전례 없는 STEM-HAADF 해상도 – 오후 58시
JEM-ARM300F GRAND ARM은 300kV의 최대 가속 전압을 제공하고 JEOL의 자체 Cs 교정기가 장착된 원자 분해능 전자 현미경입니다. 이 장비는 58 pm의 전례 없는 STEM-HAADF 이미지 해상도를 보장합니다.
특징
58pm의 전례 없는 STEM-HAADF 해상도 실현※ 1
JEOL의 독자적인 STEM Cs Correctors는 스캐닝 투과 전자 현미경 이미지(STEM 이미지)(가속 전압 58kV)*300(STEM 구면 수차 보정기가 구성된 경우)에 대해 1pm의 보장된 해상도를 제공합니다.
초고해상도 폴피스 장착 시
ETA 보정기 - JEOL 독자적인 XNUMX극 수차 보정기 ※옵션
ETA 보정기(Expanding Trajectory Aberration corrector)는 XNUMX극과 JEOL의 확장으로 구성됩니다.
STEM 구면 수차 보정기 및/또는 TEM 수차 보정기를 구성할 수 있습니다. 교정기가 없는 구성도 가능합니다.
HyperCF300 - 고성능 콜드 FE 건
신설계의 고성능 냉전계방사포를 표준 구성으로 장비. 좁은 에너지 확산을 가진 고휘도 전자빔은 고해상도 관찰 및 분석을 제공합니다.
대물렌즈 폴피스 XNUMX종
독자적인 특성을 지닌 XNUMX가지 타입의 대물렌즈 폴피스를 개발하여 다양한 사용자의 요구사항을 지원합니다.
감지 시스템 ※옵션
대형 입체각 EDS(Energy-dispersive X-ray spectrometer), EELS(Electron energy loss spectrometer), 후방 산란 전자 검출기 및 4가지 유형의 STEM 관찰 검출기를 사용할 수 있습니다.
광범위한 가속 전압 설정
300kV 및 80kV의 가속 전압이 표준 구성으로 제공됩니다. 옵션으로 가속 전압을 40kV ~ 300kV 범위에서 선택하여 다양한 분야에 적용할 수 있습니다.
새로 개발된 진공 시스템
새로운 배기 시스템으로 고진공 수준을 달성했습니다. 사전 진공 시스템에는 터보 분자 펌프가 사용됩니다. 시료의 오염을 최소화하여 원자 수준의 분해능으로 관찰 및 분석이 가능합니다.
매우 안정적인 컬럼 및 스테이지
JEM-ARM300F에는 기계적 강성 향상을 위한 330mm 직경 컬럼을 포함하는 안정화 기술과 전반적으로 기계적 및 전기적 안정성 및 내구성이 향상되었습니다.
제품 사양
2018/01/15
| 줄기
(STEM 교정기 포함) |
UHR 구성 | 인사 구성 |
|---|---|---|
| 분해능@300kV(HAADF) | 0.058 nm의 | 0.063 nm의 |
| TEM
(TEM 교정기 포함) |
UHR 구성 | 인사 구성 |
| 격자 해상도 | 0.05 nm의 | 0.06 nm의 |
| (비선형) 정보 제한
(두꺼운 시편을 이용한 Young's fringe TEST) |
0.06 nm의 | 0.07 nm의 |
| (선형) 정보 제한
(3D FFT TEST 또는 얇은 시편) |
0.09 nm의 | 0.12 nm의 |
장치의 외관 또는 사양에 대한 개선 또는 변경은 예고 없이 이루어질 수 있습니다.
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JEM-ARM300F GRAND ARM 원자 분해능 전자현미경
어플리케이션
애플리케이션 JEM-ARM300F
STEM/EDS 단층촬영을 이용한 반도체 소자의 구조 분석
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