JXA-8530F(FE-EPMA)를 사용한 미세 영역 분석
JEOLnews 45권 1호, 2010
모리 노리히사
SA 사업부, JEOL Ltd.
FE(Schottky Field Emission) 전자총이 장착된 EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)인 FE-EPMA는 미세 영역 분석 능력을 향상시키도록 설계되어 불과 0.1m 크기의 분석 영역을 달성합니다. FE-EPMA를 사용하여 스테인리스 스틸 및 솔더 샘플에 대한 미세 영역 분석을 연구하여 공간 분해능, 미세 입자 감지 및 미세 영역 정량화 능력을 평가했습니다.
- 추가 정보는 PDF 파일을 참조하십시오.
PDF 8.56MB
