기능
광음극용 프로브 레이저 포트:
광전자 프로브 펄스를 생성하는 광학 경로를 제공합니다.견본을 위한 펌프 레이저 포트:
레이저를 사용하여 시료를 직접 여기시키는 광경로를 제공합니다.광학 전달 시스템:
프로브 및 펌프 레이저를 위한 컬럼 장착형 폐쇄 광학 경로를 제공합니다.레이저 작업대:
다양한 유형의 레이저 시스템 수용 가능레이저 정렬 및 진단 도구:
사용자가 실시간으로 레이저 빔을 정밀하게 정렬할 수 있습니다.레이저 빔 안정화 시스템(옵션):
레이저 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있습니다.데이터 수집 자동화 소프트웨어:
TEM 데이터 수집의 시계열 자동화C0 렌즈:
신호 강도를 향상시킬 수 있습니다
제품 사양
다양한 작동 모드에 대한 구성 및 성능
| 스트로보스코피 | 한번의 | |||
|---|---|---|---|---|
| 모드 | PS 스트로보스코피 | NS 스트로보스코피 | 단일 샷 DTEM | 영화 모드 DTEM |
| 음극 | 랩6 가드 링 타 디스크 |
랩6 (잘린 팁) 랩6 가드 링 타 디스크 |
타 디스크 | 타 디스크 |
| 분광계 | 추천 | 고객이 선택 | 호환되지 않는 | 호환되지 않는 |
| 벤치※ | 1,200 X 2,400 mm 광학 테이블 |
옵티컬 테블은 아니다 항상 필요한 |
옵티컬 테블은 아니다 항상 필요한 |
1,200 X 2,400 mm 광학 테이블 |
| 프로브 레이저※ 펄스 에너지 펄스 폭 파장 |
100nJ 300fs 이하 257 nm의 |
100μJ 5ns 이하 266 nm의 |
10mJ 10ns 이하 266 nm의 |
10mJ 9 × 20ns 266 nm의 |
| 펌프 레이저※ 펄스 에너지 맥박 파장 |
10μJ 300fs 이하 515 nm의 |
10μJ 5ns 이하 532 nm의 |
1mJ 10ns 이하 532 nm의 |
1mJ 10ns 이하 532 nm의 |
| 반복 속도※ | 약 1MHz | 약. 1kHz | SS(10Hz) | SS(10Hz) |
| 방사 | 100e-/펄스 이하 | 10e-/펄스 이하 | 약. 108 e-/펄스 | 약. 109 e-/펄스 |
| 에너지 확산 | 1.5eV 이하 | 1.5eV 이하 | 100eV 이하 | 100eV 이하 |
| 시간적 폭 | 1.2ps 이하 | 10ns 이하 | 20ns 이하 | 20ns 이하 |
| 공간 해상도 | 1nm 이하 | 1nm 이하 | 약. 10nm | 약. 10nm |
| Delay 범위 프레시젼 광학 지터 |
리니어 스테이지 -666ps~+2000ps ±0.017ps |
지연 발생기 -1μs ~ +1ms ±0.05ns ±5ns 이하 |
지연 발생기 -∞ ~ + ∞ ±0.05ns ±5ns 이하 |
디지털 시퀀서 -100μs ~ 100μs 약. ±1ns ±5ns 이하 |
| 음극 수명※ | 약. 6 개월 디스크:12개월 또는 더 (옵션으로) |
약. 6 개월 디스크:12개월 또는 더 (옵션으로) |
12 개월 이상 | 12 개월 이상 |
전형적인 값
JEM-2100Plus 기반 Luminary의 표준 룸 레이아웃
ns 스트로보스코피 및 싱글 샷 DTEM의 경우 레이저 구성에 따라 광학 테이블(OT)이 항상 필요한 것은 아닙니다.
AC: 공기 압축기
CU: 카드 유닛
HT: 고압 탱크
OT: 광학 테이블
추신: 전원 공급 장치
RP: 오일 로터리 펌프
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EDM 동기화 기능이 있는 프로그래밍 가능한 STEM
모든 픽셀에서 선량을 제어합니다.
EDM(Electrostatic Dose Modulator)은 전자 장치 및 소프트웨어 제어를 포함하여 사전 샘플 정전기 편향기가 있는 빠른 빔 블랭킹 시스템입니다. EDM은 또한 이미징 조건에 영향을 주지 않고 전자 조명을 감쇠할 수 있으므로 TEM 및 STEM 사용자가 샘플의 선량을 더 잘 제어할 수 있습니다.
선택적 <strong>동기화 업그레이드</strong>는 EDM의 타이밍 및 동기화 기능을 한 단계 끌어올립니다. Synchrony는 STEM 컨트롤러와 조정하여 샘플을 스캔할 때 프로브 빔 위치를 추적할 수 있습니다. EDM의 초고속 정전 블랭킹은 각 픽셀에서 지정된 시간 동안 빔을 켜거나 빔을 블랭킹하여 민감한 영역을 선량에서 완전히 배제합니다.
