모든 시편 유형에 대한 데이터 획득 용이
주사전자현미경(SEM)은 연구뿐만 아니라 품질 보증 및 제조 현장에서도 없어서는 안될 도구입니다.
이러한 장면에서는 동일한 관찰 프로세스를 반복적으로 수행해야 하며 프로세스의 효율성을 향상시킬 필요가 있습니다.
JSM-IT510에는 새롭게 추가된 Simple SEM 기능을 통해 사용자가 SEM 관찰에 필요한 "수동 반복 조작을 그대로" 할 수 있어 보다 효율적이고 쉽게 SEM 관찰이 가능하다.
특징
단순 SEM
대상 필드를 선택하기만 하면 됩니다.
Simple SEM은 일상 업무를 지원합니다.
표본: 전자 기기
가속 전압: 15kV, (상단) 배율: ×50(하단) ×1,000, 신호: BE
JSM-IT510 소개 영상
Simple SEM의 기능을 소개합니다.
◆재생 버튼을 클릭하면 동영상이 시작됩니다(약 2분).
표본교환내비
검체 교환부터 자동관찰까지 안내
안전하고 간단합니다! 표본교환내비
1. Navi 가이드에 따라 표본을 설정합니다.
2. 대피 시 관찰을 위한 준비
Stage Navigation System(SNS)은 옵션입니다.
SNS 대용량 샘플(SNSLS)은 옵션입니다. SNS와 호환됩니다.
챔버 스코프(CS)는 옵션입니다.
3. 자동으로 관찰 시작
대피 후 자동 이미지 형성.
제로맥
광학 이미지 확대 *1, SEM 이미지로 전환
Zeromag 기능은 광학 이미지에서 SEM 이미지로의 원활한 전환을 제공하여 탐색을 단순화합니다.
SEM, 광학 이미지 및 홀더 그래픽이 모두 연결되어 분석 위치를 전체적으로 볼 수 있습니다.
광학 이미지를 표시하려면 무대 내비게이션 시스템(SNS)이 필요합니다.
표본: 암모나이트 화석
가속 전압: 7kV, 신호: BE
라이브 분석 / 라이브 맵*2
관찰 중 실시간 원소 조성을 위한 임베디드 EDS
라이브 분석은 영상 관찰 중 EDS 스펙트럼이나 원소 맵을 실시간으로 보여주는 기능입니다. 이 기능은 검색을 지원하고 대상 요소에 대한 경고를 제공할 수 있습니다.
라이브 분석은 A(분석) / LA(저진공 및 분석)의 표준입니다.
표본: 암모나이트 화석
가속 전압: 15kV, 배율: ×1,000
간단한 분석
EDS 분석은 3번의 클릭으로 시작할 수 있습니다.
JSM-IT510 소개 영상
라이브맵의 기능을 소개합니다.
◆재생 버튼을 클릭하면 동영상이 시작됩니다(약 2분).
다양한 고급 옵션
저진공 하이브리드 XNUMX차 전자 검출기(LHSED)*
이 새로운 검출기는 전자와 광자 신호를 모두 수집하여 높은 S/N과 향상된 지형 정보를 제공하는 이미지를 제공합니다.
LHSED는 옵션입니다. 그리고 LV(저진공) 또는 LA(저진공 및 분석)도 필요합니다.
LHSED의 메커니즘
표본: 석고
가속 전압: 7 kV, 배율: x10,000, 신호: LV SE
라이브 3D *
새로운 사분면 BE 검출기*로 얻은 이미지를 라이브 3D 이미지로 표시할 수 있습니다.
3D 이미지는 미묘한 지형 정보가 있는 경우에도 표본의 모양을 명확하게 나타낼 수 있습니다.
Live 3D는 LV(저진공), LA(저진공 및 분석)의 표준입니다. BE 검출기(옵션)는 BU(Base Unit), A(Analysis)에 장착할 수 있습니다.
표본: 나사
가속 전압: 15kV 배율: x100 신호: BE
몽타주
몽타주 기능은 넓은 영역의 이미지 수집 및 이러한 이미지를 합성 이미지로 연결하는 작업을 자동화합니다.
