JSM-IT300은 조명 시스템, 진공 시스템 및 신호 처리 시스템의 개선으로 고화질 관찰이 가능할 뿐만 아니라 터치 패널 조작과 고속 스테이지.
특징
고급 기능
이미지 품질
더 높은 이미지 품질, 더 빠른 이미징 및 분석을 위한 개선된 전자 광학.
덜 충전
새로운 스캔 모드는 비전도성 샘플의 충전 아티팩트를 억제합니다.
저진공 모드(LV)
10 ~ 650Pa의 낮은 진공 압력 범위는 쉽게 관찰할 수 있는 재료의 범위를 확장합니다.
표본 탐색
완전 자동화된 5축 모터 스테이지는 관심 영역(ROI) 검색 속도를 높입니다.
Stage Navigation System(옵션)을 사용하여 컬러 이미지에서 ROI에 빠르게 도달합니다.
분석
고전류 모드, 프로브 전류 최대 1μA(≥20kV).
Advanced Zoom Condenser Lens는 프로브 전류의 변화로 인한 이미지 및 초점 이동을 최소화합니다.
컴퓨터 eucentric 스테이지 회전을 통해 표본 또는 ROI를 쉽게 배치할 수 있습니다.
다목적
대형 챔버 및 스테이지
직경 200mm × 높이 80mm, 최대 2kg의 크고 무거운 표본을 수용할 수 있습니다.
분석 포트 기하학
EDS, EBSD 및 WDS와 같은 다양한 액세서리를 위한 다중 포트. 동일 평면 EDS 및 EBSD 기하학. 듀얼
EDS 검출기는 높은 처리량 미세 분석을 위해 180°로 장착할 수 있습니다.
더 빨라진 스테이지 이동
새로 개발된 전동 스테이지로 더 빠른 포지셔닝이 가능합니다(타 JEOL 제품에 비해 1.5배 더 빠름).
완전 자동화된 5축 모터 스테이지
기계적으로 eucentric, 비동기식, 5축(X, Y, Z, T, R) 모터 제어 단계.
키가 큰 시편 또는 ROI가 회전 축의 중심에 있지 않을 때 내장된 컴퓨터 eucentric 기울기 및 회전 보정.
새로운 진공 시스템
시료 교환 후 빠른 펌프 다운을 위한 새로운 진공 시스템. 저진공 모드에서 더 나은 신호.
직관적인 작동
터치 인터페이스
새롭게 설계 및 개발된 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)는 터치 스크린을 통해 작동되므로 편안한 조작이 가능합니다. GUI 크기 조정이 가능하여 분석 또는 데이터 처리 중에 작업 영역을 최적화할 수 있습니다.
다중 사용자/다중 작업
맞춤형 작업 공간 및 시편 조건 설정을 위한 다중 사용자 로그인 기능.
다국어
영어를 일본어 GUI로 교환 가능(아이콘을 통해 선택).
제품 사양
| 해상도 HV 모드 | 3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV) |
|---|---|
| 해상도 LV 모드 | 4.0nm(30kV 베드) |
| 확대 | ×5 ~ ×300,000 |
| 사전 설정 배율 | 6단계(사용자가 설정 가능) |
| 전자총 | 완전 자동/수동 조정 가능 |
| 필라멘트 | 공장 사전 중심 텅스텐 머리핀 필라멘트 |
| 가속 전압 | 0.3 kV의에 30 kV의 |
| 프로브 전류 | 1pA ~ 1μA |
| 저진공 압력 설정 범위*1 | 10~650Pa |
| 콘덴서 렌즈 | 고정밀 줌 콘덴서 렌즈 |
| 대물 렌즈 | 원추형 렌즈 |
| 대물 렌즈 조리개 | 클릭 스톱으로 3단계 선택 가능
X 및 Y에서 미세 위치 조정이 가능합니다. |
| 난시 기억 | 유효한 |
| 이미지 이동 | ±50μm(WD 10mm) |
| 자동 기능 | 초점
밝기/대비, 난시 보정 |
| 표본 교환 | 표본실 문을 열어서 변경 |
| 최대 표본 | 직경: 200mm 높이: 80mm(WD10mm) |
| 표본 단계 | Eucentric 고니오미터 스테이지
(5축 모터 구동 스테이지) X:125mm Y:100mm Z:80mm 기울기: -10 ~ 90° 회전: 360° |
| 조리법 | 유효한 |
| 이미지 모드 | XNUMX차 전자 이미지, REF 이미지,
컴포지션 이미지, 지형 이미지, 그림자 이미지 |
| 비교창(스냅샷) | 6샷(세이브, 로드, 촬영 조건 재현 가능) |
| OS | 윈도우®7 |
| 모니터 | 23 인치 터치 패널
(디스플레이 해상도 1,920 × 1,080) |
| 픽셀 수 | 640×480 1,280×960
2,560×1,920 5,120×3,840 |
| 이미지 디스플레이 모드 | 다중 보기, 전체 화면 보기, 유연한 보기,
신호 추가 |
| 조회 테이블 | 사용 가능(감마 보정, 유사 색상) |
| 히스토그램 표시 | 유효한 |
| 측정 기능 | 있음(2점간 거리,
평행선 사이의 거리, 지름 등) |
| 3D 측정 | 유효한*2 |
| 애너글리프 이미지 | 유효한 |
| 보고서 작성 소프트웨어 | 내장 |
| 언어 구성 | UI에서 사용 가능(일본어/영어) |
| 이미지 형식 | BMP, TIFF, JPEG |
| 이미지 자동 저장 | 유효한 |
| 피난 시스템 | 전자동 시스템
TMP: 1 RP: 1 또는 2 *1 |
| 진공 모드 전환 | UI에서 사용 가능(HV/LV) |
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주요 옵션
후방 산란 전자 검출기*1
저진공 XNUMX차 전자 검출기
에너지 분산형 X선 분석기(EDS)
파장 분산형 X선 분석기(WDS)
결정 방향 분석기
로드록 챔버(예비 교환 챔버)
무대 내비게이션 시스템
챔버 범위
조작 패널
LaB6 전자총
3D 측정 소프트웨어*2
가동 테이블
LV/LA만의 표준 기능
측정에는 전용 소프트웨어가 필요합니다.
사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.
어플리케이션
애플리케이션 JSM-IT300
갤러리 (Gallery)
