오거 마이크로프로브 JAMP-9500F

Auger 마이크로프로브는 샘플의 전자 빔에 의해 여기된 Auger 전자의 에너지 레벨을 측정하여 샘플 표면에서 몇 nm 깊이 영역의 원소 조성 및 화학적 상태를 결정하도록 설계된 표면 분석 시스템입니다. Auger 마이크로프로브는 집중된 프로브의 크기에 따라 분석 영역이 결정되기 때문에 높은 분석 공간 해상도를 제공합니다. 최신 오거 시스템의 대부분은 마이크로 영역 분석을 위해 쇼트키 전계 방출 건(FEG)을 사용합니다.