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JEM-3200FS 전계 방출 에너지 필터 전자 현미경

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JEM-3200FS 전계 방출 에너지 필터 전자 현미경

JEM-3200FS 전계방출전자현미경은 가속전압 300kV의 전계방출 전자총과 고성능을 보이는 In-column 에너지 필터를 탑재하고 있다. 이 전자 현미경은 다양한 생물학 및 재료 연구를 위한 솔루션을 제공합니다.

기능

컬럼내 에너지 필터(오메가 필터)

이미징 렌즈 시스템에 내장된 In-column 에너지 필터는 기존 전자 현미경으로 얻은 것과 비슷한 배율 범위를 가능하게 하고 에너지 필터링 이미지와 에너지 손실 스펙트럼을 쉽게 획득할 수 있도록 합니다. 에너지 필터(오메가 필터)의 전자광학계는 영상의 왜곡을 최소화하도록 설계되었으며, 나아가 잔류 왜곡을 공장에서 최종적으로 제거하여 출하합니다. 
선택적 고감도 카메라 시스템 및 선택적 이미지 처리 시스템을 통해 요소 매핑 시스템 및 에너지 손실 분광 시스템 구축이 가능합니다.

새로운 제어 시스템

전자총, 전자광학계, 고니오미터, 배기시스템 등 전자현미경의 기본 기능을 체계화하여 고도로 안정화된 고성능 제어 시스템을 구현합니다. 

윈도우의 사용®*1 이미지 화면 및 사용자 인터페이스를 통해 작업 프로그래밍 및 첨부 파일의 중앙 제어가 가능합니다.

새로운 고니오미터

압전 구동 요소가 있는 새로운 체계화된 고니오미터는 고배율에서 표본 이동에서 많은 개선을 보여줍니다.*2.

  • 주의 사항:Windows는 미국 및 기타 국가에서 Microsoft Corporation의 등록 상표입니다.

  • 기본 유닛에는 압전 소자만 포함되어 있습니다. 압전 소자용 전원 공급 장치는 옵션입니다.

제품 사양

구성※ 1 초고해상도
(UHR)
고해상도
(인사)
높은 표본 기울기
(HT)
고 대비
(HC)
분해능(nm)
 포인트 적립
 격자
0.17
0.1
0.19
0.1
0.21
0.1
0.26
0.14
에너지 분해능 0.9eV(제로 손실 FWHM)
가속 전압 300kV, 200kV, 100kV※ 2
단계 크기
 에너지 이동
최소 100V
최대 3,000V(0.2V 단계)
전자 소스
이미 터 ZrO/W(100) 쇼트키 이미터
표면 타입 ≧7×108 A/센티미터2・sr
진공 약 3×10-8Pa
프로브 전류 0.5nm 프로브의 경우 1nA
전력 안정성
Acc. 전압 2 × 10-6/분
OL 전류 1 × 10-6/분
필터 렌즈 전류 1 × 10-6/분
객관적인 렌즈
초점 거리 2.7 mm 3.0 mm 3.5 mm 3.9 mm
구면 수차 0.6 mm 1.1 mm 1.4 mm 3.2 mm
색수차 1.5 mm 1.8 mm 2.2 mm 3.0 mm
최소 단계 1.0 nm의 1.4 nm의 1.5 nm의 4.1 nm의
스폿 크기(nm φ 직경)
TEM 모드 2 ~ 5 2 ~ 5 7 ~ 30
EDS 모드 0.4 ~ 1.6 0.5 ~ 2.4 4 ~ 20
익일 모드 0.4 ~ 1.6 0.5 ~ 2.4 -
CBD 모드 0.4 ~ 1.6 0.5 ~ 2.4 -
수렴 빔 회절에 대한 매개변수
수렴각(2α) 1.5 ~ 20mrad -
수용각 ± 10 ° -
확대
매그 모드 ×2,500~1,500,000 ×2,000~1,200,000 ×1,500~1,200,000
LOW MAG 모드 ×100~3,000
SA MAG 모드 ×8,000~600,000 ×6,000~500,000 ×5,000~500,000
보기의 필드 10eV 60mm에서 슬릿 폭(필름 표면)
2eV 25mm에서 슬릿 폭(필름 표면)
카메라 길이
SA 회절 200에서 2,000mm 250에서 2,500mm 400에서 3,000mm
EELS 분산
에너지 선택 슬릿에서 0.85kV에서 300μm/eV
필름 표면에 100kV에서 220~300μm/eV
표본실
시편 이동 범위(X,Y,Z)(mm) X, Y : 2
Z : 0.2
X, Y : 2
Z : 0.4
표본 기울이기(X/Y) ±25°/±25°※ 3 ±35°/±30°※ 3 ±42°/±30°※ 3 ±38°/±30°※ 3
EDS※ 4
입체각 0.13 SR 0.09 SR
이륙 각도 25 ° 20 °
  • JEM-3200FS를 주문할 때 구성(UHR, HR, HT 또는 HC) 중 하나를 지정하십시오.

  • 100kV 및 200kV는 가속관에 옵션인 단락 스위치를 사용하면 가능해집니다.

  • 시편 틸팅 홀더(EM-31630) 사용 시.

  • 선택적 EDS가 필요합니다. 사양은 30mm에 적용됩니다.2 탐지기.

어플리케이션

애플리케이션 JEM-3200FS

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