JSM-IT500은 JEOL InTouchScope™ 시리즈의 새로운 모델입니다.
정교한 Analytical 시리즈가 장착된 JSM-IT500은 표본 로딩에서 보고서 생성에 이르는 모든 분석을 용이하게 합니다.
특징
JSM-IT500 소개 영상
◆재생 버튼을 클릭하면 동영상이 시작됩니다(약 2분).
◆ JSM-IT500 InTouchScope™의 특징과 기능을 소개합니다.
빠르고 쉬운 분석 3가지!
①
Key point 1 : 제로마그
표시된 홀더 그래픽 또는 CCD 이미지를 사용하여 표본 영역을 찾거나 분석 위치를 지정할 수 있습니다. 다중 필드 연속 분석을 위해 시료 영역을 빠르게 검색하고 위치를 지정할 수 있습니다.
②
Key point 2 : Live Analysis (A/LA만 해당)
"라이브 분석"을 통해 임베디드 EDS 시스템은 이미지 관찰 중에 실시간 EDS 스펙트럼을 보여줍니다. 관심 요소에 대한 요소 구성 또는 "경고"가 라이브 이미지에 표시됩니다.
③
Key point 3 : 통합 데이터 관리 소프트웨어
이 사용자 친화적인 소프트웨어를 사용하면 데이터 관리 영역을 통해 SEM 이미지 및 분석 결과를 선택하고 검토할 수 있습니다. 한 번의 클릭으로 보고서를 생성할 수도 있습니다.
Key point 1 : 광학 및 SEM 이미징의 진정한 통합을 위한 Zeromag
고배율 관찰까지 부드러운 조작!
"Zeromag"는 광학 CCD 이미지에서 SEM 이미지로 원활하게 전환하여 탐색을 용이하게 합니다.
Zeromag를 사용하면 자동화된 간단한 대면적 관찰 및 EDS 분석을 수행할 수 있습니다.
Zeromag로 몽타주 설정.
몽타주 결과: 4 x 4
(왼쪽: 후방 산란 전자 조성 이미지, 오른쪽: Ca 맵)
표본: 콘크리트. 가속 전압: 15kV
고진공 모드. 면적: 약. 4mm x 3mm
Zeromag를 사용하면 이미징 및 분석을 위해 하나 이상의 몽타주 영역을 쉽게 설정할 수 있습니다. "몽타주" 기능은 넓은 지역에 걸쳐 이물질을 식별하기 위한 자세한 정보를 얻는 데 효과적입니다.
요점 2 : 라이브 분석 － 원활한 SEM 및 EDS －
당사의 분석 시리즈(Live Analysis)를 통해 EDS 시스템은 이미지 관찰 중에 실시간 EDS 스펙트럼을 보여줍니다. 관심 있는 요소와 예상치 못한 요소를 쉽게 찾을 수 있습니다.
①
요소
측정 영역에 존재하는 주요 요소가 표시됩니다. 요소를 지정하여 "Alert"를 표시할 수 있습니다.
②
스펙트럼
분석영역의 특성 X선 스펙트럼과 자동 정성 분석 결과가 항상 표시됩니다.
③
한 번 클릭 전자 현미경 조작 화면과 분석 상세 표시 화면을 전환할 수 있습니다.
Key point 3 : 원활한 보고서 생성을 위한 통합 데이터 관리 소프트웨어 SMILE VIEW™ Lab
SMILE VIEW™ Lab은 CCD 이미지, SEM 이미지, EDS 분석 결과 및 해당 단계 좌표를 연결하여 빠른 보고서 생성 또는 추가 연구를 위한 표본 위치 호출을 위한 완전히 통합된 데이터 관리 소프트웨어입니다.
①
각 필드의 이름이 표시됩니다.
②
검체명, 생성시간, 데이터 종류 등으로 데이터 검색이 가능합니다.
③
각 필드의 위치는 Holder Graphics 또는 CCD 이미지에 표시됩니다.
④
데이터는 선택한 필드의 분석 데이터, 원소 맵의 정량 분석 결과, 스펙트럼 등이 포함된 목록 형식으로 표시됩니다.
제품 사양
| 분해능 | 고진공 모드: 3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV) |
|---|---|
| 저진공 모드※ 1: 4.0nm(30kV 베드) | |
| 직접 확대 | x 5 ~ x 300,000
(디스플레이 크기 128mm x 96mm로 정의됨) |
| 표시된 배율 | × 14 ~ × 839,724(모니터에서)
(디스플레이 크기 358mm x 269mm로 거부됨) |
| 전자총 | W 필라멘트, 전자동 건 정렬 |
| 가속 전압 | 0.3kV ~ 30kV |
| 프로브 전류 | 1pA ~ 1μA |
| 저진공 압력 조정※ 1 | 10~650Pa |
| 대물 렌즈 조리개 | 3단계, XY 미세 조정 기능 포함 |
| 자동 기능 | 필라멘트 조정, 건 정렬,
초점 / 스티그메이터 / 밝기 / 대비 |
| 최대 표본 크기 | 직경 200mm x 75mm 높이
직경 200mm x 높이 80mm ※옵션 직경 32mm x 높이 90mm ※옵션 |
| 표본 단계 | 대형 편심형
X: 125mm, Y: 100mm, Z: 80mm 기울기: -10° ~ 90° 회전: 360° |
| 몽타주 기능 | 내장 |
| 측정 위치 좌표 표시 | 203mm 직경 |
| 표준 레시피 | 내장(EDS 기능 포함) ※ 2) |
| 이미지 모드 | XNUMX차 전자 이미지, REF 이미지,
구성 이미지, ※ 1 지형 이미지,※ 1 입체 현미경 이미지, ※ 1 등 |
| 이미지 획득을 위한 픽셀 | 640 x 480 1,280 x 960
2,560 x 1920 5,120 x 3,840 |
| OS | Microsoft® Windows®10 64비트 |
| 관찰 모니터 | 23 인치 터치 패널 |
| EDS 기능 ※ 2 | 스펙트럼 분석, 정성 및 정량 분석,
선분석(가로선,특정방향선), 원소 매핑, 프로브 추적 등 |
| 측정 기능 | 내장 (두 점 사이의 거리, 평행선 사이의 거리, 각도, 지름 등) |
| 데이터 관리 기능 | 스마일뷰™ 랩 |
| 보고서 생성 기능 | 스마일뷰™ 랩 |
| 언어 전환 | UI에서 조작 가능(영어/일본어) |
| 진공 시스템 | 전자동, TMP: 1
RP: 1 또는 2 ※ 1 |
Windows는 미국 및 기타 국가에서 Microsoft Corporation의 등록 상표입니다.
주요 옵션
- 후방 산란 전자 검출기(BED) ※1
- 저진공 XNUMX차 전자 검출기(LSED)
- 에너지 분산형 X선 분광계(EDS) ※2
- 파장 분산 X선 분광기(WDS)
- 전자 후방 산란 회절 검출기(EBSD)
- 로드록 챔버(예비 교환 챔버)
- 무대 내비게이션 시스템(SNS)
- 챔버 스코프(CS)
- 조작반
- 3D 측정 소프트웨어
- 작업대
JSM-IT500LV/LA의 표준.
JSM-IT500A/LA의 표준.
카탈로그 다운로드
JSM-IT500 InTouchScope™ 주사 전자 현미경
