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"지금"을 관찰하고 "다음"에 행동하라
실시간 관찰의 진화. 탁상형 주사전자현미경(SEM)


JCM-7000Plus 탁상형 주사전자현미경(SEM)은 단순한 관찰을 즉각적인 분석 결과로 전환시켜 줍니다. 고품질 SEM 이미지와 실시간 원소 분석, 자동화된 워크플로우를 결합한 이 탁상형 SEM은 사용자가 시료를 신속하게 이해하고 다음 단계로 자신 있게 나아갈 수 있도록 지원합니다.
자재 선별, 결함 조사 또는 품질 관리 수행 등 어떤 작업을 하든 JCM-7000Plus는 필요한 정보를 필요한 시점에 제공합니다.

기능

제로맥
광학 이미지에서 SEM 이미지까지 원활한 작동

광학 이미지를 확대하면 자동으로 SEM 이미지로 전환됩니다.
・표준 저진공 모드에서는 사전 처리 없이 간편하게 영상을 확인할 수 있습니다. 
• 또한, JCM-7000Plus는 명암, 밝기, 초점 및 비점수차를 자동으로 조정하여 고품질 SEM 이미지를 빠르게 생성합니다.

표본: 소금

표본: 석판과 상어 이빨

고급 4가지 라이브 기능
관찰하는 동안 표본에 대한 즉각적인 이해를 얻으세요

01. 실시간 분석
관찰 중 원소 분석

JEOL은 전자 현미경과 EDS 시스템을 자체 개발하는 몇 안 되는 제조업체 중 하나입니다. 관찰 영역의 X선 스펙트럼과 자동 분석을 통해 확인된 주요 원소들을 관찰 화면에 실시간으로 표시할 수 있습니다. 관찰과 원소 분석을 동일 화면에서 수행할 수 있어 작업 흐름을 방해하지 않고 원활한 분석을 가능하게 합니다. 또한, 전자 현미경과 EDS가 통합 설계되어 있어 자동 측정(NeoAction) 기능을 활용할 수 있습니다.

관찰 이미지와 원소 분석 결과를 같은 화면에서 볼 수 있습니다.
시료: 합금

JEOL SEM용 EDS: 에너지 분산형 X선 분광기

SEM GUI와 완벽하게 통합된 EDS는 SEM 작동 중 관찰 화면에서 시료를 직접 관찰할 수 있도록 해줍니다.

02. 실시간 지도
원소 분포를 시각화합니다
실시간

표본: 금속 파단면

03. 라이브 3D
표면 지형을 즉시 드러냅니다
실시간

표본: 전자 부품 단면도

04. 라이브 파티클
입자 크기 자동 측정

SEM 이미지에서 입자가 자동으로 감지됩니다. 입자 크기 분포, 평균 입자 크기 및 변동률을 모두 실시간으로 얻을 수 있습니다.

시료: 산화규소 입자

저진공 모드
표본을 사전 처리 없이 있는 그대로 관찰하십시오.

전자빔을 비전도성(절연성) 시료에 조사하면 시료 표면에 전자가 축적되어 "대전" 현상이 발생합니다. 이로 인해 이미지가 흐려지거나 왜곡되고 노이즈가 발생할 수 있습니다. 저진공 모드에서는 시료 챔버에 가스나 공기를 주입하여 대전 현상을 줄임으로써 안정적인 관찰이 가능합니다. 유리, 세라믹과 같은 절연성 시료는 물론 식품, 고분자, 생물체와 같이 수분을 함유하거나 쉽게 대전되는 시료도 코팅 없이 관찰 및 분석할 수 있습니다.

시료 전처리 없이 SEM을 이용한 신속한 관찰 및 분석
- 저진공 모드의 예시 -

비전도성 절연 시료를 전처리 없이 주사전자현미경(SEM)으로 관찰할 수 없는 이유는 무엇일까요? 본 논문에서는 고분자 재료, 산업 재료, 광물, 식품, 생물/식물 시료에 대한 JCM-7000의 저진공(LV) 모드에서의 효과적인 적용 사례를 제시합니다.

자동 이미지 조정 x 고진공 모드 x 고해상도
6nm 해상도 달성

JCM-7000Plus는 다음과 같은 특징을 채택합니다. 착륙 전압(가속 전압) 최대 20kV! 향상된 자동 이미지 조정 기능과 이전 모델에서 검증된 고진공 모드가 결합되어 해상도가 더욱 높아졌습니다! 고해상도 관찰과 고정밀 EDS 분석을 통해 더욱 높은 수준의 데이터 품질을 제공합니다. 

