JEOL은 EDS와 전자현미경을 모두 자체적으로 보유한 유일한 제조업체입니다. JEOL은 각 SEM 모델에 맞춰 JEOL에서 독점적으로 개발한 EDS를 제공합니다.
SEM 작동 화면과 완벽하게 통합되어 SEM 작동 중에도 관찰 화면에서 항상 직접 분석이 가능합니다.
EDS 분석을 위한 에너지 표 다운로드
EDS 분석을 위한 특성 X선 에너지 표 PDF 데이터를 여기에서 다운로드하실 수 있습니다. 여러분의 연구와 업무에 도움이 되기를 바랍니다.
기능
SEM과 통합된 간단한 조작을 위한 조작 아이콘
SEM 관찰 중에도 EDS 스펙트럼(실시간 분석)과 원소 맵(실시간 맵)을 항상 표시할 수 있습니다.
이 사진과 동영상은 JCM-7000 NeoScope™ 탁상형 주사 전자 현미경의 예시입니다.
원소 맵에서 합금 층을 자동으로 생성합니다!
간단하고 유용한 위상 분석.
화합물에만 원소의 분포를 표시합니다!
두 가지 위상 분석(클러스터, VCA)을 통해 시각적 표시가 가능합니다!
상 분석(빨간색 프레임)의 경우, 버튼을 한 번 클릭하면 매핑 데이터에서 상 분리가 수행됩니다.
클러스터 상 분석--- 동일한 화합물이 동일한 색상으로 표시됨
VCA 위상 분석---음영 대비가 있는 화합물(더 많거나 적은 구성 요소가 표시됨)
기본적으로 자동화되어 있습니다. 하지만 단계 수를 수동으로 설정하는 것도 가능합니다.
후방 산란 전자 구성 이미지
클러스터 위상 분석 모드
요소나 표본의 변경을 절대 놓치지 마세요!
재생 분석을 통해 EDS의 시간에 따른 변화를 기록합니다.
사용 예 1
SEM 내에서 가열/냉각하여 형상/원소 분포 변화 관찰(현장 관찰)에 유용합니다!
지우개 표면의 EDS 원소 맵을 획득하고, 재생 분석(140배속)을 통해 영상으로 만들었습니다.
이 영화는 전자빔에 의해 모래 지우개 표면이 어떻게 변형되는지, 그리고 그에 따라 원소 분포가 어떻게 변하는지를 포착했습니다.
사용 예 2
원소 매핑 중에 표본이 변형되면, 이 기능은 변형 전 데이터만 추출하여 제출할 수 있습니다!
사용 예 3
원소 매핑을 위한 적분 횟수 조정/추정에 유용합니다!
입자 수, 크기, 원소 정보 자동 측정을 위한 믿음직한 파트너! 입자 분석
기술 사양
JEOL EDS 공통 사양
검출기 유형: SDD(액체 질소)
검출 가능한 원소: Be ~ U
표준 함수: 정성 분석, 단순화된 정량 분석, 원소 맵, 맵 몽타주
선택 기능: 위상 분석, 재생, 입자 분석 등
| JCM-7000 | JSM-IT210 | JSM-IT510 JSM-IT710HR |
JSM-IT810 | |
|---|---|---|---|---|
| 수광면적(mm2) | 30 | 30, 60 | 30, 60, 100 | 30, 60, 100 |
| 여러 EDS | 자 | 자 | 〇 (최대 3개) | 〇 (최대 3개) |
| Gather-X 검출기 | 자 | 자 | 자 | 〇 (최대 3개) |
* 굵은 글씨로 표시된 숫자는 각 기기의 표준 사양입니다.
SEM과 EDS를 통합하면 여러 개의 EDS를 삽입하여 그림자 없이 고르지 않은 표본을 관찰할 수 있으며, 전자빔에 의해 손상되기 쉬운 표본의 손상을 제거하고 속도를 높일 수 있습니다!
