JEOL JSM-IT800 쇼트키 전계방출 주사전자현미경

JEOL EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)를 표준으로 사용하는 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경인 JSM-IT800은 새로운 GUI "SEM 센터"와 완전히 통합되어 관찰에서 원소 분석에 이르기까지 데이터를 논스톱으로 수집할 수 있습니다.
고급 통합 고성능 및 사용 편의성은 작업 효율성을 50% 이상 향상시켜 일일 측정을 높은 처리량으로 만듭니다.

특징1

특징 1
하이브리드 렌즈 버전(HL)/슈퍼 하이브리드 렌즈 버전(SHL)

정전기 및 전자기장 렌즈의 조합을 기반으로 두 가지 유형의 대물 렌즈 버전을 사용할 수 있습니다. 다양한 구성을 통해 JSM-IT800의 동일한 기능을 유지하면서 자성 재료에서 절연체에 이르기까지 광범위한 샘플의 높은 공간 해상도 이미징 및 분석을 달성하여 사용자의 다양한 요구를 충족할 수 있습니다.

특징2

특징 2
JSM-IT800〈SHL〉의 감지 시스템

표본: IC 칩 단면(표면 에칭, 오스뮴 코팅), 가속 전압: 5.0kV(BD 모드 제외), 관찰 모드: SHL, 검출기: UHD, UED(BSE 모드)
SE 이미지는 UHD를 사용하여 얻을 수 있습니다. UED를 사용하여 BSE 이미지를 얻을 수 있습니다.

시편: Cellulose Nanofiber (CNF), 가속 전압: 0.2 kV, 관찰 모드: BD, 검출기: UHD+UED(신호 추가)
표본 제공: 야노 히로유키 교수(일본 교토 대학 지속 가능한 인류권 연구소)
표본이 유기 섬유인 경우에도 유기 섬유의 빔 손상을 제어하여 관찰이 가능합니다.

특징3

특징 3
JSM-IT800을 사용한 EDS 매핑

BED(일반 BSE 검출기) 외에도 SBED(신틸레이터 BSE 검출기) 및 VBED(다용도 BSE 검출기)도 설치할 수 있습니다.  

SBED(신틸레이터 BSE 검출기)

검출기에서 섬광체로 반도체 소자를 대체할 때 검출기의 책임과 감도가 향상됩니다.

  • 표본: 마우스 신장의 초박막 절편(조영 복귀)
    가속 전압: 5.0kV
    스캔 속도: 0.04μsec/픽셀(5120×3840)

    생물학적 초박형 관찰
    고속 스캐닝을 통한 절편

  • 견본: 토너
    가속 전압: 1.5kV

    컴포지션 이미지 얻기
    낮은 가속 전압에서

  • 시편: 철판(전위관찰용)
    가속 전압: 25.0kV

    높은 위치에서 전위 이미지 획득
    가속 전압

VBED(다용도 BSE 검출기)

반도체 감지 요소는 5개 섹션으로 나뉩니다. 관찰 목적에 따라 이 5개 구간의 서로 다른 감지 영역에서 선택적으로 신호를 얻습니다.

각도 선택

  • 시료: 형광체, 가속전압: 3.0kV

BSE의 서로 다른 감지 각도에 따라 성분 정보는 주로 내부 감지를 통해 얻습니다.
VBED의 요소와 지형 정보는 주로 외부 감지 요소를 통해 얻습니다. 또한,
탐지기의 내부 요소를 사용하여 관찰할 때 Al 필름 아래의 형광체는 밝습니다.

3방향에서 얻은 2차원 영상을 이용하여 4차원 영상을 재구성할 수 있다.

높은 공간 해상도 EDS 맵

Ag 나노입자의 크기도 수십 나노미터로 작아도 원소 매핑을 통해 가시화할 수 있습니다.

표본 교환 시스템

대용량 시료 교환에 적합한 인출 시스템

광학 이미지 수집은 두 표본 교환 시스템을 모두 지원합니다.

빠르고 깨끗한 시편 로딩/언로딩이 가능한 시편 교환 챔버