스캐닝 프로브 현미경(SPM)은 매우 미세한 프로브로 샘플 표면을 스캔하고 표면의 지형적 모양과 물리적 특성을 이미지화하는 다목적 현미경입니다. 최근 나노 기술의 발전으로 SPM은 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
기능
스냅 검색 기능
STO(Surface Topographic Observer)※는 현대 제어 이론에 기반한 기술로 기존 기술에 비해 지형 이미지의 왜곡을 최소화하면서 고속 스캔이 가능합니다.
시판 캔틸레버 사용 가능 (전용 캔틸레버 불필요)
격자 관찰의 예
기존 PID 제어로 스캔
지형 이미지 50Hz scana
정확한 모양을 얻을 수 없습니다.
STO 제어 방식으로 스캔
지형 이미지 50Hz 스캔
(STO는 요코하마국립대학에서 개발한 기술)
혁신적인 컨트롤러 및 소프트웨어
JEOL에서 개발한 고전압 증폭기를 사용하면 S/N비가 높은 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 소프트웨어는 최적의 레이블이 지정된 아이콘 버튼으로 사용하기가 더 쉽습니다.
환경 SPM
이 SPM은 공기, 유체, 진공, 제어된 대기(가스 도입) 및 샘플 가열/냉각과 같은 다양한 환경에서 이미징을 지원합니다.
별매 악세서리 장착시에도 공기중 조작이 용이하여 초보자부터 전문가까지 사용 가능합니다.
부드러운 샘플 이미징에 적합한 디지털 제어 비접촉 모드
JSPM-5410에는 일정한 여기 진폭 FM 감지 방법을 사용하는 디지털 제어용 개선된 비접촉 모드가 포함되어 있습니다. 손실 이미징을 위해 비접촉 모드를 확장하는 새로운 자동 이득 제어(AGC)가 통합되었습니다.
JSPM-5410은 비접촉 모드가 표준으로 제공되는 유일한 SPM입니다.
제품 사양
| 분해능 | 표면 내: 0.1 nm, 수직 방향: 0.02 nm AFM : 원자 분해능(접촉 모드가 있는 운모) STM : Atomic resolution (HOPG 원자 이미지) |
|---|---|
| 측정 모드 | 원자현미경: NC 모드(주파수 감지) 지형 이미지, 주파수 편이 이미지, 소실 이미지 (옵션: SKPM, MFM, EFM ) AC 모드(진폭 감지) 지형 이미지, 위상 이미지, 진폭 이미지 (옵션: VE-AFM, SKPM, MFM, EFM) 접촉 모드 지형 이미지, 힘 이미지, 접점 전류 이미지, FFM (옵션: VE-AFM, LM-FFM, PFM, SCFM, UAFM) STM : 지형 이미지, 현재 이미지 분광법 : 힘곡선, 마찰력곡선, IV, SV, IS, SI, SPS 매핑 |
| 표준 스캐너를 사용한 스캔 범위 | XY: 0~20μm(분해능: 16비트 3DAC, 21비트 상당) Z : 0 ~ 3μm(분해능: 22비트) 튜브 스캐너 사용 시(교환 가능) 픽셀 수 : 최대 2048 × 2048 직사각형 스캔, 스킵 스캔, 프로브 자동 추적, 손상 없는 스캔 제어, 안전 고속 접근 |
| 표본의 크기 | 최대 50mm × 50mm × 5mm(T) 표준: 10mm × 10mm × 3mm(T) |
