기능
최적의 FE SEM 성능을 위한 Neo Comfort
JEOL의 FE-SEM 음향 인클로저는 이상적이지 않은 실내 환경에서도 이미징 성능을 향상시킵니다.
예시로는 소음, 공기 흐름 변화, 자기적 교란* 및 진동*으로 인한 간섭이 있습니다.
* 옵션
네오 컴포트와 함께
네오 컴포트 없이
모델: JSM-IT810
착륙 전압: 15kV
폭: 4.5mm
신호 : 2차 전자
음향 소음 환경: 90dB
시편: Cu 금속 상호 연결
SEM에 쉽게 접근 가능
Neo Comfort에는 기기 상태를 표시하는 터치스크린 패널과 보기 쉬운 내부 조명이 포함되어 있습니다. 사용자 친화적인 디자인으로 시료 교환 및 유지 관리를 위한 쉬운 접근이 가능합니다.
한 손으로 문 열고 닫기
4인치 SiC 웨이퍼 장착
제품 사양
| 크기 | 1,400mm (W) × 1,730mm (D) × 2,250mm (H) |
|---|---|
| 무게 | 1톤/분2 또는 그 이하 (FE-SEM 포함) |
| 비상 정지 버튼 | 표준 구성에 포함됨 |
| 터치 스크린 | 진공 레벨 등의 기기 상태를 표시합니다. |
| 소음 제거 성능 | 5Hz 이상에서 140dB 이상 감소 |
| 인클로저 내부의 조명 | 표준 구성에 포함됨 |
| 고정 | 앵커볼트를 사용하여 가능 |
| 자기장 캔슬러 | 내장 가능* |
| 플랫형 진동절연 테이블 | 내장 가능* |
| 경고등 | 설치 가능* |
* 옵션
