SXES(Soft X-Ray Emission Spectrometer)는 새로 개발된 회절 격자와 고감도 X-ray CCD 카메라로 구성된 초고해상도 분광기입니다.
EDS와 같은 방식으로 병렬검출이 가능하며 WDS의 에너지 분해능을 능가하는 0.3 eV(Fermi-edge, Al-L 규격)의 초고에너지 분해능 분석이 가능하다.
특징
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시스템 개요
새로 개발된 분광계 광학 시스템 설계를 통해 회절 격자 또는 검출기(CCD)를 이동하지 않고도 다양한 에너지의 스펙트럼을 동시에 측정할 수 있습니다. 높은 에너지 분해능으로 화학 상태 분석 매핑을 수행할 수 있습니다.
SXES, WDS 및 EDS 비교
다양한 분광법을 사용한 질화티타늄 스펙트럼
질화티타늄의 경우, N-Kα 및 Ti-LXNUMX의 피크가 겹칩니다. WDS를 사용하더라도 수학적 방법을 사용한 파형 디콘볼루션이 필요합니다. 아래 그림에서 볼 수 있듯이 SXES에는 높은 에너지 분해능이 있어 TiLXNUMX을 관찰할 수 있습니다.
비교표
| 특색 | 섹스 | EPMA(WDS) | EDS |
|---|---|---|---|
| 분해능 | 0.3eV
(페르미 에지 Al-L) |
8 eV(FWHM@Fe-K) | 120-130eV
(FWHM@Mn-K) |
| 화학 결합 상태 분석 | 가능 | 예(주로 가벼운 요소) | 아니 |
| 병렬 감지 | 가능 | 아니
(그러나 여러 분광계 가능) |
가능 |
| 스펙트럼 요소 및 검출기 | 회절격자＋CCD | 분석 크리스탈 + 비례 카운터 | SDD |
| 검출기 냉각 | 펠티어 냉각 | 필요 없음 | 펠티어 냉각 |
| 감지 한계
(참고값 B) |
20ppm | 100ppm | 5000ppm |
리튬 이온 배터리(LIB) 분석 예
아래 예는 전하 상태가 다른 LIB 샘플의 넓은 영역 맵을 보여줍니다. SXES는 가전자대 상태(왼쪽)와 바닥 상태(중간) 모두에서 Li-K 피크를 매핑할 수 있습니다. 탄소 분포 맵(오른쪽)도 완전히 배출된 LIB의 기능을 볼 수 있습니다.
완전히 충전된 Li-K 시편 스펙트럼
참고: Li-산화물에서는 Li-K 방출을 감지하기 어렵습니다.
광요소 측정 예
SXES를 사용한 탄소 화합물 측정
다이아몬드, 흑연 및 폴리머의 차이를 측정하는 것이 가능합니다. 차이점은 π 및 σ 결합에서 추가 피크로 관찰할 수 있습니다. 매핑이 각 픽셀에서 스펙트럼을 가져오기 때문에 1 eV의 피크 이동 및 숄더 피크에 대해 추가 맵을 생성할 수 있습니다.
다양한 질소 화합물 측정
질소의 경우에도 스펙트럼 피크 모양에서 화학적 결합 상태를 분석할 수 있습니다. 질산염과 질화물의 피크 모양은 완전히 다르며 빔에 매우 민감한 암모늄염의 고유한 피크 모양도 관찰할 수 있습니다.
제품 사양
에너지 분해능 0.3eV(Al-L 스펙트럼 측정 ＠73eV)
획득 에너지 범위: 회절 격자 JS50XL 에너지 영역 50-170eV
획득 에너지 범위: 회절 격자 JS200N 에너지 영역 70-210eV
분광계 챔버 장착 지점:
EPMA WDSport: 2번 포트(앞에서 오른쪽)
FE-SEM WDS 포트(앞에서 왼쪽 뒤)
분광계 치수: W 168mm×D 348mm×H 683mm
인터페이스에서 CCD를 포함한 거리
분광계 질량 25kg
적용 모델
EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 프라임, JSM-7100F
어플리케이션
애플리케이션 SXES
Soft X-ray Emission Spectra Version 7.0 핸드북(2021년 XNUMX월)
SXES 핸드북
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