XPS 및 그 응용을 위한 새로운 시편 처리 챔버

JPS-9010 시리즈용으로 새로운 시료 처리 시스템이 개발되어 시료 교환 챔버 후면에 장착되어 가열 및 가스 반응을 포함한 다양한 현장 시료 처리가 가능합니다. 처리된 샘플은 대기에 노출되지 않고 XPS용 분석 챔버에 로드됩니다.