스캐닝 프로브 현미경(SPM)은 매우 미세한 프로브로 샘플 표면을 스캔하고 표면의 지형적 모양과 물리적 특성을 이미지화하는 다목적 현미경입니다.
최근 나노 기술의 발전으로 SPM은 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
특징
원자 및 분자 이미지를 관찰할 수 있는 고해상도
SPM의 해상도는 다양한 종류의 현미경 중에서 높습니다. SPM은 고해상도 TEM에 필적하는 수평 분해능을 가지고 있으며 다른 현미경을 능가하는 수직 분해능도 제공합니다.
SPM을 사용하면 SEM으로 관찰할 수 없는 매우 미세한 구조를 시료 처리 없이 쉽게 관찰할 수 있습니다.
에어 서스펜션 테이블과 젤 댐퍼를 사용한 이중 제진
JSPM-5200은 이 격리 메커니즘을 통해 원자/분자 분해능 이미지를 제공합니다.
세 가지 AFM 모드 선택 가능
JSPM-5200은 Contact mode, AC mode, Non-Contact mode의 XNUMX가지 AFM mode를 제공하여 시료나 측정 목적에 따라 적합한 mode를 선택할 수 있습니다.
비접촉 모드는 표준 구성에 포함되어 있습니다.
JSPM-5200은 프로브의 정점이 샘플 표면에 닿지 않고 고해상도 이미징을 달성합니다.
시료 표면의 물리량 이미징 및 측정
SPM은 시료의 지형적 형상을 영상화할 뿐만 아니라 다양한 물리량을 관찰하고 측정하는 데 사용됩니다.
다양한 측정 모드
FFM 모드 및 위상 모드를 포함한 표준 측정 모드 외에도 JSPM-5200에는 표면 전위 이미지, 자기력 이미지 및 점탄성 이미지와 같은 다양한 측정을 포함하는 옵션 모드가 있습니다.
샘플 환경의 유연성
SPM은 샘플 환경을 제어할 수 있습니다. JSPM-5200은 공기, 진공, 제어된 대기 및 액체와 같은 다양한 환경에서 사용할 수 있습니다.
환경 SPM
JEOL은 대기압 SPM을 환경 SPM인 JSPM-5200으로 확장했습니다. 이 SPM은 샘플 환경을 유연하게 제어하여 진공, 제어된 대기 및 액체뿐만 아니라 가열 또는 냉각 중에도 샘플을 관찰할 수 있습니다.
간단하고 일관된 작동
JSPM-5200의 간단한 작동은 진공 또는 공기 중에서 샘플 가열 또는 냉각 액세서리 옵션을 설치하는 경우에도 변경되지 않습니다. JSPM-5200은 모든 샘플 환경에서 쉽게 작동할 수 있습니다.
간단한 측정
JSPM-5200에 샘플을 삽입하면 곧바로 샘플 이미지를 관찰할 수 있습니다.
아이콘 버튼만 클릭하면 되는 간단한 조작
JSPM-5200에 샘플을 삽입하면 측정 소프트웨어에서 명확하게 표시된 아이콘 버튼을 클릭하기만 하면 샘플 이미지를 쉽게 관찰할 수 있습니다. 이 측정 소프트웨어는 측정에 필요한 구성 요소(캔틸레버 등)의 모든 필요한 조정을 자동으로 수행합니다.
이미지 처리 → 분석 → 보고서 작성 - 하나의 기능으로 통합
이미지 처리 및 분석에서 보고서 작성까지 SPM 측정에 필수적인 절차가 측정 소프트웨어에서 하나의 기능으로 통합되었습니다. 따라서 이러한 작업을 신속하게 수행할 수 있습니다.
제품 사양
분해능 | AFM: 원자 분해능(접촉 모드 운모)
STM: 원자 분해능(HOPG 원자 이미지) |
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시스템 드리프트 | 0.05nm/s 이하 드리프트 프리 스테이지 가능 |
측정 모드(AFM) | AFM 접촉 모드
지형 이미지, 힘 이미지 초점 곡선, 마찰력 곡선, IV, CITS, 현재 이미지에 문의, SPS 매핑 AC 모드 지형 이미지, 위상 이미지, 진폭 이미지 포인트별 MFM 비접촉 모드(FM 모드) 지형 이미지, 주파수 이미지 |
측정 모드(STM) | STM 모드
지형 이미지, 현재 이미지, CITS IV, SV, IS |
스캔 범위 | XY : 0~20μm(표준스캐너)
분해능: 25비트(오프셋 포함) Z : 0 ~ 3μm(표준 스캐너) 분해능: 21비트(이득 ×32) |
표본의 크기 | 최대 50mm×50mm×5mm(T)
표준: 10mm×10mm×3mm(T) |
주) 캔틸레버는 포함되어 있지 않으므로 JSPM-5200 주문시 별도 문의 바랍니다.