JED-2300T AnalysisStation은 관찰에서 분석까지 원활한 운영이 가능한 원소분석 시스템입니다.
AnalysisStation JED-2300T는 “Image and Analysis” 개념을 기반으로 하는 TEM/EDS의 통합 시스템입니다. 데이터 관리는 분석 데이터와 함께 배율, 가속 전압 등의 파라미터를 자동으로 수집하여 수행합니다.
특징
30가지 유형의 SDD(Silicon Drift Detector) EDS를 사용할 수 있으며 감지 영역은 각각 2mm60, 2mm100 및 2mm100입니다. 감지 영역이 클수록 감지 감도가 높아집니다. JEM-ARM100F(HRP)에 Dry SD2GV Detector(검출면적 200mmXNUMX)를 통합하여 넓은 수광면적과 고해상도를 동시에 구현하며 “B,C,N,O”등의 광요소의 명확한 구분이 가능합니다. 가능한.
드라이 SD100GV
고속 원소 매핑
고감도의 건식 SD100GV 검출기는 측정 시간 XNUMX분 만에 Au 촉매 입자를 검출합니다.
시편: Ti Oxide에 지지된 Au 촉매 입자
기기: JEM-ARM200F + 건식 SD100GV 검출기
측정 시간 약 1분
프로브 전류: 1nA
픽셀 수: 256 x 256픽셀
원자 해상도 매핑
Sr과 Ti의 원자 기둥은 명확하게 분리되어 있습니다.
원자 해상도 매핑
Sr과 Ti의 원자 기둥은 명확하게 분리되어 있습니다.
표본: SrTiO3<100>
기기: JEM-ARM200F + 건식 SD100GV 검출기
측정 시간 약: 10분
프로브 전류: 1nA
픽셀 수: 128 x 128픽셀
재생
JEOL의 EDS에서 획득한 원소 매핑 데이터는 전자빔 이미지와 함께 각 프레임의 모든 픽셀에서 스펙트럼을 보존합니다. "재생" 기능은 일정 기간 동안 스펙트럼의 변화를 관찰하는 것을 포함하여 다자간 분석을 가능하게 합니다. 추적이 불가능했던 샘플에서 발생한 현상을 이제 분석 데이터를 재생하여 관찰할 수 있습니다. 선택한 프레임을 잘라내는 것도 가능합니다. (특허가 출원되었습니다.)
표본: 암염
픽셀 수: 128 x 128픽셀
샘플 프레임 번호: 398 프레임
어플리케이션
애플리케이션 JED-2300T
STEM/EDS 단층촬영을 이용한 반도체 소자의 구조 분석