시료: 산화아연 입자

시료: 키틴 나노섬유
(간단한 STEM 홀더 사용)
오무라토리요 주식회사에서 제공한 표본입니다.

시료: 석면 함유 건축 자재

고진공 모드
매우 정밀한 관찰 및 분석

고진공 모드에서는 전자 산란이 최소화되고 2차 전자를 효율적으로 검출할 수 있어 고배율에서도 미세 구조를 선명하게 관찰할 수 있습니다. 또한, EDS 분석을 통해 정성적 오차를 줄인 원소 분석이 가능합니다. 탁상형 SEM임에도 불구하고 형태 관찰과 원소 분석 모두에서 높은 정밀도의 데이터를 제공합니다.

향상된 자동화 기능

네오 액션
반복적인 측정을 자동화하세요

네오 액션(옵션)은 SEM 기능으로, 착륙 전압/신호 변경, 자동 이미지 조정, 사전 정의된 워크플로에 따른 위치 변경 등의 조건을 조정하여 마치 작업자가 조작하는 것처럼 시료를 자동으로 관찰/분석합니다.
이를 통해 데이터 수집부터 보고서 생성까지 일상적인 작업을 무인으로 수행할 수 있습니다.

 

몽타주
넓은 지역에서 자동으로 데이터를 수집합니다.

지정된 밀리미터 단위의 넓은 영역을 자동으로 촬영하는 기능입니다.
SEM은 자동으로 스테이지를 이동시키고 이미지를 캡처한 다음, 획득한 SEM 이미지를 이어 붙여 광역 이미지 또는 매핑을 생성합니다.
이 기술은 넓은 시야각에 걸쳐 고해상도 이미지를 얻을 수 있기 때문에 전체 구조부터 특정 영역까지 분석이 가능하며, 측정을 직접 수행하지 않은 사용자도 쉽게 이해할 수 있는 데이터를 제공합니다.

다중 시야각 분석
다중 필드의 자동 측정

측정 조건과 분석 영역만 지정하면 시야각이 다르더라도 여러 위치를 자동으로 측정할 수 있습니다. 고정밀 스테이지 제어를 통해 안정적인 데이터 수집이 가능합니다.

기술 사양

주요 사양

분해능 6.0 nm (20 kV, WD 12mm, 고진공 모드, 이차 전자 이미지)
8.0 nm (20 kV, WD12 mm, 고진공 모드, 후방 산란 전자 이미지)
직접 확대 ×10~100,000
(배율은 128mm × 96mm로 정의됩니다.)
모드 고진공 모드: 이차 전자 이미지, 후방 산란 전자 이미지
(구도, 지형 및 그림자, 3D 이미지)
저진공 모드: 후방 산란 전자 이미지
(구도, 지형 및 그림자, 3D 이미지)
착륙 전압
(가속 전압)
5kV, 10kV, 15kV, 20kV(4단계)
전자 소스 텅스텐 필라멘트/웨넬트 통합 그리드
표본 단계 XY 모터 구동 단계
X: 40mm Y: 40mm
최대 표본 크기 직경 80mm × 높이 50mm

카탈로그 다운로드

JCM-7000Plus NeoScope™ 다목적 벤치탑 SEM

JCM-7000Plus NeoScope™ 다목적 벤치탑 SEM

JCM-7000 NeoScope™ 탁상형 분석 도구 (이물질 분석 및 재질 판별용)

JCM-7000 NeoScope™ 벤치탑 품질 보증 도구

새로운 소식! SEM "동물 편"으로 탐험해 보세요

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SEM 시리즈

어플리케이션

갤러리 (Gallery)

석면 함유 건축 자재
미네랄 식별

회로 기판
고장 분석

유산균
미생물 관찰

당근 잎 단면
내부 관찰

JCM-7000Plus 관련 애플리케이션

더 많은 정보

【선정된 설치물 목록】이바라키 자연 박물관

이바라키 자연 박물관(이바라키현 반도)은 방문객이 직접 조작할 수 있는 탁상용 주사 전자 현미경(SEM)을 도입했습니다. 관찰에 필요한 모든 조작은 터치 패널을 통해 이루어지며, 아이들이 "또 가고 싶어" 할 만한 매력적인 새로운 전시를 선보일 예정입니다.

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주사전자현미경(SEM)/투과전자현미경(TEM)과 광학현미경(OM)의 차이점 - 작동 원리, 특징 및 관찰 예시

육안으로는 볼 수 없는 미세 구조는 현미경을 사용하면 자세히 관찰할 수 있습니다. 아래 그림은 '인간의 눈', '광학 현미경', '전자 현미경(SEM)' 간의 관찰 가능한 크기와 해상도 차이를 보여줍니다.

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