고각 후방 산란 전자 및 저각 후방 산란 전자

시료에서 방출된 후방 산란 전자는 후방 산란 전자 검출기의 위치를 ​​변경하여 입사 전자의 방향에 더 가까운 각도(높은 이륙 각도) 또는 입사 전자에서 멀어지는 각도(낮은 이륙 각도)에서 캡처할 수 있습니다. 전자를 고각 후방산란 전자라고 하고 후자를 저각 후방산란 전자라고 합니다. 각각 다른 유형의 정보를 제공합니다.