빔 크기 및 X선 방출 영역

EPMA에서 X선 ​​이미징의 공간 해상도는 약 1um입니다. 이로 인해 3000x 이상의 배율에서 X선 ​​이미지가 흐려집니다(그림 1b). 샘플 내의 전자. X선 방출 영역은 빔 크기, X선 흡수 및 X선 여기를 포함한 다른 요인으로 인해 크기가 변경됩니다.