표본: 암모나이트 화석
가속 전압: 15kV, 배율: x150, 신호: BE, 필드 수: 13 x 13
광학 이미지를 표시하려면 무대 내비게이션 시스템(SNS)이 필요합니다.
신호의 깊이 표시
이 기능은 시편의 분석 깊이(근사치)를 표시합니다.
요소 분석에 매우 유용합니다.
(링크)
보도 자료
새로운 주사형 전자 현미경 JSM-IT510 시리즈 InTouchScope™ 출시
제품 사양
기술 데이터
JSM-IT510 시리즈는 BU(Base Unit) / A(분석) / LV(저진공) / LA(저진공&분석)의 4가지 구성으로 장착할 수 있습니다.
| BU(기본 단위) | 고진공 관찰용 기본형 |
|---|---|
| A(분석) | 분석형, EDS는 BU에 표준 부착 |
| LV(저진공) | 고진공 및 저진공 작동을 위한 저진공 유형. 침대 포함. |
| LA(저진공 및 분석) | 고진공 및 저진공 작동을 위한 저진공 유형, BED 및 EDS 포함. |
SEM 사양
| 분해능 | 고진공 모드 3.0nm(30kV), 15.0nm(1.0kV) 저진공 모드※ 1 4.0nm(30kV 베드) |
|---|---|
| 사진 확대 | ×5 ~ ×300,000 (사진 크기 128mm × 96mm로 정의) |
| 디스플레이 배율 | ×14 ~ ×839,724 (사진 크기 358mm × 296mm로 정의) |
| 전자총 | W 필라멘트, 완전 자동 건 정렬 |
| 착륙 전압 | 0.3 kV의에 30 kV의 |
| 좌심실 압력 조정※ 1 |
10~650Pa |
| 대물 렌즈 조리개 | XNUMX단계, XY 미세 조정 기능 포함 |
| 자동 기능 | 필라멘트 조정, 건 얼라인먼트 조정 빔 정렬 초점/난시/밝기/대비 보정 |
| 최대 표본 크기 |
직경 200mm × 높이 75mm 직경 200mm × 높이 80mm※ 3 직경 32mm × 높이 90mm※ 3 |
| 표본 단계 | 대형 유심 스테이지 X:125mm Y:100mm Z:80mm 기울기: -10 ~ 90° 회전: 360° |
| 이미지 모드 | XNUMX차 전자 이미지, REF 이미지, 구성 이미지* 1 지형 이미지※ 1, 그림자 이미지※ 1、PD 이미지※ 4 |
| 이미지 크기 | 640 × 480 1,280 × 960 2,560 × 1,920 5,120 × 3,840 |
| 사진 지원 기능 | 몽타주, 단순 SEM, Zeromag, 라이브 3D |
| 운영 지원 기능 |
레시피 (표준 레시피 / 맞춤형 레시피) 측정(2점 사이의 거리, 평행선 사이의 거리, 각도, 지름 등) 표본교환내비 신호 깊이 기능 3D 측정※ 5 |
| OS | Microsoft® Windows®10 64bit |
| 관찰 모니터 | 23.8인치 터치 패널 |
| EDS 기능※ 2 | EDS 사양 참조 |
| 데이터 관리 | 스마일뷰™ 랩 |
| 보고서 생성 원클릭 보고서 |
마이크로소프트에 출력®워드 마이크로소프트에 출력®파워 포인트※ 6 |
| 언어 전환 | 일본어, 영어, 중국어※ 7 (UI에서 작동 가능) |
| 진공 시스템 | 완전 자동, TMP: 1, RP: 1 또는 2※ 1 |
주요 옵션
후방 산란 전자 검출기(BED)*1
저진공 Hybird XNUMX차 전자 검출기(LHSED)
저진공 XNUMX차 전자 검출기(LVSED)
에너지 분산형 X선 분광기(EDS)*2
파장 분산 X선 분광기(WDS)
전자 후방 산란 회절 패턴(EBSD)
로드락 챔버(사전 대피 챔버)
