특징
높은 정밀도와 높은 처리량의 직접 쓰기 시스템
최고의 안정성을 위해 JEOL의 유명한 전자 광학으로 제작되었습니다.
최대 300mm까지 로딩 가능한 웨이퍼
FOUP 시스템 선택 가능
코팅기, 현상액 등 다른 공정 도구로의 인라인 확장성
낮은 전력 소비
모든 경험 수준에 대한 사용 편의성 향상
DFB 레이저/나노임프린트
메탈렌스
렌즈 어레이
T-게이트
광자 결정
제품 사양
| 항목 | 스펙 |
|---|---|
| 가속 전압 | 100 kV |
| 최대 필드 크기 | 1000 μm의 |
| 최소 증분 | 0.25 nm의 |
| 바느질 정확도 | ± 9nm |
| 오버레이 정확도 | ± 9nm |
| 최소 선 너비 | ≤8nm |
| 빔 전류 | 50pA ~ 400nA |
| 최대 스캔 속도 | 200 MHz |
| 스테이지 위치 결정 해상도 | 0.15 nm의 |
| 자동 수차 보정 | 동적 초점 동적 낙인 편향 왜곡 보정 |
| 최대 샘플 크기 | 300 웨이퍼 9인치 마스크 |
| 전력 소비 | 5kVA |
| 발자국 | 7.4m × 5.3m × 2.7m(높이) |
| 기본 구성 |
|---|
| 기본 단위 |
| 10카세트 자동 로딩 시스템 |
| CPU 시스템을 이용한 제어 프로그램 |
| 데이터 준비 프로그램에 대한 추가 라이선스 |
| 원격 제어 OL 조리개 |
| 옵션 |
|---|
| 현장 광학 현미경 |
| FOUP 웨이퍼 자동 로딩 시스템 |
| 오픈카세트 200mm 웨이퍼 자동 로딩 시스템 |
| 48kV 고전압 프로그램 |
| 맞춤형 카세트 |
| SECS/보석 |
| 에어컨 |
| EMI 취소 시스템 |
* 기타 등급 모델에 대한 자세한 내용은 현지 JEOL 영업소에 문의하세요.
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