)에서 대물 렌즈의 조리개 각도를 자동으로 최적화합니다. 프로브 전류가 증가하더라도 ACL은 입사 전자의 확산을 억제하여 가능한 최소 프로브 크기를 지속적으로 유지합니다. ACL은 고해상도 관찰에서 높은 프로브 전류가 필요한 분석까지 모든 수준의 프로브 전류에서 원활한 작동을 가능하게 합니다.

새로운 기능

새로운 기능 1 SEM용 내장 AI
LIVE-AI 필터 (Live Image Visual Enhancer – AI: LIVE-AI)※ 옵션

JEOL은 라이브 이미지의 고품질을 위해 LIVE-AI(인공 지능) 필터를 통합했습니다. 이미지 통합 처리와 달리 LIVE-AI 필터는 잔상 없이 매끄럽게 움직이는 라이브 이미지를 표시할 수 있습니다. 이 고유한 기능은 관찰 영역 검색과 초점 및 난시 교정에 매우 효과적입니다.

일반 모드와 LIVE-AI 필터 비교

일반 모드
LIVE-AI 필터 사용

표본: 개미 외골격. 가속전압:0.5kV, 검출기:SED

표본: 철 녹. 가속전압:1kV, 검출기:SED

새로운 기능 2 자동 대면적 획득
몽타주

각 영역의 자동 획득과 위치 영역 이동 보정으로 넓은 영역을 커버하는 몽타주 이미지는 영역과 획득 조건을 지정하기만 하면 획득할 수 있습니다. 획득한 몽타주 이미지에 디지털 줌을 적용하면 표본에 대한 자세한 정보가 표시됩니다. 또한 EDS를 이용한 몽타주 원소 지도를 동시에 얻을 수 있어 운영자의 도움 없이도 많은 양의 정보를 자동으로 획득할 수 있다.