무대 내비게이션 시스템(SNS)
무대 탐색 시스템 대규모 샘플(SNSLS)
챔버 스코프(CS)
조작 패널(OP2)
랩6전자총(LAB6)
3D 분석 소프트웨어(SVM)
테이블(미정)
EDS 사양
A(Analysis) / LA(Low Vacuum & Analysis) 적용
●：표준 ○：옵션
| 스탠다드 | ||
|---|---|---|
| 제어 PC | OS: 마이크로소프트®Windows®10 64bit※ 8 | ● |
| 지원하는 언어 | 일본어 / 영어 / 중국어※ 7 | ● |
| 탐지기 | SDD 유형 | 에서 선택 탐지기 목록 |
| 스펙트럼 분석 |
정성 분석(피크 식별, 자동 정성 분석) 시각적 피크 ID 무표준 정량 분석(ZAF법) 표준 정량 분석(ZAF법)※ 9 PHI-RHO-Z(PRZ) 방법: 정량적 보정 방법 QBase(정성분석 데이터베이스) |
● |
| 라인 분석 | 선 분석(평행 및 임의 방향) | ● |
| 원소 지도 |
요소 맵(여러 색상이 있는 맵, 흑백, 여러 색상 중첩) 최대 픽셀 해상도: 4,096 × 3,072 실시간 팝업 스펙트럼 Deconvolution 맵(net count 맵, quantitative 맵) 실시간 순 카운트 맵 실시간 필터 라인 프로필 표시 프로브 추적 재생 분석(시간 분해 스펙트럼 맵) |
● |
| 직렬 분석 | 스펙트럼 분석, 라인 분석, 원소 맵 이미 분석된 데이터에 대한 종합적인 분석(정성적, 정량적 분석) |
● |
| 몽타주 | 자동 몽타주(SEM 이미지, 원소 맵) 여러 영역에 대한 직렬 요소 매핑 |
● |
| 입자 분석 소프트웨어 |
・입자 분석(자동/수동) & EDS 분석, 입자 분석 데이터의 분류, 통계 처리된 입자 분석 데이터의 그래프 표시, 대면적 연속 입자 분석 ・GSR(Gun Shot Residue) 라이브러리 ・금속 특징 해석 라이브러리 ・자동차 부품 청정도 분석 라이브러리 |
○ ○ ○ ○ |
| 보고서 생성 | 스마일뷰™ 랩 Microsoft로 출력®워드, 마이크로소프트®파워포인트 파일※ 6 |
● |
| SEM 통합 | 관찰 및 분석 데이터 통합 관리 SEM 작업 화면에서 분석 위치 지정(SEM용 UI에서 직접 분석) 분석 위치의 그래픽 표시 |
● |
| 도움말 기능 | 도움말 안내 | ● |
| 이중 감지기 | XNUMX개의 검출기로 분석※ 10 | ○ |
| 오프라인 기능 | 오프라인 데이터 분석을 위한 라이선스 소프트웨어 | ○ |
JSM-IT510LV/LA의 표준입니다.
JSM-IT510A/LA의 표준입니다.
옵션 홀더가 필요합니다.
LHSED(옵션)가 필요합니다.
SVM(옵션)이 필요합니다.
Microsoft® Office가 설치되어 있어야 합니다.
중국어는 선택사항입니다.
JSM-IT510A / LA의 경우 EDS 소프트웨어는 SEM 제어 소프트웨어와 동일한 PC에 설치됩니다.
옵션 프로브 전류 보상 장치(옵션)가 필요합니다. 프로브 전류의 자동 모니터링은 EDS가 현미경 PC에 연결된 경우에만 가능합니다.
동일한 활성 센서 크기를 가진 두 개의 EDS 감지기가 필요합니다. 설치 포트에 따라 스테이지 이동에 제한이 있습니다.
사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.
Microsoft, Windows, PowerPoint 및 Microsoft Office는 미국 및 기타 국가에서 Microsoft Corporation의 등록 상표입니다.
