새롭게 디자인된 사용자 인터페이스를 채택하여 일본어 환경에서도 조작이 가능하도록 하여 "누구나 쉽고 빠르게 조작"할 수 있도록 했습니다. 또한, 카우프만식 에칭 이온 소스와 트윈 애노드를 기본으로 탑재하여 고온 가열 시스템, 가스 클러스터 이온 소스 등 다양한 확장성을 제공합니다.
기능
①단시간 측정이 가능한 광역 분석
JPS-9030은 밀리미터 단위의 분석 영역과 같이 넓은 범위의 시편을 분석할 수 있는 XPS로, 평균값 분석에 최적화되어 있습니다. 시편의 편석 및 국부 오염 여부와 관계없이 시편 정보를 수집할 수 있습니다. 분말, 박막, 판상 시편의 원소 분석, 화학 결합 상태 분석에 적합합니다.
〇광역 분석 활용 사례 - LIB 양극 소재 원소 분석
언뜻 보기에 LIB 양극재는 균일해 보입니다. 그러나 분석 범위가 좁으면 원소 분석 결과가 달라질 수 있습니다. 분석 범위를 넓히면 국부 오염의 영향 없이 평균적인 정보를 얻을 수 있습니다.
분석 범위를 좁히기 위해 세 곳에서 측정을 실시했습니다.
⇒결과에 큰 차이가 있었습니다.
분석 범위를 좁히기 위해 세 곳에서 측정을 실시했습니다.
⇒결과에 약간의 차이가 있었습니다.
② 간편한 조작을 가능하게 하는 소프트웨어 SPECSURF
새롭게 개발된 일본어용 소프트웨어 SPECSURF Ver. 2.0은 다음과 같은 기능을 제공합니다.
리본 스타일 GUI와 탭 창 시스템을 결합하여 마우스만으로 사용자 친화적인 작업 환경을 제공합니다.
③ 다양한 소재 측정이 가능한 장비 구성 - Mg/Al 쌍극 X선원 -
JPS-9030은 단색 X선원과 Mg/Al 쌍극 X선원을 사용할 수 있습니다. Mg/Al 쌍극 X선원은 X선을 Mg K선과 Al K선으로 전환하여 시료에 조사할 수 있습니다. 이를 통해 광전자 피크와 오제 피크가 겹치는 다원소 시료를 분석할 수 있습니다.
-조건 저장, 읽기 및 설정을 한 번 클릭으로 설정 가능
-한 번의 클릭으로 여러 개의 표본 측정을 설정하세요
- 정확한 측정 완료 시간 예측 기능으로 원활한 측정이 가능합니다.
검체 교체 및 측정
〇Mg/Al 쌍극 X선원 활용 예 - Fe, Ni 함유 시편 분석
XPS 스펙트럼에서 광전자 피크와 오제 피크가 겹치는 예 중 하나는 여러 전이 금속 원소를 포함하는 시편입니다. 다음은 Fe와 Ni를 포함하는 시편의 측정 예입니다. 이는 Al X선 광원에서 관찰되는 피크 겹침 현상을 Mg X선 광원을 사용하면 방지할 수 있음을 보여줍니다.
Al X선원에 의한 측정
⇒피크 오버랩
Mg X선원을 이용한 측정
⇒피크 겹침을 방지합니다
③ 다양한 물질 측정이 가능한 기기 구성 - 카우프만형 이온소스-
JPS-9030은 Ar 이온원으로 카우프만형 이온원을 사용합니다. 큰 전류를 공급할 수 있으므로 낮은 가속 전압에서도 실질적인 에칭이 가능합니다. 이를 통해 시편 구조를 유지하면서 에칭을 수행할 수 있습니다.
JPS-9030은 시료 준비 챔버에 이온 소스를 배치하여 시료 준비 챔버 내부에서 에칭으로 인한 오염을 제한하고, 초고진공을 유지하는 분석 챔버가 오염되는 것을 방지합니다.
〇EUV 리소그래피용 카우프만형 이온소스-Mo/Si 다층박막 거울 활용 사례
JPS-9030은 시편에 수직 방향으로 저가속도의 Ar 이온을 조사할 수 있습니다. 초박막 다층막의 깊이 프로파일 분석에 사용할 수 있습니다. 다음은 EUV 리소그래피용 Mo/Si 다층막 거울의 깊이 프로파일 분석 결과입니다.
층 구조를 파악하고 계면의 날카로움을 평가함으로써 약 10nm/층의 박막을 평가하는 것이 가능하다.
③ 다양한 재료 측정이 가능한 장비 구성 - 기타 다양한 부착물 -
JPS-9030은 다양한 옵션을 제공합니다. 또한, 사용자 요청에 따라 부착물을 제작할 수 있습니다.
풍부한 옵션
에너지 분해능을 향상시킬 수 있는 단색 X선원
손상되기 쉬운 유기 시료에 적합한 Ar 가스 클러스터 이온 소스
적외선 가열 시스템은 온도를 최대 1,000°C까지 상승시킵니다.
시료의 공기 분리 이송을 지원하는 이송 용기
위에서 언급한 대로, 고객의 모든 요구에 대응할 수 있는 다양한 옵션이 제공됩니다.
XPS로 무엇을 할 수 있나요?
XPS를 이용한 분석(응용)의 예는 다음과 같습니다.
상부 표면의 원소 분석
XPS를 이용하면 시편의 상단 표면(10nm 이하)에 대한 원소 분석이 가능합니다.
따라서 외관상으로는 판별하기 어려운 유기오염물질을 쉽게 분석할 수 있다.
PET(좌)와 표면에 실리콘이 오염된 PET(우)
PET, 실리콘이 포함된 PET의 C 1s 스펙트럼
화학 결합 상태 분석
XPS는 원소 분석뿐만 아니라 화학 결합 상태 분석도 수행할 수 있습니다.
예를 들어, 리튬 이온 배터리의 경우 전극에 존재하는 리튬의 화합물 유형을 평가하는 것이 가능합니다.
리튬이온전지의 구조
다양한 Li 화합물의 Li 1s 스펙트럼
깊이 프로파일 분석
XPS를 이용한 심도 프로파일 분석을 수행하면 약 10nm 정도의 매우 얇은 시편부터 수 nm 두께의 시편까지 층구조를 평가할 수 있다. μm의 두께와 계면의 화학 결합 상태.
유리 표면의 반사방지 코팅의 개략도
반사방지 코팅의 깊이 프로파일 분석 결과
제품 사양
| 강렬
(MgKα, 300W 상당) |
1,000,000cps 이상(Ag 3d5/2의 경우 에너지 분해능(FWHM) 1.00eV 이하) |
|---|---|
| 엑스레이 소스 | 최대 가속전압 및 방출전류 : 12kV, 50mA, Mg/Al 트윈타겟 |
| 조명 렌즈 | 3단계 원통형 정전 렌즈 |
| 에너지 분석기 | 정전기 반구형 분석기 |
| 에너지 스윕 방식 | 상수 분석기 에너지 방법 일정 지연 비율 방법 |
| 탐지기 | 다중 채널 플레이트 |
| 에칭 이온 소스 | 고속 카우프만형 |
| 궁극적 인 압력 | 7 × 10-8 Pa 이하 |
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