닫기

지역 사이트 선택

닫기

JEM-2100F는 다목적 200kV FE(Field Emission) 분석 전자 현미경입니다. 사용자의 목적에 맞게 다양한 버전을 제공합니다. FE 전자총(FEG)은 기존의 열이온 전자총으로는 달성할 수 없는 매우 안정적이고 밝은 전자 탐침을 생성합니다. 이 기능은 주사 투과 현미경과 나노 크기의 샘플 분석에서 초고해상도에 필수적입니다. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer) 또는 EELS(전자 에너지 손실 분광계) 또는 CCD 카메라와 같은 다양한 분석 기기 및/또는 카메라는 현미경 제어의 PC 시스템과 통합할 준비가 되어 있습니다.

특징

고해상도 관찰 및 나노 스케일 분석을 위한 FETEM

FEG는 고휘도와 고안정성을 특징으로 하여 원자 분해능에서 구조적 스캐닝 이미징을 구현합니다. 매우 밝은 서브나노미터 크기의 프로브를 통해 서브나노미터 분해능에서 샘플에 대한 궁극적으로 민감한 분석을 수행할 수 있습니다. FEG를 사용하면 좁은 에너지 확산으로 매우 일관된 조명을 제공하기 때문에 고해상도 이미지의 콘트라스트도 향상됩니다. 또한 전자바이프리즘(Electron bi-prism)을 옵션으로 장착하여 고간섭 조명이 필요한 전자홀로그래피도 가능합니다.

매우 안정적인 시편 구동 시스템

안정적인 시료 구동 시스템을 통해 나노미터 규모의 분석을 수행할 수 있습니다. 이 시스템을 사용하면 시편이 매우 낮은 드리프트 및 진동으로 기울기 및/또는 이동을 수행할 수 있습니다. 선택적으로 사용 가능한 피에조 시편 드라이브 시스템을 사용하면 시편을 ±1.2μm 범위의 서브나노미터 분해능으로 이동할 수 있습니다.
시스템은 다양한 시료 홀더를 수용하기 때문에 온도, 회전 또는 기울기와 같은 다양한 시료의 물리적 조건을 변경할 수 있습니다.

다른 기기와의 통합

현미경은 PC로 완전히 제어할 수 있습니다. 설계 개념을 통해 EDS, EELS 또는 CCD 카메라와 같은 다양한 분석 기기 및/또는 카메라를 통합할 수 있습니다.

제품 사양

구성※ 1 초고해상도
(UHR)
고해상도
(인사)
높은 표본 기울기
(세금 별도)
크라이오 폴피스
(CR)
고 대비
(HC)
폴피스 URP HRP PH CRP HCP
분해능
포인트 적립 0.19 nm의 0.23 nm의 0.25 nm의 0.27 nm의 0.31 nm의
격자 0.1 nm의 0.1 nm의 0.1 nm의 0.14 nm의 0.14 nm의
Acc. 전압※ 2 160kV, 200kV※ 1
최소 단계 50 V
단계 크기 최소 50V
전자 소스
이미 터 ZrO/W(100) 쇼트키
표면 타입 ≧4×108 A/센티미터2 /씨
압력 × 10-8 아빠 주문
프로브 전류 0.5nm 프로브의 경우 1nA
전력 안정성
Acc. 전압 ≤1×10-6/분
OL 전류 ≤1×10-6/분
대물렌즈의 광학적 매개변수
초점 거리 1.9 mm 2.3 mm 2.7 mm 2.8 mm 3.9 mm
구형 수차. 계수. 0.5 mm 1.0 mm 1.4 mm 2.0 mm 3.3 mm
색수차. 계수. 1.1 mm 1.4 mm 1.8 mm 2.1 mm 3.0 mm
최소 초점 단계 1.0 nm의 1.4 nm의 1.8 nm의 2.0 nm의 5.2 nm의
스폿 크기(직경)
TEM 모드 2 ~ 5nm 7 ~ 30nm
EDS 모드 0.5 ~ 2.4nm - - 4 ~ 20nm
익일 모드 - - -
CBD 모드 1.0 ~ 2.4nm -
수렴 빔 회절에 대한 매개변수
수렴각 1.5 ~ 20mrad - -
수용각 ± 10 ° - -
확대
매그 모드 ×2,000~1,500,000 ×1,500~1,200,000 ×1,200~1,000,000 ×1,000~800,000
LOW MAG 모드 ×50~6,000 ×50~2,000
SA MAG 모드 ×8,000~800,000 ×6,000~600,000 ×5,000~600,000 ×5,000~400,000
카메라 길이
SA 회절(mm) 80 ~ 2,000 100 ~ 2,500 150 ~ 3,000
HD 회절(m) 4 ~ 80
HR 회절※ 2 333 mm
표본 이동
엑스, 와이 2 mm 2 mm 2 mm 2 mm 2 mm
Z ± 0.1 mm ± 0.2 mm ± 0.2 mm
표본 기울기
X/Y※ 3 ±25/±25° ±35/±30° ±42/±30° ±15/±10° ±38/±30°
X※ 4 ± 25 ° ± 80 ° ± 80 ° ± 80 ° ± 80 °
줄기※ 5
명 시야 격자 해상도 0.2 nm의 - -
EDS※ 6
입체각(30mm2) 0.13초 0.13초 0.13초 ※ 8 0.09 SR
입체각(50mm2)※ 7 0.24초 0.28초 0.23초
이륙 각도(30mm2) 25 ° 25 ° 25 ° ※ 8 20 °
이륙 각도(50mm2)※ 7 22.3 ° 24.1 ° 25 °
  • JEM-2100F를 주문할 때 구성을 선택하십시오.

  • 80kV, 100kV 및 120kV는 가속 튜브용 단락 스위치 옵션으로 가능합니다.

  • 시편 틸팅 홀더(EM-31630) 사용.

  • High Tilt Specimen Retainer(EM-21310) 사용.

  • 선택적 스캐닝 이미지 관찰 장치로.

  • 옵션 EDS 검출기로.

  • JEOL 50mm로2 EDS 검출기.

  • EDS 감지기를 사용할 수 없습니다.

어플리케이션

신청 JEM-2100F

갤러리 (Gallery)

관련 상품

더 많은 정보

과학 기초

메커니즘에 대한 쉬운 설명과
JEOL 제품의 응용

닫기
주의

귀하는 의료 전문가 또는 의료에 종사하는 직원입니까?

아니

이 페이지는 일반 대중에게 제품에 대한 정보를 제공하기 위한 것이 아닙니다.

Contacts

JEOL은 고객이 안심하고 제품을 사용할 수 있도록 다양한 지원 서비스를 제공합니다.
Please feel free to contact us.