JEM-3200FS 전계방출전자현미경은 가속전압 300kV의 전계방출 전자총과 고성능을 보이는 In-column 에너지 필터를 탑재하고 있다. 이 전자 현미경은 다양한 생물학 및 재료 연구를 위한 솔루션을 제공합니다.
기능
컬럼내 에너지 필터(오메가 필터)
이미징 렌즈 시스템에 내장된 In-column 에너지 필터는 기존 전자 현미경으로 얻은 것과 비슷한 배율 범위를 가능하게 하고 에너지 필터링 이미지와 에너지 손실 스펙트럼을 쉽게 획득할 수 있도록 합니다. 에너지 필터(오메가 필터)의 전자광학계는 영상의 왜곡을 최소화하도록 설계되었으며, 나아가 잔류 왜곡을 공장에서 최종적으로 제거하여 출하합니다.
선택적 고감도 카메라 시스템 및 선택적 이미지 처리 시스템을 통해 요소 매핑 시스템 및 에너지 손실 분광 시스템 구축이 가능합니다.
새로운 제어 시스템
전자총, 전자광학계, 고니오미터, 배기시스템 등 전자현미경의 기본 기능을 체계화하여 고도로 안정화된 고성능 제어 시스템을 구현합니다.
윈도우의 사용®*1 이미지 화면 및 사용자 인터페이스를 통해 작업 프로그래밍 및 첨부 파일의 중앙 제어가 가능합니다.
새로운 고니오미터
압전 구동 요소가 있는 새로운 체계화된 고니오미터는 고배율에서 표본 이동에서 많은 개선을 보여줍니다.*2.
주의 사항:Windows는 미국 및 기타 국가에서 Microsoft Corporation의 등록 상표입니다.
기본 유닛에는 압전 소자만 포함되어 있습니다. 압전 소자용 전원 공급 장치는 옵션입니다.
제품 사양
구성※ 1 | 초고해상도 (UHR) |
고해상도 (인사) |
높은 표본 기울기 (HT) |
고 대비 (HC) |
---|---|---|---|---|
분해능(nm) | ||||
포인트 적립 격자 |
0.17 0.1 |
0.19 0.1 |
0.21 0.1 |
0.26 0.14 |
에너지 분해능 | 0.9eV(제로 손실 FWHM) | |||
가속 전압 | 300kV, 200kV, 100kV※ 2 | |||
단계 크기 에너지 이동 |
최소 100V 최대 3,000V(0.2V 단계) |
|||
전자 소스 | ||||
이미 터 | ZrO/W(100) 쇼트키 이미터 | |||
표면 타입 | ≧7×108 A/센티미터2・sr | |||
진공 | 약 3×10-8Pa | |||
프로브 전류 | 0.5nm 프로브의 경우 1nA | |||
전력 안정성 | ||||
Acc. 전압 | 2 × 10-6/분 | |||
OL 전류 | 1 × 10-6/분 | |||
필터 렌즈 전류 | 1 × 10-6/분 | |||
객관적인 렌즈 | ||||
초점 거리 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
구면 수차 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
색수차 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
최소 단계 | 1.0 nm의 | 1.4 nm의 | 1.5 nm의 | 4.1 nm의 |
스폿 크기(nm φ 직경) | ||||
TEM 모드 | 2 ~ 5 | 2 ~ 5 | 7 ~ 30 | |
EDS 모드 | 0.4 ~ 1.6 | 0.5 ~ 2.4 | 4 ~ 20 | |
익일 모드 | 0.4 ~ 1.6 | 0.5 ~ 2.4 | - | |
CBD 모드 | 0.4 ~ 1.6 | 0.5 ~ 2.4 | - | |
수렴 빔 회절에 대한 매개변수 | ||||
수렴각(2α) | 1.5 ~ 20mrad | - | ||
수용각 | ± 10 ° | - | ||
확대 | ||||
매그 모드 | ×2,500~1,500,000 | ×2,000~1,200,000 | ×1,500~1,200,000 | |
LOW MAG 모드 | ×100~3,000 | |||
SA MAG 모드 | ×8,000~600,000 | ×6,000~500,000 | ×5,000~500,000 | |
보기의 필드 | 10eV 60mm에서 슬릿 폭(필름 표면) 2eV 25mm에서 슬릿 폭(필름 표면) |
|||
카메라 길이 | ||||
SA 회절 | 200에서 2,000mm | 250에서 2,500mm | 400에서 3,000mm | |
EELS 분산 | ||||
에너지 선택 슬릿에서 | 0.85kV에서 300μm/eV | |||
필름 표면에 | 100kV에서 220~300μm/eV | |||
표본실 | ||||
시편 이동 범위(X,Y,Z)(mm) | X, Y : 2 Z : 0.2 |
X, Y : 2 Z : 0.4 |
||
표본 기울이기(X/Y) | ±25°/±25°※ 3 | ±35°/±30°※ 3 | ±42°/±30°※ 3 | ±38°/±30°※ 3 |
EDS※ 4 | ||||
입체각 | 0.13 SR | 0.09 SR | ||
이륙 각도 | 25 ° | 20 ° |
JEM-3200FS를 주문할 때 구성(UHR, HR, HT 또는 HC) 중 하나를 지정하십시오.
100kV 및 200kV는 가속관에 옵션인 단락 스위치를 사용하면 가능해집니다.
시편 틸팅 홀더(EM-31630) 사용 시.
선택적 EDS가 필요합니다. 사양은 30mm에 적용됩니다.2 탐지기.