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SEM 이미징을 위한 Ar 넓은 이온 빔에 의한 우레탄 고무의 단면

마이크로톰을 사용한 기계적 단면 분석은 SEM 이미징을 위한 고분자 재료를 준비하는 데 널리 사용됩니다. 그러나 상대적으로 경도가 낮은 고분자량 고분자 물질에 ​​대해서는 마이크로톰을 조작하기 위해서는 섬세한 기술이 필요하며, 최근에는 넓은 아르곤 이온 빔을 이용한 새로운 단면 기술이 제안되어 다양한 물질에 대한 유효성이 입증되었다. 1] 자동화된 단면 처리 기능을 갖춘 이 장치는 사용하기 쉽고 원하는 샘플을 일관되게 생성합니다. 그러나 이 기술은 밀링 공정 중 조사로 인해 열을 발생시키므로 내열성이 낮은 고분자량 고분자 재료에는 적합하지 않습니다.[2] 에칭을 위해 샘플을 실리콘 판 사이에 끼우는 방식으로 열의 영향을 제거하는 기술을 설계했으며 그 효과에 대해서는 아래에서 설명합니다.
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