JSM-IT300HR은 JEOL InTouchScope 시리즈의 새로운 모델입니다.
새로운 고휘도 전자총과 광학 시스템을 갖춘 JSM-IT300HR은 고감도와 높은 공간 분해능으로 탁월한 고품질 이미징 및 분석을 달성합니다.
이 새로운 첨단 SEM은 수상 경력에 빛나는 InTouchScope 시리즈에 구축된 높은 조작성을 유지하면서 뛰어난 성능을 제공합니다.
특징
뛰어난 성능
높은 조작성: 관찰에서 분석까지의 조정 단계를 크게 줄여주는 고휘도 전자총
분석 조건(작업 거리 10mm, 프로브 전류 1nA)에서도 JSM-IT300HR은 x100,000의 고배율에서 선명한 이미지를 제공합니다.
기존의 W-SEM
관찰 조건(왼쪽)에서는 x100,000의 선명한 이미지를 얻을 수 있지만 분석 조건(오른쪽)에서는 이미지가 흐려집니다.
x100,000 관찰 조건(1pA)
표본: Au 입자
x100,000 분석 조건(1nA)
표본: Au 입자
JSM-IT300HR
JSM-IT300HR은 분석 조건에서도 선명한 이미지를 제공합니다.
표본: Au 입자
관찰: 낮은 가속 전압 및 저진공 모드에서도 쉽게 관찰
- JSM-IT300HR은 x50,000 ~ x100,000의 고배율에서도 고화질 이미지를 제공하기 때문에 미세 구조를 쉽게 관찰할 수 있습니다.
- 저전압 이미징 및 저진공 모드 이미징도 고품질 이미지 관찰을 가능하게 하므로 열 손상이 감소된 빔에 민감한 시편을 관찰하고 절연 재료의 미세 구조를 쉽게 관찰할 수 있습니다.
낮은 가속 전압
- 충전 감소
- 빔 조사로 인한 열 손상 감소
표본: 코팅되지 않은 셀룰로오스 나노 섬유(CNF)
각 섬유의 미세 구조는 1kV에서도 고배율로 쉽게 관찰됩니다.
가속 전압: 1kV, 배율: x30,000
고진공 모드, XNUMX차 전자 이미지
표본 제공: H. Yano 교수 및 K. Abe 부교수,
랩. 지속 가능한 인류권을 위한 활성 바이오 기반 재료 연구소,
교토 대학
저진공 모드 및 저가속 전압
- 충전 감소
- 빔 조사로 인한 열 손상 감소
- 높은 공간 해상도
시편: JIB-4000 집속 이온 빔 시스템으로 밀링된 청색광 차단 유리의 광학 박막의 코팅되지 않은 단면.
저진공 모드에서는 전도성 코팅 없이 절연된 광학 박막을 쉽게 관찰할 수 있습니다.
가속 전압: 3kV, 배율: x50,000
저진공 모드, 후방 산란 전자 구성 이미지
요소 분석: 서브 마이크로미터 영역에서 매끄러운 요소 분석을 위한 ACL(개구각 제어 렌즈)
더 쉽고 빠른 데이터 수집
- InTouchScope 시리즈의 특징인 직관적인 조작을 위한 ”스마트” 터치 패널 기능이 내장되어 있습니다.
- 조리법은 표본 범주 및 응용 프로그램을 기반으로 내장되어 있습니다. 이러한 레시피는 모든 시편 유형의 관찰 및 분석에 최적화된 SEM 조건을 자동으로 설정합니다.
- 선택 사양인 스테이지 내비게이션 시스템은 관찰 필드 검색을 크게 용이하게 합니다. 완전히 내장된 CCD 카메라는 컬러 이미지를 탐색합니다. 컬러 이미지를 더블 클릭하면 스테이지가 관찰 필드로 빠르게 이동합니다.
