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전자빔 리소그래피 시스템

컴퓨터, 스마트폰, 가전제품 등의 전자기기에는 LSI(Large Scale Integration Circuits)라는 반도체 부품이 내장되어 있습니다. 소형화와 집적도가 진행되면서 LSI 회로는 매우 미세한 패턴으로 쓰여지게 되었고 오늘날에는 10나노미터(머리카락의 1/10,000) 이하로 작습니다.
전자빔 리소그래피 시스템은 이러한 극도로 미세한 회로를 정밀하게 처리하는 데 필요합니다.
IoT 사회의 실현과 5G 시대의 도래로 반도체 수요가 더욱 확대됨에 따라 전자빔 리소그래피 시스템의 역할이 더욱 중요해질 것으로 예상됩니다.

제품

JBX-A9 시리즈
전자빔 리소그래피 시스템

JBX-8100FS 시리즈 전자빔 리소그래피 시스템

JBX-8100FS 시리즈
전자빔 리소그래피 시스템

JBX-9500FS 전자빔 리소그래피 시스템

JBX-9500FS
전자빔 리소그래피 시스템

JBX-3200MV 전자빔 리소그래피 시스템

JBX-3200MV
전자빔 리소그래피 시스템

JBX-3050MV 전자빔 리소그래피 시스템

JBX-3050MV
전자빔 리소그래피 시스템

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