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새롭게 디자인된 사용자 인터페이스를 채택하여 일본어 환경에서도 조작이 가능하도록 하여 "누구나 쉽고 빠르게 조작"할 수 있도록 했습니다. 또한, 카우프만식 에칭 이온 소스와 트윈 애노드를 기본으로 탑재하여 고온 가열 시스템, 가스 클러스터 이온 소스 등 다양한 확장성을 제공합니다.

①단시간 측정이 가능한 광역 분석

② 간편한 조작을 가능하게 하는 소프트웨어 SPECSURF

③ 다양한 재료 측정이 가능한 장비 구성

기능

①단시간 측정이 가능한 광역 분석

JPS-9030은 밀리미터 단위의 분석 영역과 같이 넓은 범위의 시편을 분석할 수 있는 XPS로, 평균값 분석에 최적화되어 있습니다. 시편의 편석 및 국부 오염 여부와 관계없이 시편 정보를 수집할 수 있습니다. 분말, 박막, 판상 시편의 원소 분석, 화학 결합 상태 분석에 적합합니다.

〇광역 분석 활용 사례 - LIB 양극 소재 원소 분석

언뜻 보기에 LIB 양극재는 균일해 보입니다. 그러나 분석 범위가 좁으면 원소 분석 결과가 달라질 수 있습니다. 분석 범위를 넓히면 국부 오염의 영향 없이 평균적인 정보를 얻을 수 있습니다.

분석 범위를 좁히기 위해 세 곳에서 측정을 실시했습니다.
⇒결과에 큰 차이가 있었습니다.

분석 범위를 좁히기 위해 세 곳에서 측정을 실시했습니다.
⇒결과에 약간의 차이가 있었습니다.

② 간편한 조작을 가능하게 하는 소프트웨어 SPECSURF

새롭게 개발된 일본어용 소프트웨어 SPECSURF Ver. 2.0은 다음과 같은 기능을 제공합니다.
리본 스타일 GUI와 탭 창 시스템을 결합하여 마우스만으로 사용자 친화적인 작업 환경을 제공합니다.

③ 다양한 소재 측정이 가능한 장비 구성 - Mg/Al 쌍극 X선원 -

JPS-9030은 단색 X선원과 Mg/Al 쌍극 X선원을 사용할 수 있습니다. Mg/Al 쌍극 X선원은 X선을 Mg K선과 Al K선으로 전환하여 시료에 조사할 수 있습니다. 이를 통해 광전자 피크와 오제 피크가 겹치는 다원소 시료를 분석할 수 있습니다.

-조건 저장, 읽기 및 설정을 한 번 클릭으로 설정 가능
-한 번의 클릭으로 여러 개의 표본 측정을 ​​설정하세요
- 정확한 측정 완료 시간 예측 기능으로 원활한 측정이 가능합니다.
검체 교체 및 측정

〇Mg/Al 쌍극 X선원 활용 예 - Fe, Ni 함유 시편 분석

XPS 스펙트럼에서 광전자 피크와 오제 피크가 겹치는 예 중 하나는 여러 전이 금속 원소를 포함하는 시편입니다. 다음은 Fe와 Ni를 포함하는 시편의 측정 예입니다. 이는 Al X선 광원에서 관찰되는 피크 겹침 현상을 Mg X선 광원을 사용하면 방지할 수 있음을 보여줍니다.

Al X선원에 의한 측정
⇒피크 오버랩

Mg X선원을 이용한 측정
⇒피크 겹침을 방지합니다

③ 다양한 물질 측정이 가능한 기기 구성 - 카우프만형 이온소스-

JPS-9030은 Ar 이온원으로 카우프만형 이온원을 사용합니다. 큰 전류를 공급할 수 있으므로 낮은 가속 전압에서도 실질적인 에칭이 가능합니다. 이를 통해 시편 구조를 유지하면서 에칭을 수행할 수 있습니다.

JPS-9030은 시료 준비 챔버에 이온 소스를 배치하여 시료 준비 챔버 내부에서 에칭으로 인한 오염을 제한하고, 초고진공을 유지하는 분석 챔버가 오염되는 것을 방지합니다.

〇EUV 리소그래피용 카우프만형 이온소스-Mo/Si 다층박막 거울 활용 사례

JPS-9030은 시편에 수직 방향으로 저가속도의 Ar 이온을 조사할 수 있습니다. 초박막 다층막의 깊이 프로파일 분석에 사용할 수 있습니다. 다음은 EUV 리소그래피용 Mo/Si 다층막 거울의 깊이 프로파일 분석 결과입니다.
층 구조를 파악하고 계면의 날카로움을 평가함으로써 약 10nm/층의 박막을 평가하는 것이 가능하다.

③ 다양한 재료 측정이 가능한 장비 구성 - 기타 다양한 부착물 -

JPS-9030은 다양한 옵션을 제공합니다. 또한, 사용자 요청에 따라 부착물을 제작할 수 있습니다.

풍부한 옵션

  • 에너지 분해능을 향상시킬 수 있는 단색 X선원

  • 손상되기 쉬운 유기 시료에 적합한 Ar 가스 클러스터 이온 소스

  • 적외선 가열 시스템은 온도를 최대 1,000°C까지 상승시킵니다.

  • 시료의 공기 분리 이송을 지원하는 이송 용기

위에서 언급한 대로, 고객의 모든 요구에 대응할 수 있는 다양한 옵션이 제공됩니다.

XPS로 무엇을 할 수 있나요?

XPS를 이용한 분석(응용)의 예는 다음과 같습니다.

상부 표면의 원소 분석

XPS를 이용하면 시편의 상단 표면(10nm 이하)에 대한 원소 분석이 가능합니다.
따라서 외관상으로는 판별하기 어려운 유기오염물질을 쉽게 분석할 수 있다.

PET(좌)와 표면에 실리콘이 오염된 PET(우)

PET, 실리콘이 포함된 PET의 C 1s 스펙트럼

 

화학 결합 상태 분석

XPS는 원소 분석뿐만 아니라 화학 결합 상태 분석도 수행할 수 있습니다.
예를 들어, 리튬 이온 배터리의 경우 전극에 존재하는 리튬의 화합물 유형을 평가하는 것이 가능합니다.

리튬이온전지의 구조

다양한 Li 화합물의 Li 1s 스펙트럼

깊이 프로파일 분석

XPS를 이용한 심도 프로파일 분석을 수행하면 약 10nm 정도의 매우 얇은 시편부터 수 nm 두께의 시편까지 층구조를 평가할 수 있다. μm의 두께와 계면의 화학 결합 상태.

 

유리 표면의 반사방지 코팅의 개략도

반사방지 코팅의 깊이 프로파일 분석 결과

제품 사양

강렬
(MgKα, 300W 상당)
1,000,000cps 이상(Ag 3d5/2의 경우 에너지 분해능(FWHM) 1.00eV 이하)
엑스레이 소스 최대 가속전압 및 방출전류 : 12kV, 50mA, Mg/Al 트윈타겟
조명 렌즈 3단계 원통형 정전 렌즈
에너지 분석기 정전기 반구형 분석기
에너지 스윕 방식 상수 분석기 에너지 방법
일정 지연 비율 방법
탐지기 다중 채널 플레이트
에칭 이온 소스 고속 카우프만형
궁극적 인 압력 7 × 10-8 Pa 이하

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