Microsoft Word는 Microsoft Corporation의 제품 이름입니다.
카탈로그 다운로드
JSM-IT510 InTouchScope™ 주사 전자 현미경
어플리케이션
애플리케이션 JSM-IT510
갤러리 (Gallery)
금속
강철의 결정 관찰
금속과 같은 결정질 재료의 경우 결정 방향의 차이로 인해 발생하는 콘트라스트(채널링 콘트라스트)를 이미지화할 수 있습니다.
시편: 고장력강 단면, 가속전압: 5kV,
배율: x500, 신호: BE
CROSS SECTION POLISHER™(CP)는 넓은 Ar 이온 빔을 사용하여 시편을 조사하여 단면 또는 표면 밀링을 생성하도록 설계되었습니다.
기계적 밀링에 비해 CP는 왜곡 없이 미세한 단면을 쉽게 생성할 수 있습니다.
별도로 판매됩니다.
파단면 관찰
SEM에 의한 파단면 관찰은 파손 및 균열 성장의 원인을 연구하는 데 널리 사용됩니다.
피로 골절로 인한 줄무늬
시편: Austenitic stainless steel, 가속전압: 10 kV, 배율: x5,000, 신호: SE
연성 골절에 의해 생성된 딤플
시편: Austenitic stainless steel, 가속전압: 10 kV, 배율: x5,000, 신호: SE
입계파괴에 의해 생성된 락캔디 패턴
시편: Austenitic stainless steel, 가속전압: 10 kV, 배율: x5,000, 신호: SE
반도체
레지스트 패턴 관찰
반도체 제조에서 SEM에 의한 레지스트의 품질 관리는 매우 중요하다.
공정은 레지스트 패턴의 단면을 이미징하여 확인할 수 있습니다. 선폭 측정도 가능합니다.
레지스트 패턴의 단면(35°로 기울임)
가속 전압: 8kV, 배율: x30,000, 신호: SE
Si 웨이퍼에 쓰여진 레지스트 패턴
가속 전압: 10kV, 배율: x3,000, 신호: SE
가속 전압: 10kV, 배율: x20,000, 신호: SE
인쇄회로기판(PCB) 검사
SEM은 PCB의 품질 관리에 효과적인 도구입니다.
저진공 상태로 전처리 없이 PCB를 직접 관찰할 수 있습니다.
PCB의 칩 콘덴서
가속 전압: 15kV, 배율: x45, 신호: 혼합 신호
(LV 후방 산란 전자: LV 3차 전자 = 7:XNUMX)
이미지 분석 소프트웨어*를 사용하면 자동으로 선 너비를 측정할 수 있습니다.
옵션. MultiImageTool(SYSTEM IN FRONTIER INC.에서 생산)
부드러운 소재 / 폴리머
JSM-IT510은 저진공 상태에서 고흡수성 수지, 마스크 등 비전도성 시편을 직접 관찰하는데 적합합니다.
고흡수성 폴리머
가속 전압: 10kV, 배율: x1,000, 신호: LV SE
부직포 마스크
가속 전압: 10kV, 배율: x50, 신호: LV BE
가속 전압: 10kV, 배율: x1,000, 신호: LV BE
우레탄 마스크
가속 전압: 10kV, 배율: x50, 신호: LV BE
SE 이미지와 BE 이미지를 동시에 얻을 수 있습니다.
SE 이미지는 모양 정보를 제공합니다.
BE 이미지는 이 영역의 더 높은 원자 번호 구성을 나타내는 밝은 영역을 보여줍니다.
생물학
세포나 미생물과 같은 생물학적 표본의 정상적인 형태는 형태를 유지하기 위해 화학적 고정 또는 동결건조 방법으로 전처리한 후 확인할 수 있습니다.
적혈구와 백혈구
가속 전압: 3kV, 배율: x7,000, 신호: SE
클로렐라
가속 전압: 3kV, 배율: x15,000, 신호: SE
다프네 꽃가루
가속 전압: 10kV, 배율: x2,000, 신호: SE
